CV/IV測定器・水銀プローバ

CVmap Mercury Prober 水銀プローバ CV/IV測定システムCVmap SiC、GaNなどのパワーデバイス向け化合物半導体のキャリア濃度評価に非常に有効 特 徴 CVmapは、水銀プローブ方式を用いたCV／IV測定システムです。水銀が電 極の代わりになるため、コストや時間を要する電極形成が不要です。独自の コンタクト方式は、非常に優れた再現性、安全性を実現します。SiC、GaN、Si- Epiなど、様々なタイプのウェハに対応。迅速にマッピング測定が行えます。 測定例 主な測定項目 SiCウエハのキャリア濃度プロファイル(C-V、N-W) ■ドーピングプロファイル(キャリア濃度) ■比誘電率(Low-K、High‐Kなど) ■フラットバンド電圧 ■界面トラップ、固定電荷密度 ■リーク電流 ■破壊電圧測定(Vbd、TDDB) ■チャージによる破壊試験(Qbd) ■ピンホール密度縁膜膜厚、絶縁膜容量 ■強誘電体特性 ■ジェネレーション・ライフタイム絶縁膜の抵抗 CVmap Seriesのラインナップ ■Pseudo‐MOSトランジスタ測定 (B-type) ■BOX界面Dit、モビリティ測定(B‐type) ■CVmap92A ： マッピング測定対応、標準タイプ ■CVmap92B ： SOIウエハ対応タイプ ■CVmap3092A、B ：12インチ対応タイプ ■CV92M ： マニュアル測定タイプ 【製品に関するお問合せ先】 TEL： 078-304-5178 Email：info4@oyama-company.co.jp ※ USJウエハ対応タイプ、自動搬送付きタイプ、大型 HP： https://www.oyama-web.com/keisoku.html 基板用タイプなど、各種取り揃えています。