プラズマ処理効果の「見える化」がわかる！お役立ち資料3点セット

※PLAZMARK、プラズマ見える化、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 ●会社概要 ●関連会社 社 　 　 名 株式会社サクラクレパス グループ会社（国内） グループ会社（国外） 創 　 　 業 1921年（大正10年）5月29日 ㈱ターレンスジャパン SAKURA COLOR PRODUCTS OF AMERICA Co.,Ltd. 資 本 金 9,000万円 代 表 者 代表取締役社長 西村彦四郎 新日本造形㈱ ROYAL TALENS B.V. 従 業 員 1,600名（グループ計） ㈱サクラクレパス鹿児島工場 SCHJERNING FARVER A.S. 平 均 年 齢 44.1歳（2021年度現在） 大阪池田モール㈱ 上海櫻花文化用品有限公司 グループ売上高 437億円（2021年度実績） 大昭和印刷紙業㈱ 櫻華国際貿易（上海）有限公司 取 引 銀 行 三菱UFJ銀行　玉造支店 ラビット㈱ SAKURA COLOR PRODUCTS OF VIETNAM Co.,Ltd. 商工中金　船場支店 ㈱アムス ㈱雲州堂 ホームページ https://www.craypas.com ニッカー絵具㈱ 共栄プラスチック㈱ 定淀プラスチック㈱ ●事業所 ■大　　阪　〒540-8508　大阪市中央区森ノ宮中央1-6-20 ■大阪工場　〒578-0901　東大阪市加納7-18-47 ■東　　京　〒111-0052　東京都台東区柳橋2-20-16 中央研究所　大阪工場内 ■札　　幌　〒060-0042　札幌市中央区大通西16-1-30 FUYO.NO10ビル 7階 関西物流センター　大阪工場内 関東物流センター 〒243-0303 神奈川県愛甲郡愛川町中津字下桜台4026-1 ■名 古 屋　〒462-0816　名古屋市北区平安通1-5 ■九　　州　〒812-0016　福岡市博多区博多駅南2-15-5 色の変化で、 お問合せ 〒578-0901 東大阪市加納 7- 18-47 プラズマ見える化® PI事業部 TEL（. 072）873-5507 FAX（. 072）875-5527 E-mail: sjk@craypas.co.jp ISO9001/ISO14001 https://plazmark.craypas.co.jp 大阪工場認証取得 2024.10　ver.7.0J

様々な分野で利用が進むプラズマ処理 Semiconductor 置くだけ・貼るだけ・処理後に見るだけ 簡　単 ● 処理効果をすぐに「色」で判断できる LED/LD Material Shoes ● 専門的スキルがいらず、誰でも手間なく簡単に使える ● 使用シーンに応じて形状が選べ、幅広いニーズに対応 Electric Component FPD/OLED Automobile Machining Textile 判る・残せる・数値化できる PCB PV Aerospace Optics Medical 確　実 ● 分布や再現性といった相対評価が可能 ● 変色後の状態で保管ができ、エビデンスとして残せる※１ 処理効果は確認できていますか？ 装置メンテナンス後の調整に ● 色差測定で数値管理ができ、既存評価方法との相関を得られる※2 手間がかかっていませんか？ ※1「 耐熱ラベル」「ウエハ型セラミック」を除く。　※2 お客様自身で確認していただく必要があります。 レシピ開発はスムーズですか？ 工程管理に困っていませんか？ 手軽にできて 時間も短縮 効率UP ● 高額な評価装置が不要なため、経費軽減・コスト圧縮に貢献 ● 評価時間が短縮でき、総合的な生産性の向上が期待できる プラズマ処理効果は「色」で簡単に評価できます！ ● 面内分布の評価が容易で、安定した品質により歩留まりが向上 「色の変化」でプラズマ処理効果をその場で確認できます プラズマインジケータTM PLAZMARKⓇは ※PLAZMARK® 耐熱ラベル、ウエハ型セラミックタイプの例 ラジカルやイオンを検知して変色する評価ツールです。 プラズマ処理前 高額な装置や熟練作業は不要です。 プラズマ処理 プラズマ強度に応じて変色 CI2・SF6 など CF4 O2 H2・Ar・N2など イメージキャラクター 「電離超人 キャプテン・プラズマ」 Webサイトで 漫画をチェック!! プラズマ処理前 プラズマ処理後（中間変色） プラズマ処理後（飽和） ※PLAZMARK® O2クリーニング用、Arクリーニング用の例 ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 01 02

