霜点発生器 G3

霜点発生器 G3 RH Systems 社の G3 霜点発生器には、NIST(アメリカ国立標準技術研究所)にて実証され た、RHS ハイブリッド 2 温度２圧力システムが採用されています。 G3 霜点発生器は、配管類、圧力レギュレーター、流量レギュレーター、飽和槽を密閉され た真空チャンバー内に封じ込めた低湿度発生器です。  極低露点-120 °C FP ～ +10 °C DP  真空断熱/絶縁飽和槽とコントロールバルブ  電源 100-240 VAC、50-60 Hz  ハイブリッド2温度2圧力法による、超高精度の露点発生  デュアル・フロンフリー・クライオクーラー(極低温冷却器)  1～3個の独立した流量制御ガス出力ライン 特徴 RHS ハイブリッド 2 温度 2 圧力法原理 ハイブリッド霜点発生器は、２温度2圧力の湿度発生原理の特徴を組み合わせたものです。これらの原理を利用することで、昇圧 したガスの流れは、所定の飽和温度で水の液相または固相に対して飽和します。飽和槽の温度は、キャリアガスに混入される水 蒸気の量を決定する主な要因です。また飽和槽内の圧力は、混合ガスのキャリアガス量を決定する主な要因です。飽和槽から出 ると、加湿されたガスの流れ（キャリアガスと混合された水蒸気から成る）は、より低い圧力まで膨張され、被試験装置（DUT） などの使用地点で別の温度に温められます。飽和槽内の圧力値と温度、および膨張後の圧力と温度（一般的にDUTにおいて）は ガスの流れの湿度を決定するために使用されます。湿度は、飽和槽内の温度と圧力の調整により正確に制御されます。 G3霜点発生器とは フリー 配管類、圧力レギュレーター、流量レギュレーター、 ピストン クーラー 飽和槽を密閉された真空チャンバー内に封じ込めた低 湿度発生器です。真空チャンバーを使用することで、 大気中の水蒸気の浸透をなくし、熱的に制御されたコ ンポーネントやその周辺に断熱材を使用する必要がな くなります。 さらに、スターリングクライオクーラー（正確には フリーピストンスターリングクーラー）が飽和槽の 真空チャンバー 冷却に使用されます。 上部温度計 Tsu 従来の設計に比べ、G3 は浸透効果の低減、断熱性の 向上、制御、冷却の高速化、メンテナンスのしやす 下部温度計 Tsl さにより、低湿度下での高精度と高性能が実現して 飽和槽 います。 複数の流量制御出力 G3 は最大 3 つの独立した流量制御ガス出力ラインを提 供します。各出口は最大 5L/min の流量に対応でき、合 フリー 計流量は最大 10L/min となります。 ピストン クーラー 極低レンジ対応 高い効率の二重極低温冷却器により、G3 は 1PPB 以下 の超低湿度を発生させることができます。 1/3

真空状態が水蒸気の浸透を防ぐ 水蒸気は多くのものを浸透します。特にバルブ、レギュレーター、その他 のガス経路コンポーネント内に見られる、エラストマーやその他のシーリ ング材を浸透します。G3 では、浸透の影響を受けやすいバルブや部品は、 真空チャンバー内に収納されています。チャンバー内のガス分子が除去さ れ真空度が高まると、真空チャンバー内の水蒸気も大幅に減少します。こ れにより、通常浸透しやすい部品の外面から水蒸気が除去され、内部のガ ス経路の湿度に影響を与えるのを防ぐことができます。 真空断熱 飽和槽は、グラスファイバーやウレタンフォーム、その他の遮熱材といっ た標準的な断熱技術ではなく、高真空チャンバーの中心に設置されます。 熱エネルギーを伝達する分子が存在しない真空チャンバーは、優れた断熱 効果を発揮します。そのため、遮熱材を追加するのではなく、真空を利用 して分子の相互作用を制限することで熱伝導を防いでいます。 2/3

技術仕様 発生湿度出力: 測定範囲（蒸気濃度） <1ppb ~ 12,000 ppm 温度範囲（霜点・露点） -120 °C FP ~ +10 °C DP 温度安定性（霜点・露点） ±0.05 °C 温度精度（霜点・露点） ±0.1 °C (FP > -80 °C) 発生流量出力（ガス流量）: 範囲（出力あたり） 1～3 アウトプット、各 0～5 SL/min 範囲（合計） 0 ~ 10 SL/min 精度 ±0.2 SL/min 安定性 ±0.1 SL/min 温度: 飽和温度制御範囲 -120 °C ~ +20 °C 飽和温度制御精度 ±0.05 °C 飽和温度制御安定性 ±0.03 °C 制御温度計接続 2つの外部温度計接続 測定精度 ±0.05 °C プローブタイプ Pt100、4 線式 圧力: 飽和圧力制御範囲 常温～1 MPa (150 psia) 飽和圧力精度 ±0.05% FS 試験圧力測定範囲 0.07 ~ 0.12 MPa (11 ~ 17 psia) 試験圧力精度 ±0.05% FS ユーティリティ条件: ガス供給 0.3 ~ 1MPa @ 10 SL/min 最大圧力 3 MPa ガスタイプ 乾燥空気または窒素 供給電圧 100-240 VAC、50/60 Hz、単相 消費電力 1.5 kW 環境条件: 動作温度 +15 °C ~ +40 °C 保管温度 0 °C ~ 50 °C 湿度 10～95 %RH（結露なきこと） 重量と寸法: 高さ 1.2 m 幅 0.8 m 奥行き 0.8 m 輸送重量 318 kg 本カタログは予告なく変更する場合があります。 株式会社テクネ計測 □本社 〒213-0002 神奈川県川崎市高津区二子 6-14-10 TEL:044-379-3697 FAX:044-379-4105 □大阪 〒530-0044 大阪府大阪市北区東天満 2-9-4 TEL:06-6809-6565 FAX:06-6809-6566 □福岡 〒812-0013 福岡県福岡市博多区博多駅東 2-17-5 A.R.K ビル 201A TEL: 092-477-7330 FAX: 092-477-7331 URL:https://www.tekhne.co.jp Mail:info@tekhne.co.jp 3/3