CRDS標準型微量分析計HALO3シリーズカタログ

TIGER OPTICS - CRDS 標準型微量分析計 HALO3 シリーズ 幅広い用途に活用できる高性能分析装置の登場です。溶接用、医療用、産業用、高純度ガ ス製造時の品質保証からボンベ充填までをカバーし、その他バルク輸送や中継点への搬送 時などにも適用可能です。取扱いにくく複雑で、その上コストも労力もかかる 20 世紀の 技術は本製品とは無縁です。校正も予備パーツも不要で、測定範囲の制限やドリフト、そ して測定の待ち時間を心配する必要もなくなります。立ち上げも運用も簡単に行えます。 Tiger Optics の製品は、キャビティリングダウン分光法（CRDS）分析装置の元祖とし て、１０年以上にわたって世界中のお客様に使用されています。CRDS は操作が簡単で性 能も高いという点で強みがある為、Tiger Optics の装置は幅広い用途で完璧な仕事をしま す。SPARK を使用することで CRDS がいかに高性能か体験でき、効率よい測定を体感で きます。 特徴 ▪高性能で実績豊富な (CRDS)テクノロジーを採用 ▪小流量での高応答速の計測が可能 ▪校正不要 ▪幅広い測定範囲 ▪生涯コストの削減 シリーズ詳細 再現性 型番 分析対象 サンプルガス 測定濃度範囲 検出下限（3σ） (1σ) @zero 窒素 0 ～ 2000 ppm 40 ppb 15 ppb 酸素 0 ～ 1800 ppm 35 ppb 12 ppb クリーンドライエア 0 ～ 2000 ppm 40 ppb 15 ppb HALO 3 CO 一酸化炭素 アルゴン 0 ～ 1600 ppm 30 ppb 10 ppb ヘリウム 0 ～ 1800 ppm 35 ppb 12 ppb 水素 0 ～ 2500 ppm 50 ppb 20 ppb 低域 0 ～ 7 ppm 0.5 ppb 0.2 ppb 窒素 中域 0 ～ 35 ppm 2.5 ppb 0.8 ppb 高域 0 ～ 130 ppm 20 ppb 7 ppb アンモニア 低域 0 ～ 6 ppm 0.4 ppb 0.15 ppb (標準) 水素 中域 0 ～ 30 ppm 2.0 ppb 0.7 ppb HALO 3 NH3 高域 0 ～ 110 ppm 15 ppb 5 ppb 二酸化炭素 *1 0 ～ 30 ppm 2.5 ppb 0.8 ppb 窒素中 0 ～ 150 ppm 9 ppb 3 ppb アンモニア 10 ppb *2 3.5 ppb (亜酸化窒素モデル） 亜酸化窒素 (N2O) 0 ～ 200 ppm / 50ppb / 20 ppb *1 窒素・水素中の低・高範囲検知との組み合わせは不可です *2 乾燥バキュームポンプが必要となります 1/5