プラズマ見える化® 変色度合いの評価方法 一般に分光光度計・色彩計・色差計などの名称で市販されている装置※によって、 活用法 変色度合いを数値化することができます。 数値化することで、目視判断しづらい微妙な色味の差であっても、簡単に評価することができます。 「プラズマ見える化®」により様々なチェックが可能に！ プラズマ処理時間 1. 2. No.3 低感度 ピッ！ プラズマ処理効果の確認 面内分布の確認 No.2 中感度 プラズマが当たっているか ワーク プラズマの均一性、分布を確認する。 No.1 高感度 どうかを確認する。 ■ 正常状態の確認 O2プラズマ ●●● 工程検 査表 （レジストエッチングレート11.5nm/分) ■ 再現性の確認 プラズマ インジケータTM 40 ■ 装置管理 色差で No.1 目視で簡単、 ■ 面内分布の確認　■ 異常放電検知 ■ 3次元形状での効果確認 数値化 プラズマインジケータTM 30 色差測定も簡単 No.2 3. プラズマの広がりを確認 4.装置間の性能差の確認 装置：（株）ＪＣＵ製 PST400V 20 ガス種：O2 出力：1600W 周辺へのプラズマの影響を確認する。 プラズマ インジケータ 同型装置、同一プロセス装置の 処理圧：27Pa 10 TM 処理効果を確認する。 ガス流量：1600sccm No.3 ■ プラズマ閉じ込め効果の確認 ワーク 温度：30℃ 0 0 10 20 30 40 ■ 周辺部材への影響を確認 ■ 装置間バラツキの低減 OK OK 処理時間（分） ■ 裏側の回り込み、 ■ 早急な NG OK プラズマ ※ インジケータのための専用品や推奨品はございません（一部商品を除く）。 　 排気ポート内への侵入の確認 トラブルシューティング 条件調整 インジケータTM OK プラズマ処理効果の確認を効率化 従来の評価方法との併用・置き換え 目視だけで簡単にチェックが可能 精度が高い 36 従来法による測定値とインジケータの変色レンジが合っている場合、検量線を作成することにより、 34 32 従来法による測定値を色差で換算できるようになります。 30 28 26 ■ O2プラズマによるレジストエッチング量と変色色差の相関例 3分処理 24 4.5分処理 50 22 6分処理 時間 10 20 y = 0.3057x + 8.3745 プラズマインジケータTM 変色限度見本 20 （分） sccm sccm 40 R2 = 0.8894 30 40 50 60 70 80 90 100 110 No.1 高感度 No.2 中感度 No.3 低感度 No.3 低感度 レジストのエッチング量（nm） 0 30 （未処理） 産業界で一般的なプラズマ処理効果の確認方法 （イメージ図） 20 高い 3 エッチング量 10 10sccm プラズマ ラングミュア （膜厚計・SEM） 20sccm エッチング量 インジケータTM プローブ 5 0 （重量法） 0 20 40 60 80 100 コ 低い 高い エッチング量（nm） ス 7 ト 接触角測定 装置：サムコ（株）製 出力：15W 10 装置型式：BP-1 処理圧：100Pa ガス種：O2 濡れ試薬 低い ※接触角測定やエッチング量測定などの測定レンジとインジケータの変色レンジが合っているか確認することが必要です。変色レンジはお客様がご利用の装置・プラズマ処理条件 （ガス種、流量、処理時間、出力など）に依存しますので、基本的にお客様ご自身でテストしていただく必要があります。 精 度 ※PLAZMARK、プラズマ見える化、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録され ています。 03 04 インジケータの 処理前後の色差⊿E*ab 色差⊿E 変色色差⊿E*ab

