筑波精工株式会社のカタログ一覧

静電チャックサポーター

極薄ワークを吸着保持して補強する静電チャックキャリア

接着剤を使用せず電気制御のみで、極薄ウェハーの補強・固定が可能な製品です。 コードレスタイプだから固定した状態で様々なプロセスへの投入が可能です。