鏡面冷却式露点計　低露点（-80 ℃dp～）向け　MBW973

高精度 鏡面冷却式露点計（ミラー式露点計） MODEL 973 シリーズ Application ■ スポットチェックに ■ 基準器として ■ 結露防止用途 ■ クリーンルーム ■ 燃焼炉内露点管理 高精度鏡面冷却式露点計 MBW973 シリーズ （ミラー式露点計） 外形寸法（単位 mm） 仕 様 973S 973L （973S） -60 ～ +20℃ -75 ～ +20℃ 露 点 （校正範囲 -50 ～ +20℃） （校正範囲 -70 ～ +20℃） 測定範囲 湿 度 0.1 ～ +100％RH 温 度 -50 ～ +100℃ 露 点 ±0.1℃ （校正範囲内において） 測定精度 湿 度 ±0.5%RH 温 度 ±0.07℃ 露 点 ≤ ± 0.05 °C（校正範囲内において） 再現性 温 度 ≤ ± 0.04 °C 3 段ペルチェ, 空冷方式 冷却方式 （オプション 水冷方式, スターリングクーラー（973L）） 外付け温度プローブ あり オプション ORIS 機能 あり 表示部 5.7 インチ カラータッチスクリーン デジタル出力 RS-232 アナログ出力 なし（オプション 4-20mA, -10～10V） ポンプ 付属 オプション 鏡面材質 銅に金メッキ及びロジウムメッキ（3 層構造） 各国で国家標準器として使用される信頼性 配管材質 SUS316L, FEP ガス流量 0 ～ 1.0L/m 0 ～ 2.0L/ｍ 接続 6mm Swagelok もしくは 1/4"Swagelok 露点・霜点最高精度±0.1℃ 動作圧力範囲 0 ～ 0.25MPaG 0～2.0MPaG 動作環境（温度/湿度） 10℃～+40℃/最大 98％RH（結露なきこと） 保管温度 -20 ～ +50℃ スポットチェック・基準器に 電 源 100 ～ 120VAC もしくは 200 ～ 240VAC, 50/60Hz 消費電力 200W 416W×140H×310D(mm） 364W x 147H x 391D(mm） 機 器 サイズ/重量 10Kg 14kg 収納ケース 627W×303H×497D(mm）/重量 21kg (973L は 26kg) 付属品 ペリカンケース , 鏡面清掃用綿棒, アナログ信号用ケーブル 株式会社テクネ計測 本カタログは予告なく変更する場合があります。2025.11 第 7 版 □本社 〒213-0002 神奈川県川崎市高津区二子 6-14-10 TEL:044-379-3697 FAX:044-379-4105 □大阪 〒530-0044 大阪府大阪市北区東天満 2-9-4 TEL:06-6809-6565 FAX:06-6809-6566 □福岡 〒812-0013 福岡県福岡市博多区博多駅東 2-17-5 A.R.K ビル 201A TEL:092-477-7330 FAX:092-477-7331 URL:https://www.tekhne.co.jp Mail:info@tekhne.co.jp

世界で、日本で MBW の鏡面冷却式露点計が選ばれている理由 動作原理 MBW とは - 世界各国の湿度スタンダード - ミラー式の測定原理は次のようなものです。まずペルチェ素子によって正確に温度制御され た鏡面 に光を照射し、その反射光の強さを受光部にて測定します。鏡面は清浄で結露がなけ MBW は 1962 年設立、スイスに拠点を持つ露点計のメーカーです。 れば、光を最大限に反射します。この鏡面に結露が生じると光は分散されるので、反射光は MBW の露点計は、世界的に最高レベルの信頼を得ている高性能・高精度な鏡面冷却式(ミラー式)露点計です。故に、世界主要 減少します。ペルチェ素子が更に鏡面温度を冷却すると、結露する量は増えていき反射光も 各国で湿度の国家標準として同社露点計が採用されています。 減少していきますが、ある温度に達すると周囲のガス内に含まれる水分量と平衡に達して、 MBW を国家標準器として採用する主な機関 結露の量が変化しなくなります。