ラインナップ 大気圧プラズマ用 Webで CHECK マーカータイプ O2クリーニング用 大気圧プラズマ用 Arクリーニング用 マーカータイプ 耐熱ラベル 耐熱温度 100℃ 有機色材 P.09 P.06 P.11 常圧処理工程／洗浄工程向け 従来品が使用できない微細部や 曲面にも筆記できるインジケータ 小可視型化やで複き雑ま形す状。のワークへのプラズマ処理が簡単に ウエハ型 メタルフリータイプ 大気圧プラズマ用 ウエハ型 セラミックタイプ P.13 P.07 P.15 プロラーズルマ to処 ロ理ーのル確な認どにフもレ使キえシまブすル。基材にマーキングして インキ マーカータイプのため、簡便に使用でき、ランニングコスト ペン先 バルブ 撹拌子(鋼球) も抑えられます。 変色性 インキの隠蔽性が ■ 大気圧プラズマ処理塗り見本 ■ 大気圧プラズマ処理変色色差 高いため、幅広い マーカー型 40 素材にお使いいた 基 材 ガラス 従来品 35 1秒処理 透明PET 白色 4秒処 だけます。 発泡PET 銅 ポリイミド エポキシ（No.41） 30 理 有機色材 無機色材 基板 25 初期色 20 15 変色メカニズム 変色メカニズム 装置：（株）電子技研製 10 装置型式：AP-2000 1秒 5 活性種に反応しやすい色素と 酸化数により結晶色が変わる酸化物を配合。 ガス種：Dry air プラズマ 出力：7.0kV 0 反応しにくい色素の2種類を配合。 プラズマ中のラジカルやイオンと反応し、 処理後 透明 白色 ガラス ガス流量：50SLM (7.0kV) PET 発泡PET 銅 ポリイミド エポキシ 従来品 プラズマ中の活性種により、 酸化数が変化 or 化合物が生成することにより変色。 処理時間：1秒, 4秒 4秒 基板 （No.41） マーカー型 反応しやすい色素が消色することにより変色。 これまで処理効果 ■ 微細部 ■ 細かいパーツ ■ 曲面 酸化数が変化 プラズマ プラズマ の確認ができな 処理前 処理前 処理 化合物が形成 かったモノや場所 も、これ1本で簡単 に評価することが できます。 処理後 処理後 （色材断面） 色素 ■ クリーニング用 （色材断面） プラズマ プラズマ処理後（プロセスガス別） 商品仕様 処理前 Ar・N2 O2 H2 CF4 SF6 CI2 検知性能 シリーズ名 形状 耐熱性 構成 サイズ 線幅 最小購入 単位 略号 対応ガス（プラズマ種）★ 感度 赤 ＋ 緑 赤 緑 PLAZMARKⓇ 本体： アルミニウム、樹脂 大気圧プラズマ用 O2, N2, Air No.41 マーカータイ （高感度）マーカー 100℃ ペン先： ポリエステル繊維 （筆記線） プ インキ： アルコール系インキ 全長142mm、最大径15mm 約1.5mm 1本 PLKM-41 変色の色相はガス種によらず一定 変色はガス種により異なる色相に （有機色材、無機色材） ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 05 06 変色色差⊿E*ab

Webで 大気圧プラズマ用 CHECK 耐熱温度 100℃ 有機色材 常圧処理工程／洗浄工程向け 使用事例 大気圧プラズマのラジカル種に特化した トーチ型大気圧プラズマ装置を オートスキャン分光光度計 MYIRO-9（コニカミノルタ製） 用いての使用事例 にて測色 検知性能を実現 装置：AETP社製 ● 装置型式：AP-4000R 色調変化で、簡便に目的通りの処理状況かどうかを確認することができます。 トーチ断面図 ノズル型式：RN-041835-SU ● 効率的な処理を行うために、ピッチをどのくらいにするかを決める手段 としても使えます。 な 変色色差 ピッチ25mm(色差マッピング) ⊿E*ab しどて、 プ ます。の ント また、 プのラズマ処理 フ ル にも す。 なの で どのス クにト 15.0 プラズマ 色差測定 14.3 大 13.5 12.8 トーチが自転しながら 12.0 ン にも 用できます。 スキャン 11.3 10.5 スキャン 9.8 9.0 8.3 ピッチ 7.5 ピッチ ピッチ12.5mm(色差マッピング) 6.8 変色性 6.0 5.3 色差測定 4.5 処理速度（mm/min） 処理物 3.8 3.0 電極 プラズマ 未処理 3000 1500 1000 300 300 300 300 2.3 1.5 （2回処理）（6回処理）（9回処理） 0.8 小 インジケータ スキャン1 0 No.40 スキャン2 （超高感度） ※ 生産性を優先する場合はピッチが大きく疎の部分が大きい処理が選ばれ、全面に均一な処理を行う 必要がある場合はピッチを小さくして密な部分の多い処理が選ばれるので、その確認ができます。 電極 Air+N2 プラズマ インジケータ No.41 （高感度） 相関例 処理速度 プラズマ処理条件 装置：電子技研製 出力：7.5kV No.42 装置型式：AP-2000 照射距離：5mm （低感度） 未処理 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ 接触角 ガス種：窒素（70SLM）,Ai（r 2SLM） No.41 弱い処理では変化なし （高感度） インジケータ No.42 変色色差が連続的に変化 商品仕様 （低感度） 検知性能 色差測定 シリーズ名 形状 耐熱性 構成 サイズ 最小購入 対 単位 略号 応ガス（プラズマ種）★ 感度 接触角では評価できないような ロングラベル 本　体： 35×300×0.2mm 弱いプラズマも評価可能 No.40 （貼付可能） 検知部： 300×15mm 20枚 PLL0430-40 30 80 （超高感度） シート 本　体： 210×300×0.2mm 検知部： 190×300mm 5枚 PLC2130-40 接触角 No.41 プラズマ処理条件 ロングラベル 本　体： 35×300×0.2mm 処理条件 出力 処理速度 処理回数 処理の PLAZMARKⓇ No.41 （貼付可能） 検知部： 300×15mm 20枚 PLL0430-41 60 (kV) (mm/min) (回) 強度 大気圧プラズマ用 O2, N2, Air 100℃ 本　体： クリーンペーパー 20 （高感度） 検知部： 有機色材、レジン ① 10.0 3,000 1 弱 シート 本　体： 210×300×0.2mm 検知部： 190×300mm 5枚 PLC2130-41 ② 10.0 2,000 1 No.42 40 ③ 10.0 1,000 1 ロングラベル 本　体： 35×300×0.2mm No.42 （貼付可能） 検知部： 300×15mm 20枚 PLL0430-42 ④ 10.0 600 1 ⑤ 10.0 300 1 （低感度） シート 本　体： 210×300×0.2mm 10 ⑥ 12.5 300 1 検知部： 190×300mm 5枚 PLC2130-42 20 ⑦ 15.0 300 1 ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 ⑧ 10.0 300 2 ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 ⑨ 10.0 300 4 ⑩ 10.0 300 10 強 感度について 各シリーズにおいてNo.の値が小さいほど高感度の商品となり低出力・短時間のプラズマ処理で変色します。 No. 小 感度 高 0 0 シリーズ間での大小は感度と無関係です。 No. 大 感度 低 未処理 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ 装置：（株）電子技研製　装置型式：AP-2000 プラズマ処理条件 07 08 インジケータの処理前後の色差⊿E*ab PETフィルムの接触角（°）

