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大好評!マンガでわかる PLAZMARK(R)【第5話 O2/Arクリーニングもバッチリ評価!!】

製品カタログ

プラズマ処理効果の評価ツール プラズマインジケータ(TM)

PLAZMARK(R)は、プラズマ中のラジカルやイオンで変色する色材を用いた評価ツールです。
プラズマの処理強度や処理時間に応じて連続的に変色しますので、プラズマ処理効果を「色で見える化」できます。

◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。


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□関連キーワード
プラズマ プラズマ処理 プラズマインジケータ PLAZMARK 効果確認 歩留まり向上 エッチングレート 大気圧プラズマ 真空プラズマ 接触角 検査ツール 見える化

このカタログについて

ドキュメント名 大好評!マンガでわかる PLAZMARK(R)【第5話 O2/Arクリーニングもバッチリ評価!!】
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 6.4Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社サクラクレパス (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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プラズマ見える化 ® プラズマ処理効果の評価ツール プラズマインジケータ™ 第5話 O2/Arクリーニングもバッチリ評価!! 〜え しつプいい 評ど早サはい こ て ラや何 おてズー 価ん速クじ ふやB 〜〜 なもれ りはマ︑ を なでラめ 実 と たっ とプキ い ま特評 ? プす ま しと せに価は ラが申し りて 工 いラャ 〜〜 んてい ん重に ズこし 場う て きズプ で っ で視 マこま たへ気マ 持処 テ す た です ち理 ン・ !!〜 事 は︒ はにプ 人悩ラ は 一むズ 倍人マ の々 プえよヒ ーを 工B ラーう ロ救 ズとこ ーい 場工 マ・そ 。たい 長場 さ での んキ ・サ︑ す で ャク すプラ ねテンさ?・んと プキサ ラャク ズプ マテラ イン ン・ な怠プア ジプ そ ケラ れ りるラナ ーズ まマ は とズタタ TMと ・ す大マ! で共 ・ よ なに 変評 ん出 !な価 で張 も 事をに 解出 に 決た し。 ち ゃ う 頼 れ る 女 性 。 マ ジ 人プ必 で ? 任ラ殺せズ・ マ どど ん︑ な ? ● 仕様および外観は改良のため予告なく変更することがございますのでご了承ください。製品カラーは撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがございます。 ● PLAZMARK、プラズマ見える化、プラズマインジケータは㈱サクラクレパスの商標または登録商標です。PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国や地域で商標登録されています。
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と監メ車も そ監使来工ほ プ 好 ー ち れ査う月程ー 管今プP 大次管査 載 評でカデろ に対ラプ管 !! 理す ラL ラ ー も象イラ理 でぐズ 問工理 A 題程しズで説 バん す明なイ !! 役なンズと き誰 マ マ がマ までの Z をやな !! しどス 立ん︑ク言 も再M 起お い処 やで ちで え す と理 は ます おリ 現A こ客 す す︒客ーば ! 様ニ︑ カ ︑ R し様 の性 かの不 ︑ い か ンをK 再 良 ? のング タ ® ねとが 現 を ン な まこ 性に ら せろ出てをんで ! クリーニング用 用 ワイヤボンディング、フリップチップボンディングなどの接合面のクリーニング。各種電子部品の PLAZMARK® 途 パッケージングや、実装工程のアンダーフィル前の表面改質。めっき前の表面改質。etc. PLAZMARK® O2クリーニング用 感度 3 種類 PLAZMARK® Arクリーニング用 感度 4 種類 O2をはじめN2、Air、CF4、H2、NH3及びこれらを含む混合ガスのような O2クリーニング用では検知しにくい、Arなどの希ガス単独ガスのような ラジカル性のプラズマの検知に適しています。 イオン性のプラズマの検知に適しています。 接触角測定との比較例 Au膜エッチングレートとの相関例 30 90 30 No.1カード色差 No.22カード型25 80 25 接触角 20 70 20 15 60 15 10 50 10 5 45 5 0 30 0 0 10 20 30 40 50 0 10 20 30 40 処理時間(分) Auエッチングレート(nm/分) 接触角の変化が飽和する処理条件でも、PLAZMARK®の色差は線形に変化 エッチングレートとPLAZMARK®の色差の検量線を作成しておけば、面倒な するため評価・管理が可能。 エッチング測定を置き換え可能。 ※ 色差については第2話参照。 怒今あ サね おな っ回れ クぇ よぁ 助い て びに か や まは ラ? ま︑ りー す割サ さ せ 礼 に まこ とク ラ ん んは すれ ?本 ! !は 気さ !? でん 次回、キャ 宿 プ敵 テ現 ン・る プ!? ラ乞 ズう マご の期待 つづく !! 処理前との色差 ⊿E*ab ポリエチレン板に対する水の接触角(°) 処理前との色差 ⊿E*ab … … …