再現性 型番 分析対象 サンプルガス 測定濃度範囲 検出下限（3σ） (1σ) @zero 窒素 0 ～ 8 ppm 1.6 ppb 0.6 ppb ヘリウム 0 ～ 5 ppm 1.1 ppb 0.4 ppb HALO 3 CH4 メタン アルゴン 0 ～ 7 ppm 1.4 ppb 0.5 ppb 水素 0 ～ 8 ppm 1.6 ppb 0.6 ppb 酸素 0 ～ 6 ppm 1.1 ppb 0.4 ppb 窒素 0 ～ 5 ppm 0.4 ppb 0.15 ppb ヘリウム 0 ～ 1.3 ppm 0.4 ppb 0.05 ppb 六フッ化硫黄 0 ～ 8 ppm 1.2 ppb 0.4 ppb 三フッ化窒素 0 ～ 7.5 ppm 0.6 ppb 0.2 ppb 四フッ化炭素 0 ～ 6 ppm 0.8 ppb 0.3 ppb HALO 3 HF フッ化水素 六フッ化エタン 0 ～ 12 ppm 1.6 ppb 0.6 ppb 八フッ化プロパン 0 ～ 12 ppm 1.6 ppb 0.6 ppb ヘキサフルオロ 1,3 ブタジエン 0 ～ 15 ppm 15 ppb 5 ppb (C4F6) パーフルオロシクロブタン 0 ～ 14 ppm 1.6 ppb 0.6 ppb 窒素 0 ～ 20 ppm 1.0 ppb 0.4 ppb HALO 3 HCl 塩化水素 クリーンドライエア 0 ～ 20 ppm 1.0 ppb 0.4 ppb 水素 0 ～ 10 ppm 1.0 ppb 0.4 ppb 窒素 0 ～ 25 ppm 8 ppb 3 ppb ヘリウム 0 ～ 25 ppm 8 ppb 3 ppb アルゴン 0 ～ 25 ppm 8 ppb 3 ppb HALO 3 CO2 二酸化炭素 酸素 0 ～ 25 ppm 8 ppb 3 ppb クリーンドライエア 0 ～ 25 ppm 8 ppb 3 ppb 塩化水素 0 ～ 30 ppm 9 ppb 3 ppb 窒素 0 ～ 40 ppm 5 ppb 1.7 ppb HALO 3 CH2O ホルムアルデヒド 水素 0 ～ 40 ppm 6 ppb 2.0 ppb 重水素 0 ～ 20 ppm 3 ppb 1.0 ppb D2O HALO3 窒素 0 ～ 50 ppm 7 ppb 2.5 ppb D2O/HDO 重水素 0 ～ 30 ppm 5 ppb 2 ppb HDO 窒素 0 ～ 40 ppm 6 ppb 2 ppb 2/5

再現性 型番 分析対象 サンプルガス 測定濃度範囲 検出下限（3σ） (1σ) @zero 窒素 0 ～ 20 ppm 1.2 ppb 0.4 ppb ヘリウム 0 ～ 4 ppm 0.25 ppb 0.1 ppb 希ガス/パ ッシブガ アルゴン 0 ～ 9 ppm 0.6 ppb 0.2 ppb ス 水素 0 ～ 16 ppm 1.0 ppb 0.4 ppb 重水素 (2H2) 0 ～ 14 ppm 0.9 ppb 0.3 ppb 酸素 0 ～ 12 ppm 0.7 ppb 0.25 ppb クリーンドライエア 0 ～ 18 ppm 1.2 ppb 0.4 ppb 一酸化炭素 0 ～ 24 ppm 1.5 ppb 0.5 ppb 酸化ガス 二酸化 標準 0 ～ 25 ppb 2.0 ppb 0.7 ppb 炭素 高範囲 0 ～ 70 ppb 8 ppb 3 ppb 二酸化硫黄 0 ～ 60 ppm 4 ppb 1.2 ppb ネオン 0 ～ 5 ppm 0.3 ppb 0.1 ppb レアガス クリプトン 0 ～ 11 ppm 0.6 ppb 0.2 ppb キセノン 0 ～ 13 ppm 0.8 ppb 0.3 ppb 塩素 *3 0 ～ 25 ppm 1.5 ppb 0.5 ppb 腐食性 HALO 3 H2O 水分 塩酸 *4 0 ～ 50 ppm 3 ppb 1.0 ppb ガス 臭化水素 0 ～ 100 ppm 12 ppb 4 ppb 六フッ化硫黄 0 ～ 15 ppm 1.0 ppb 0.4 ppb 三フッ化窒素 0 ～ 20 ppm 2.5 ppb 0.9 ppb 四フッ化炭素 0 ～ 15 ppm 4 ppb 1.2 ppb 六フッ化エタン 0 ～ 15 ppm 3 ppb 1.0 ppb フッ素化 八フッ化プロパン 0 ～ 20 ppm 3 ppb 1.0 ppb ガス ヘキサフルオロ 1,3 ブタジエン 0 ～ 25 ppm 150 ppb 50 ppb (C4F6) パーフルオロシクロブタン 0 ～ 20 ppm 3 ppb 1.0 ppb オクタフルオロシクロペンテン 0 ～ 32 ppm 30 ppb 10 ppb (C5F8) 硫化水素 0 ～ 40 ppm 200 ppb 70 ppb セレン化水素*5 0 ～ 70 ppm 30 ppb 10 ppb 水素 1% ゲルマン 化物ガス 0 ～ 16 ppm 7 ppb 2.5 ppb 99% 水素混合物 10% ゲルマン 0 ～ 16 ppm 35 ppb 12 ppb 90% 水素混合物 *3 腐食性ガスが必要となります。 *4 1ppm を超える濃度の水分には、腐食性ガスを推奨しています *5 セレン化水素の分析には専用の分析装置構成が必要です。 詳細はお問い合わせください。 その他の検査対象やガス種についてはお問い合わせください 米国特許番号 7.277.177 3/5

