1/1ページ

このカタログをダウンロードして
すべてを見る

ダウンロード(234.2Kb)

シート抵抗測定器・四探針プローバ

製品カタログ

四探針方式のシート抵抗測定器の紹介

このカタログについて

ドキュメント名 シート抵抗測定器・四探針プローバ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 234.2Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 雄山株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

この企業の関連カタログ

マニュアルプローバ
製品カタログ

雄山株式会社

CV/IV測定器・水銀プローバ
製品カタログ

雄山株式会社

このカタログの内容

Page1

4PP Rs measurement system シート抵抗測定システム 4PP シリーズ 特 徴 コンパクトに形成された四点プローブシステムは、半導体/液晶基板、太陽電池セル、 ならびに導電性薄膜等の研究開発・検査工程・製造ラインにおいて、多様化する電 子材料の抵抗率、 シート抵抗値 を四探針法により迅速かつ高精度に測定します。 主な機能 各種ラインナップ ■シート抵抗測定 お客様の要望に応えたラインナップを取り揃えております。 0.001 ~ 800KΩ/sq、(OP品: 8E11Ω/sq) (主なラインナップ) ■測定内容 ■ Model280PI: 電動ステージ付き測定機、レシート機能 抵抗率、シート抵抗、膜厚 ■ Model280SI: PC、測定ソフトウェア付き、マッピング対応機 ■対象サンプル ■ Model280DI: 抵抗測定拡張レンジ (最大8E11ohm/sq) ソーラーセル ■ Model680 : 化合物ウエハ対応測定機 バルクウエハ、エピ層、金属膜、ポリシリコン等 ■ Model333 : 300mmウエハ対応測定機(CtoC対応も可) ■対象サンプル ■ Model1100:大型液晶基板対応機 チップサイズ ~ 300mmウエハ(最大) ■専用ソフトウエア マッピング機能(最大10000pt以上) 温度補正、トレンドチャート等各種オプション有 ■オプション機能 ロボット付き自動機、大型液晶基板対応機など プローブヘッド 用途に応じて、先端径が異なる5種の プローブヘッドをラインナップ ・先端径 : 25 ~ 500μm ・圧力レンジ : 60~200g 【製品に関するお問合せ先】 TEL: 078-304-5178 Email:info4@oyama-company.co.jp HP: https://www.oyama-web.com/keisoku.html