WebでCHECK O2クリーニング用／Arクリーニング用 O2クリーニング用 Arクリーニング用 耐熱温度 100℃ 有機色材 実装工程／後工程向け 使用事例 カード型 変色色差 各種クリーニングや表面処理など、 O2クリーニング用 側面方向(インジケータ) ⊿E*ab シート型を用いた 30.0 色差測定 28.5 大 様々な目的で使用可能な 使用事例 27.0 25.5 24.0 プラズマが当たっているか 22.5 21.0 汎用性の高いベーシックなタイプ どうかの確認だけでなく、 プラズマ 19.5 18.0 色調変化で簡単に面内均 照射口 16.5 基板面内方向(インジケータ) 15.0 13.5 め 一性や再現性を評価する 基板面 12.0 ことができます。 色差測定 10.5 9.0 7.5 レンき の ルのンプグラのズマ使な、ワイ ー 用シーンでのクン使用ー ンニグ フ プ プ たングなまどす。 装置：芝浦エレテック（株）製 6.0 4.5 ガス種：O₂ 処理圧：240Pa 3.0 出力：0.5kW 処理時間：30sec 1.5 小 0 形状 ラベル型 まがす。 、使用 や用 に て た 商品仕様 ラ 検知性能 シリーズ名 形状 耐熱性 構成 サイズ 最小購入 のプカラルズマのプラにズマ ク にーニンクグ用ーがニンしグて用、イますン。 応ガス（プラズマ種）★ 感度 単位 略号 対 カード No.1 本　体： 20×70×0.2mm 100枚 PLC0207-01 （高感度） ラベル 本　体： PETフィルム 検知部： φ11mm （貼付可能） 検知部： 有機色材、レジン 100枚 PLL0207-01 シート型 シート 本　体： A4サイズ（210×297×0.2mm） O2をはじめとする 検知部： 190×260mm 5枚 PLC2130-01 ラジカル主体の カード 本　体： 20×70×0.2mm 100枚 PLC0207-02 相関例 PLAZMARKⓇ プラズマ用 No.2 ラベル O 0℃ 本　体： PETフィルム 検知部： φ11mm 2クリーニング用 O （中感度）（貼付可能） 10 検知部： 有機色材、レジン 100枚 PLL0207-02 2, N2, Air, CF4, H2, シート 本　体： A4サイズ（210×297×0.2mm） O 検知部： 190×260mm 5枚 PLC2130-02 2クリーニング用 カード型を用いた 装置：サムコ（株）製 出力：15Ｗ 処理圧：10Pa NH3, ( Ar ) カード 色差と従来法との相関（接触角） 装置型式：BP-1 初期圧：2Pa ガス流量：16sccm 本　体： 20×70×0.2mm 100枚 PLC0207-03 ガス種：O₂ No.3 ラベル 本　体： PETフィルム 検知部： φ11mm （低感度）（貼付可能） 検知部： 有機色材、レジン 100枚 PLL0207-03 シート 本　体： A4サイズ（210×297×0.2mm） 検知部： 190×260mm 5枚 PLC2130-03 プラズマ処理時間 30 80 カード 未処理 15秒 30秒 60秒 100秒 150秒 180秒 25 No.1 No.20 本　体： 20×70×0.2mm 100枚 PLC0207-20 （超高感度） ラベル 本　体： PETフィルム 検知部： φ11mm 60 （貼付可能） 検知部： 有機色材、レジン 100枚 PLL0207-20 No.1 20 接触角 シート 本　体： A4サイズ（210×297×0.2mm） （高感度） 検知部： 190×260mm 5枚 PLC2130-20 色 No.2 差 15 40 カード 測 本　体： 20×70×0.2mm 100枚 PLC0207-21 定 Arをはじめとする No.21 ラベル 本　体： PETフィルム 検知部： φ11mm No.2 10 100枚 PLL0207-21 （中感度） 20 PLAZMARKⓇ イオン主体の （高感度）（貼付可能） 検知部： 有機色材、レジン m） 5 No.3 Arクリーニング用 プラズマ用 シート 本　体： A4サイズ（210×297×0.2m 1 100℃ 検知部： 190×260mm 5枚 PLC2130-2 O2クリー ニング用 カード No.3 0 0 で検知困難な 本　体： 20×70×0.2mm 100枚 PLC0207-22 （低感度） 0 50 100 150 200 Ar, He等の希ガス No.22 ラベル 本　体： PETフィルム 検知部： φ11mm （中感度）（貼付可能） 検知部： 有機色材、レジン 100枚 PLL0207-22 プラズマ処理時間(s) シート 本　体： A4サイズ（210×297×0.2mm） 検知部： 190×260mm 5枚 PLC2130-22 カード 本　体： 20×70×0.2mm 100枚 PLC0207-23 接触角 インジケータ 接触角が飽和してしまう領域でも No.23 ラベル 本　体： PETフィルム 検知部： φ11mm （低感度）（貼付可能） 検知部： 有機色材、レジン 100枚 PLL0207-23 短時間処理で大幅に低下 変色色差が連続的に変化 プラズマ評価が可能 シート 本　体： A4サイズ（210×297×0.2mm） 検知部： 190×260mm 5枚 PLC2130-23 ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 感度について 各シリーズにおいてNo.の値が小さいほど高感度の商品となり低出力・短時間のプラズマ処理で変色します。 No. 小 感度 高 シリーズ間での大小は感度と無関係です。 No. 大 感度 低 09 10 インジケータの 処理前後の色差 ⊿E*ab PETフィルムの接触角（°）