技術仕様 計測性能 測定範囲 前項 シリーズ詳細参照 検出下限（3σ/24h） 前項 シリーズ詳細参照 再現性（1σ 以上） ± 0.75% または検出下限の 1/3（大きい方） 精度 ± 4% または検出下限（大きい方） 応答速度 HALO3 CH2O、NH3、CO2 3 分以下（95%応答） HALO3 CO、CH4、D2O/HDO、H2O、HCl、HF 1 分以下（90％応答） 動作環境 温度 10～40℃、湿度 30～80％RH (結露無きこと) 保管温度 –10°C ～ 50°C ガス関連仕様 接ガス部材質 316L SUS、表面粗さ 10 Ra ※HALO3 CO、CH4、HF、HCl、CO2、H2O オプションで腐食性ガス仕様可 ガス接続径（入口/出口） 1/4” VCR オス 入口側圧力 ゲージ圧 0.06~0.86MPa 絶対圧 0.17~0.96MPa リーク度 1 x 10-7 MPa L/s 流量 HALO 3CH2O 最小 <1 L/m NH3 -1 L/m HALO D2O/HDO、H2O 0.05~1.8 L/m 最大 1.8 L/m (窒素ガス中、ガス種に依存) サンプルガス 前項 シリーズ詳細参照 ガス温度 最高 60°C 寸法及び重量 標準型 222H × 218W × 599D mm 19 インチラック型 222H × 483W × 599D mm （最大 2 基のユニットを搭載可) 重量 (標準型) 12.7 kg ※HALO3 CH2O、NH３は 15.4kg 出力仕様 プラットフォーム マックスシリーズアナライザー アラーム ユーザープログラミング可能 x2、システムフォルト x1 (C 接点) 使用電源 90～240 VAC, 50/60 Hz 消費電力 最大 40 W 信号出力 4-20 mA （アイソレート） ユーザーインターフェイス 5.7” LCD タッチスクリーン、10/100 Base-T イーサーネット、USB、RS-232、 RS-485、Modbus TCP (オプション) データ保管先 内蔵または外付けフラッシュドライブ 電機規格適正 CE マーク 4/5

オプション CRDS 標準型微量分析計のオプションをご紹介します。 Serani™ Max Analyzer インターフェースソフトウェア ・離れた場所にいながら、イーサーネットまたは RS-232 経由で自分の パソコンから Spak H2O にアクセスできます。(Windows XP 以降の OS が必要です) ・ボタンを押すだけでデータの記録、グラフ化、解析を即時に行えま す。 ・簡単にデータ収集や他の機能のショートカットが選べます。 年次性能評価 ・簡単に遠隔で性能評価を行えるため、工場に装置を送付する 必要はありません。 ・年次評価により、対象機器は当初の性能を引き続き発揮でき ます。 ・QA/QC 規格に適合した評価証明書を最新のものに保つこと ができます。 設置・試運転 ・現地にて、装置の設置及び運転方法を有償にてご説明する ことも可能です。 ・適切な設置により、分析装置やサンプリングシステムに将 来問題が発生するリスクを削減できます。 ・長期的な運用時の安心及びコスト削減につながります。 本カタログは予告なく変更する場合があります。 株式会社テクネ計測 □本社 〒213-0002 神奈川県川崎市高津区二子 6-14-10 TEL：044-379-3697 FAX：044-379-4105 □大阪 〒530-0044 大阪府大阪市北区東天満 2-9-4 TEL：06-6809-6565 FAX：06-6809-6566 □福岡 〒812-0016 福岡県福岡市博多区博多駅南 1-11-27 TEL: 092-477-7330 FAX: 092-477-7331 URL：https://www.tekhne.co.jp Mail：info@tekhne.co.jp 5/5