半導体業界向け製品・用途紹介【露点計・風速計・温湿度計 酸素濃度計・腐食性ガス中水分計】

株式会社テクネ計測 用途参考資料 Vol.14 半導体業界向け 露点計・風速計・温湿度計 製品・用途紹介 酸素濃度計・腐食性ガス中水分計 ⚫ テクネ計測は気体中水分管理のエキスパートとして、過去 4５年にわたり露点計等を販売しております。 露点計 オンライン露点計：TK-100ON ✔ 露点温度 -100 〜+20 ℃ ✔ 測定精度 ±2 ℃ グローブボックス 参考価格 ：360,000 円(税別) 高分子式露点計：TE-660TR ✔ 露点温度 -60 〜+20 ℃ ✔ 測定精度 ±2 ℃ プローバ 参考価格：198,000 円(税別) ミラー(鏡面冷却)式露点計:MBW973 ✔ 露点温度 -80 〜+20 ℃ ✔ 測定精度 ±0.1 ℃ MBW9 温73湿E 度 計 コーター/フープ 参考価格：3,600,000 円(税別)〜 風速計 風速トランスミッター：EE671 ✔ 測定範囲 0~5 m/s、0〜10 m/s、0〜15 m/s、0〜20 m/s より選択 ✔ アナログ出力：0 - 1 V、0 - 5 V、0 - 10 V(最大 1mA) デジタル出力：Modbus RTU 参考価格：43,000 円(税別)〜

酸素濃度計 ガルバニ式酸素濃度計：2001LC ✔ 0-10000 ppm(最大) ✔ 小型・コンパクト ✔ 高応答速・長寿命 参考価格：790,000 円(税別) グローブボックス 温湿度計 温湿度計：EE310 ✔ 温度 -40 〜+180 ℃ ✔ 湿度 0 〜 100 %RH ✔ Modbus RTU、Modbus TCP オプション可能 参考価格：183,000 円(税別)〜 温湿度計：EE08 温湿度計：EE060/061 ✔ 温度 -40 〜+80 ℃ ✔ 湿度 0 〜 100 %RH ✔ 湿度 0 〜 100 %RH ✔ 測定精度 ±2 %RH 参考価格：53,000 円(税別)〜 参考価格：36,000 円(税別)〜 腐食性ガス中水分計 腐食 性ガス中連続水分分析計：iTMA シリーズ ✔ 0-10/0-100/0-1000/0-2500/0-5000 ppm/v ✔ 測定精度 ±1 % ✔ 測定可能ガス Cl2 HCl H2S SF6 等 参考価格：2,450,000 円(税別)〜 弊社は－70 ℃～－10 ℃露点の「湿度」登録区分で、国際MRA対応JCSS認定事 業者を取得しております。 取り扱い海外メーカーの製品は国内でメンテナンス・技術対応を行っており、迅速 当校正室は、国際MRA対応JCSS認定事業者です。 かつ的確なサポート体制で安心してお客様にご使用いただいております。 JCSS 0272 は、当校正室の認定番号です。 株式会社テクネ計測 □本社 〒213-0002 神奈川県川崎市高津区二子 6-14-10 TEL：044-379-3697 FAX：044-379-4105 □大阪 〒530-0044 大阪府大阪市北区東天満 2-9-4 TEL：06-6809-6565 FAX：06-6809-6566 □福岡 〒812-0016 福岡県福岡市博多区博多駅南 1-11-27 TEL: 092-477-7330 FAX: 092-477-7331 URL：https://www.tekhne.co.jp Mail：info@tekhne.co.jp 2022.11