Webで 耐熱ラベル CHECK 耐熱温度 200℃ 無機色材 高温プロセス向け 使用事例 無機色材を使用することで 耐熱ラベルを用いた使用事例 小型で貼付け可能なので、周辺部材への影響やプラズマの閉じ込め効果の確認にも使用可能。 高い耐熱性（200℃）を実現 処理効果の確認だけでなく、装置保全やトラブルシューティング用途にも適しています。 ウエハプロセス装置 に シング処理などの のプラズマ な て ますに。も でき 、 の 処理に シブル 材 に や イ てが フ ル に した で、フレキ でまきますすの。で、基 や に 上部電極 異常放電箇所 保護フィルム プラズマ処理 の スに て な ます。 の確認 周辺部品への 検知部（変色色材） 影響 ウエハ 剥離フィルム 基材（ポリイミド） 電極裏側への 下部電極 排気ポート内への ※ご使用時は保護フィルムと剝離フィルムをはがしてください。　 回り込み 活性種の侵入 変色性 排気 プラズマ処理後 プラズマ処理前 Ar・N₂ O2 H2 CF4 SF6 CI2 相関例 電子密度と変色色差の相関を確認 ※酸化還元の反応を利用した変色原理となっているため、処理後に塗膜が空気に触れることで元の白色に近づく現象が発生します(完全には戻りません）。 　処理後はなるべくお早目に色差測定や写真で記録を残されることを推奨します。 電子密度と変色色差には相関性があることがわかリました。PLAZMARK®に置き換えることで、 装置：アリオス（株）製 出力：60～200Ｗ プローブ測定よりも簡単にプラズマを評価することができます。 装置型式：ICP 処理圧：10Pa ガス種：Ar 処理時間：90sec 商品仕様 70 ■ プラズマ電子密度（cm-3）に対する変色性 検知性能 シリーズ名 形状 耐熱性 構成 サイズ 最小購入 60 対応ガス（プラズマ種）★ 感度 単位 略号 ブランク 4.8E+11 7.7E+11 1.1E+12 1.4E+12 No.101 50 PLL0203-101 PLAZMARKⓇ Ar, O , H , CF （高感度） 2 2 4, ラベル ： 本　体： 16mm×25mm×80μm 40 No.101 耐熱ラベル SF ℃ 本　体 ポリイミド （高感度） 6, Cl2 （貼付可能） 200 検知部： 無機色材、レジン 検知部： φ10mm 10枚 No.102 30 （低感度） PLL0203-102 20 ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 No.101 ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 10 No.102 No.102 （低感度） 感度について 各シリーズにおいてNo.の値が小さいほど高感度の商品となり低出力・短時間のプラズマ処理で変色します。 No. 小 感度 高 0 シリーズ間での大小は感度と無関係です。 5.0E+11 1.0E+12 1.5E+12 2.0E+12 No. 大 感度 低 電子密度（cm-3） 11 12 処理前との色差⊿E*ab