この状態での鏡面温度を計測することで、露点を測定する 米国 NIST ことができます。鏡面が水の状態で結露している時は露点、氷の状態で結露している時は霜 点になります。 スペイン INTA フィンランド CMA シンガポール SPRING ORIS 機能による高応答の実現 英国 NPL NMIJ（産業総合研究所 計量標準センター） フランス CETIAT イタリア IMGC 他多数 微量水分測定においては、鏡面への結露量は非常に少ない オランダ NMI ため、安定までに時間がかかります(グラフ赤線)。これに対 ドイツ PTB し、ORIS（Optimum Response Injection System）機能 は強制的に僅かな水分を鏡面部に加える機能で、鏡面表面 ポ ンプ、流量計、圧力センサー内蔵 の結露量を増加させることができます。 これにより測定値が安定するまでの応答時間を画期的に短 MBW973 はポンプ、流量計、圧力センサー内蔵により、すぐに 縮することに成功し、従来の方式では数時間あるいはそれ 計 測を開始できます。内部・細部にまで高品質・高性能な部品 以上かかっていた測定を数分で行うことが可能になりまし を 使用しており、機器が故障する原因を徹底的に排除した、最 た。（グラフ青線） 高 品質のサンプリングシステムを搭載しています。また、持ち 運 びできるポータブルタイプですので、機器背面のサンプルガ スＩＮ、ＯＵＴにチューブ配管を接続するだけで、迅速かつ簡 自動ミラーチェック機能 単 に露点計測を開始することができます。流量計、ポンプ等を 鏡面上にゴミが残っていても、その影響の大きさを数値化し 別 々に持ち運ぶ必要がありません。 補正するのが自動ミラーチェック機能です。鏡面を加熱し露 または霜を取り除き、残ったゴミの量を見積もって補正を行 います。お客様が設定された間隔で周期的に行うことも可能 ですし、鏡面の状態を確認したいときに手動で行うことも可 能です。残ったゴミの量はディスプレイに表示されますの で、常に鏡面の汚れ具合を把握できます。 霜凝結機能（Force Frost） フルカラータッチパネル ミラーの温度が 0℃以上の場合はミラーに付着するのは水蒸気が液状に凝結した「露（つゆ）」です。こ ミラークリーニング フルカラー高解像度液晶ディスプレイ、多機能のタッチパネルを装備していま の場合の計測単位は「露点」です。 ミラーの温度が 0℃よりも遙かに低い時は（一般的に-40℃以下）、 す。明暗を強調したワイド画面、大きく読み易いフォントにより、快適な操作 ミラーに付着するのは水蒸気が氷状に凝結した「霜」です。この場合の計測単位は「霜点」です。しか もしもミラーや他の内部の測定ヘッドが冷たい 性をお約束します。画面上に表示されたボタンやメニューを選択することで、 し、ミラー温度が 0℃～約-30℃付近の場合、凝結層の状態は明確には判断できません。 実際には凝結 状態で急に大気にさらされるとミラーやヘッド 湿度、温度、および圧力を様々な単位で表示させることができます。数値表示 層は露であったり霜であったりもしくは両方存在していたりします。計測器が間違った判別をしてしま 等が結露する可能性がある為、前もって設定し うと、計測に 2～3℃dp の大きな誤差が生じます。 とグラフ表示の切替も可能で、ユーザーカスタマイズも可能です。 てある温度までミラーを即座に温めて測定ヘッ この問題を解決するのが、MBW973 の持つ自動で氷点下の霜凝結をさせる ドのカバーと光学アッセンブリーを取り外す準 強制霜凝結機能（Force Frost）です。ミラーを急速に-40℃以下まで冷却 備に入ります。 し、凝結層を氷や霜の状態にします。一度霜となった層は、氷点下以下で ある限りは霜であり続けます。 この機能は ON/OFF を選択できるほか、 ON の場合には Force Frost 機能の冷却開始温度を設定できます。 REFLECTING YOUR STANDARDS