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極薄ワークを吸着保持して補強する静電チャックキャリア
接着剤を使用せず電気制御のみで、極薄ウェハーの補強・固定が可能な製品です。
コードレスタイプだから固定した状態で様々なプロセスへの投入が可能です。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 静電チャックサポーター |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 539.9Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 筑波精工株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