Webで ウエハ型メタルフリータイプ CHECK 耐熱温度 250℃ 有機色材 ウエハプロセス向け 分布評価例 製品群の中で エッチャーの ■ 変色マップ ■ エッチング量分布【メーカー提供】 変色色差 エッチング量分布と ※評価用に敢えて分布が付く条件で実施。 ⊿E*ab 最もクリーン度の高い商品 変色分布を比較 100.0 32.3 31.3 大 エッチング量分布に近い 30.2 50.0 変色傾向を確認。 29.2 28.2 コンタ ーシ ンしがて にな、シプコロン スに しのて まなすど。 （電極導入部でプラズマが 27.1 弱いところも色差に反映。） 0 26.1 25.1 24.0 ングで 使に用 た 形 ましすて。 ため、 も ン -50.0 23.0 22.0 20.9 小 れ で、 簡単に す が可 です。 -100.0 19.9 -100.0 -50.0 0 50.0 100.0（mm） アンテナ電極導入部近傍のエッチング レートが低くなる傾向がある。 変色性 相関例 処理前 処理後 一般的なSiO₂膜のエッチング量と R²=0.9835 45 変色色差の相関を確認 40 35 装置：アリオス（株） 装置型式：ICP 30 ガス種：CF₄：O（₂ 流量比1：1） 25 処理圧：10Pa 20 15 10 75W ■ プラズマ処理後の写真とマッピング画像（φ200mm） 150W 5 300W 装置：サムコ（株）製 ガス種：O2＋ＣＦ（４１：１） 処理圧：20Pa 0 装置型式：BP-1 出力：50W 変色色差 0 10 20 30 40 50 ⊿E*ab SiO₂膜のエッチング量(nm) 100.0 38.0 35.8 大 33.7 50.0 商品仕様 31.5 29.3 検知性能 27.2 シリーズ名 形状 耐熱性 構成 サイズ 最小購入 応ガス（プラズマ種）★ 感度 単位 略号 対 0 25.0 本　体： Φ4インチ 22.8 ウエハ 膜　厚： 30μm 1枚 PLW100SI-MF 20.7 （オリフラ） PLAZMARKⓇ 本　体： Φ6インチ -50.0 18.5 ウエハ型 O2, CF4, Ar, SF6 1種類 250℃ 基　板： シリコン 膜　厚： 30μm 1枚 PLW150SI-MF 16.3 メタルフリータイプ etc. 検知部： 有機色材、レジン 本　体： Φ200mm PLW200SI-MF ウエハ 膜　厚： 30μm 1枚 14.2 小 （Vノッチ） 本　体： Φ300mm -100.0 12.0 膜　厚： 30μm 1枚 PLW300SI-MF -100.0 -50.0 0 50.0 100.0（mm） ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。 パパラボ社製 プラズマインジケータ™ ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 評価システムを用いた解析結果 ※PLW200SI-MF,PLW300SI-MFはケース別売。 13 14処理前後の色差⊿E*ab

Webで ウエハ型セラミックタイプ CHECK 耐熱温度 400℃ 無機色材 ウエハプロセス向け 分布評価例 耐熱温度400℃を誇り、高温プロセスの Arプラズマで変色分布を確認 目視では均一な分布に見えても、中心と端で強度差があることが確認できました。 分布評価も簡単にチェック マッピング色差計を使うことで軽微な差も可視化することができます。 材 まな 処理前 短時間処理 長時間処理 使用までた めて たラめ ク す プロ ス用でし。 も、ま して ク ーンな で や などの に です。 プラズマ処理 の スに て な ます。 変色性 プラズマ処理前 変色色差 変色色差 ⊿E*ab ⊿E*ab 50.0 50.0 24.164 ‒ 25.011 37.924 ‒ 39.001 23.317 ‒ 24.164 大 36.847 ‒ 37.924 大 22.470 ‒ 23.317 35.770 ‒ 36.847 25.0 21.623 ‒ 22.470 25.0 34.693 ‒ 35.770 酸化数減少 20.776 ‒ 21.623 33.616 ‒ 34.693 化合物形成 酸化数増加 （還元・酸素欠陥） 19.929 ‒ 20.776 32.539 ‒ 33.616 （酸化） 0 19.082 ‒ 19.929 0 31.462 ‒ 32.539 18.235 ‒ 19.082 30.385 ‒ 31.462 CI 17.388 ‒ 18.235 2 CF4・NF 29.308 ‒ 30.385 3 O2 H2・Ar -25.0 16.541 ‒ 17.388 -25.0 28.231 ‒ 29.308 15.694 ‒ 16.541 27.154 ‒ 28.231 14.847 ‒ 15.694 小 26.077 ‒ 27.154 小 14.000 ‒ 14.847 25.000 ‒ 26.077 -50.0 -50.0 -50.0 -25.0 0 25.0 50.0 -50.0 -25.0 0 25.0 50.0 商品仕様 相関例 検知性能 シリーズ名 形状 耐熱性 構成 サイズ 最小購入 単位 略号 電子密度と変色色差の相関を確認 装置：アリオス（株）製 ガス種：Ar 処理圧：10Pa 初期真空度：5.0×10-4 Pa 対応ガス（プラズマ種）★ 感度 装置型式：ICP 出力：100～300Ｗ 処理時間：6min 本　体： φ4インチ 膜　厚： 5μm 1枚 PLW100SI ウエハ 50.0 （オリフラ） ■ プラズマ電子密度（cm-3）に対する変色性 基　板： シリコン 本　体： φ6インチ PLAZMARKⓇ 37.5 ウエハ型 Ar, O2, H2, CF 検知部： 無機色材 膜　厚： 5μm 1枚 PLW150SI 4 4.1E＋11 6.3E＋11 9.1E＋11 1.1E＋12 1.4E＋12 SF6, Cl 1種類 400℃ セラミックタイプ 2, NF3 ウエハ 本　体： Φ200mm （Vノッチ） 膜　厚： 10μm 1枚 PLW200SI 25.0 耐熱 ウエハ 基　板： サファイア 本　体： φ4インチ 12.5 ウエハ （オリフラ） 検知部： 無機色材 膜　厚： 5μm 1枚 PLW100SA ★対応ガスは当社で確認できたものを記載しております。混合で使用する場合も含め、この記載が全てではありません。　 0 ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 1.00E＋11 4.25E＋11 7.50E＋11 1.08E＋12 1.40E＋12 ※PLW200SIはケース別売。 電子密度（cm-3） 15 16 処理前後の色差⊿E*ab

ラインナップ　感度比較イメージ サクラクレパスの技術 色材の進化。 プラズマインジケータ™ PLAZMARK®は、ラジカルやイオンの密度と照射時間の積算に対応して変色が進行します。 低密度短時間の「弱い処理」から、高密度長時間の「強い処理」までの相対的な強度の変化に対する典型的なPLAZMARK® 「サクラクレパス」は、100年間にわたり蓄積した色材技術を応用し、 の感度比較イメージを下図にまとめました。 常に新たな描画材料・筆記具・インジケータインキ・工業用マーカーの開発など、 O2プラズマ処理（真空） 新しい時代に向けて技術開発に取り組んでいます。 弱 プラズマ処理の強度 強 No.1 ■ 滅菌確認用インジケータ（1975～） O2クリーニング用 シリーズ No.2 No.3 用 ■ ボンディング前のクリーニング 途 ■ 濡れ性改善のための表面改質 No.101 例 ■ 有機残渣除去、アッシング 耐熱ラベルシリーズ No.102 ウエハ型 セラミックシリコン Arクリーニング用シリーズ No.20 Arプラズマ処理（真空） CF4プラズマ処理（真空） ■ 示温インキTCカラー ■ プラズマインジケータ™ 弱 プラズマ処理の強度 強 弱 プラズマ処理の強度 強 「サクラクレパス」の色材技術は、���年間にわたり時代が 要望する新製品を世に送り出してきました。色材である 　（ 1978～） 　 PLAZMARKⓇ（2014～） 温度で色が変わる色材 No.20 No.1 顔料や染料にそれを引き立てる展色剤、水や溶剤を 冷たい飲み物を注ぐと… No.21 O2クリーニング用 シリーズ No.2 ベースに様々な要求、使用シーンに合わせてお客様に Arクリーニング用 シリーズ No.22 No.3 満足していただけるよう品質を創り上げてきました。 No.23 No.101 耐熱ラベルシリーズ No.101 No.102 温度が上がると… 耐熱ラベルシリーズ No.102 ウエハ型 セラミックシリコン ウエハ型 セラミックシリコン Arクリーニング用シリーズ No.20 用 途 ■ ボンディング前のクリーニング ■ 酸化膜除去、エッチング 用 途 ■ クリーニング、表面改質 例 ■ 濡れ性改善のための表面改質 例 ■ 酸化膜除去、エッチング また、従来から研究・開発をすすめている描画材料・筆記 具分野での色材技術がさらに進化し『、滅菌インジケータ インキ』など医療関係者にしか知られていないような 大気圧プラズマ処理（Airのみ） 大気圧プラズマ処理（N2+Air） 商品も手掛けています。医療機器類は、滅菌インジケータ 弱 プラズマ処理の強度 強 弱 プラズマ処理の強度 強 とともに滅菌作業が行われ、インジケータの色で使用 可・不可が判断されています。その滅菌手段も年々より No.40 No.40 安全確実な方法が開発され、それに対応すべく新たな No.41 No.41 インジケータの開発も行っています。最新の進化形が 大気圧プラズマ用 プラズマインジケータTMであり、エレクトロニクスをはじめ No.42 大気圧プラズマ用 シリーズ シリーズ No.42 No.1 No.1 マーカー類では昨今の工業分野に欠かすことのできない 自動車・航空宇宙、材料など幅広い分野での応用を クリーニング用シリーズ クリーニング用シリーズ 固形ペンキである『ソリッドマーカー』を開発し、成分中 展開しています。 No.20 No.20 のハロゲンや不純物を抑え金属の腐食を起こさない 用 途 ■ 接着性向上 用 途 ■ 接着性向上 『ローハロゲンマーカー』や造船所での船舶マーキング 例 ■ 濡れ性改善のための表面改質 例 ■ 濡れ性改善のための表面改質 に最適な『鉄鋼用マーカー』の開発など着実に新しい時代 に向けて技術開発に取り組んでいます。 ※PLAZMARK、プラズマインジケータは（株）サクラクレパスの商標または登録商標です。 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で商標登録されています。 17 18

プラズマインジケータTM 大気圧プラズマ用超高感度(No.40)ご紹介 株式会社サクラクレパス ＰＩ事業部 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 1 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

大気圧プラズマ用超高感度(No.40) ◆超高感度タイプとは？ 従来品では変色しづらかったソフトなプラズマ処理にも対応できるよう、 高感度タイプより更に感度をアップ(従来比 3倍以上)させた製品です。 ◆こんなお客様におすすめ！ ・スキャンスピードが速い (処理時間が短い） ・プラズマパワーが小さい ・現行高感度No.41では 変色しなかった 2 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

現行高感度（No.41)との比較 ◆電子技研製 大気圧プラズマ装置 AP-2000 誘電体バリア放電方式 ◆処理条件：窒素 70SLM, Air 2SLM、 出力 7.5kV、 処理速度 3,000mm/min、照射距離 5mm 上記条件で繰り返し照射 ◆変色見本 処理回数 未処理 1回 2回 3回 4回 12回 30回 No.40 超高感度 No.41 高感度 ◆処理回数と No.40 超高感度 色差ΔＥ*abの No.41 高感度 関係 ※処理済み変色サンプルを 色差計で測定し数値化 （P6で説明） 感度 ３倍以上！ 3 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

形状、スペック ◆ロングラベル型 ◆シート型 No.40(超高感度) 形状 ロングラベル(貼付可能） シート 構成 本体：クリーンペーパー／検知部：有機色材、レジン 本体：35 x 300 x 0.2 mm 本体：210 x 300 x 0.2 mm サイズ 検知部：300 x 15 mm 検知部：190 x 300 mm 耐熱性 100℃ 入数 20枚 5枚 略号 PLL0430-40 PLC2130-40 4 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

利用例① - 分布評価 ◆ロングラベルで電極幅方向における均一性を確認する。 ◆目視で評価が可能 ←インジケータ幅方向→ ◆色差計で数値化することで定量評価が可能 　　色差 インジケータ幅方向 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 5 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

利用例② - 接触角との相関、置き換え ◆従来の濡れ性確認手法である接触角測定と 色差の相関を取る事で置き換えが可能 ⇒ 接触角測定より簡便に評価 色差 色差 接触角 プラズマ強度 接触角 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 6 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

利用例③ - 再現性の確認 ◆所定のプラズマ処理ができているか確認する。 ワーク プラズマインジケータ ・正常状態の確認 ・再現性の確認 ・装置管理 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 7 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

利用例④ - 機差確認 ◆分布評価やプロセスの再現性を横並びで確認。 No.4 No.3 No.2 OK No.1 OK NG ・装置間バラツキの低減 プラズマ 条件調整 インジケータ OK ・早急なトラブルシュー ティング OK ・監査対策 ●Copyright © 2023 SAKURA COLOR PRODUCTS CORPORATION. All Rights Reserved. 8 ●本資料の無断引用･転載･複製･編集･配布、事例の流用を固く禁じます。

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