ガスフローセンサー 製品カタログ

ガスフローセンサー フローセンシングのエキスパート

高性能ガスフロー測定 医療技術や産業オートメーション分野のガスフローソリューションをデザインしてきた長い歴史により、当社はお客様の 新製品の開発を支える理想のパートナーです。次の主要特性のおかげでさまざまなアプリケーション向けのガスフロー センサーを提供しています。 • 優れた繰り返し精度 • 高速応答 • 小流量における高い感度 • 幅広いダイナミックレンジ • 高信頼性、高堅牢性 • 双方向測定 詳しい情報はこちらをご覧ください。 www.sensirion.com/gasflow 当社独自の測定原理 ヒーター センシリオンのガスフローセンサーは、幅広く動的な測定 範囲にわたるガス流量の高速で正確かつ経済的な測定を 確実に行います。全ての当社フローセンサーの心臓部には ガスフロー MEMS ベースの熱量測定マイクロセンサーがあり、熱測定 原理を用いてガスフローを測定します(図を参照)。セン サーエレメントは単一のチップ上に信号処理回路と統合さ 温度センサー シリコン れています。この独自の技術的アプローチは、革新的な 1 mm CMOSens® 技術が実現させており、非常に魅力的なコスト で優れたパフォーマンスと堅牢性を発揮します。今日、大 手メーカー各社がセンシリオンの高感度フローセンサーを 信頼するのはこの為です。 迅速かつ容易にテストが行える 評価キット SEK-フローセンシング評価キットは。当社ガスフローセン サー用の評価セットです。このキットを用いて正確な測定 を短時間かつ低コストで行えます。評価キットには、セン サーを PC に直接接続できるアダプターケーブルが同梱さ れています。製品によっては、当社の SEK-SensorBridge が別途必要となります。アプリケーションソフトのビュー ワーソフトウェアは、当社Webサイトからダウンロードで きます。このソフトウェアは、さまざまな解像度での測定 を可能にし、マスフローを標準 L/min (slm) で表示します。 データはログに記録して Excel 形式でエクスポートでき ます。

ガスフローセンサー　製品紹介 SFM3003 SFM3019 / SFM3020 SFM3100 SFM3119 SFM3200 / SFM3200-AW • 多用途なデジタルフローメーター • 量産アプリケーション用デジタル、 • 多用途なアナログフローメーター • 多用途なデジタルフローメーター • SFM3200：呼吸器用吸気向け • 次世代のフローメーター アナログバージョン • 温度センサー付属 • コンパクトな形状 • SFM3200-AW：呼吸器用呼気向け （より幅広い流量範囲と仕様） • 低圧力損失 • 小型形状 • 低圧力損失 • 小流量において非常に優れた性能 • 量産用途およびコスト重視向け • 医療用換気に最適 SFM3300-AW / SFM3300-D SFM3400-AW / SFM3400-D SFM4200 SFM4300 SFM5500 / SFM5400 / SFM5300 • 呼吸器用近位フローメーター • 新生児用近位フローメーター • 多用途なデジタルフローメーター • コンパクトサイズ • 多用途な高精度フローメーター • 小デッドスペース低圧力損失 • 小デッドスペース低圧力損失 • 最大 8 bar まで安定した 圧力 • 高精度かつ高感度 (特に小流量において) • 金属製ボディー、最大 10 bar まで安定した圧力 • 使い捨てバージョンと蒸気滅菌/洗浄可能 • 使い捨てバージョンと蒸気滅菌/洗浄可能 • マニホールド接合対応の ダウンマウント • 流量範囲：0〜20 slm または 50 slm • 幅広い流量範囲とガス校正 バージョン バージョン コネクター SFM3003 SFM3019 / SFM3020 SFM3100 SFM3119 SFM3200 / SFM3200-AW SFM3300-AW / SFM3300-D SFM3400-AW / SFM3400-D SFM4200 SFM4300 SFM5500 / SFM5400 / SFM5300 蒸気滅菌/洗浄可能 × × × × ○ (SFM3200-AW) ○ (SFM3300-AW) ○ (SFM3400-AW) ×  (SFM3200) ×  (SFM3300-D) ×  (SFM3400-D) × × × 流量範囲 ¹ –30 〜 300 slm SFM3019: –10 〜 240 slm (–150 〜 300 slm あり) SFM3020: –10 〜 160 slm –24 〜 240 slm –10 〜 240 slm –100 〜 250 slm –250 〜 250 slm –33 〜 33 slm 0 〜 160 slm 0 〜 20 slm または 0 〜 50 slm 多様な流量範囲 精度、オフセット 0.05 slm 0.05 slm 0.02 slm 0.02 slm 0.05 slm 0.1 slm 0.02 slm 0.04 slm 0.005 slm 0.1 % FS 2 % (–40 〜 80 slm) 精度（対測定値） 2 % (< 200 slm) 3 % (< 0 slm) 2.5 % (< 60 slm) 2 % (< 100 slm) 2.5 % (< 300 slm) 2 % (> 0 slm) 3.5 % (< 150 slm) 3 % (< 160 slm) 3 % (–60 〜 100 slm) 3 % (–100 〜 100 slm) 3 % 2.5 % (< 80 slm) 2 % (O₂, air) 4.5 % (< 240 slm) 5 % (< 240 slm) 7 % (–100 〜 250 slm) 7 % (–250 〜 250 slm) 5 % (> 80 slm) 3 % (CO₂) 1 % 繰り返し精度/ノイズ  小流量範囲 ++ ++ +++ +++ +++ ++ +++ +++ +++ +++  大流量範囲 ++ ++ ++ + ++ + na2 ++ na2 +++ 圧力損失 < 5 mbar @ 200 slm < 5 mbar @ 200 slm < 16 mbar @ 200 slm < 16 mbar @ 200 slm < 1 mbar @ 60 slm < 1.8 mbar @ 60 slm < 1 mbar @ 5 slm < 20 mbar @ 60 slm < 25 mbar @ 20 slm 流量範囲による 継ぎ手 メディカルコーン（22 mm） メディカルコーン（22 mm） O リング O リング O リング O リング メディカルコーン（22 mm） ント、Legris、 ダウンマウント、Swagelok、 O リング メディカルコーン（22 mm） メディカルコーン（15 mm） ダウンマウント ダウンマウ Oリング VCR、VCO、Legris、UNFねじ 通信インターフェース デジタル、I2C デジタル、I2C (SFM3019)、 、IO-Link、 アナログ (SFM3020) アナログ Digital, I2C Digital, I2C Digital, I2C Digital, I2C Digital, I2C Digital, I2C デジタル (RS485 DeviceNet)、アナログ サンプリング時間 0.5 ms SFM3019: 0.5 ms – 0.5 ms 0.5 ms 0.5 ms 0.5 ms 0.5 ms 0.5 ms 1 ms 校正対応ガス O₂、Air および Air/O₂ 混合 Air、O₂ 、Air および Air、N₂、O₂、Ar、CO₂、He、H₂、 (オプション：ヘリオックス） (SFM3019：Air/O₂ 混合も対応) Air、N₂、O₂ O₂ Air/O₂ 混合 Air、N₂、O₂ Air、N₂、O₂ Air、N₂、O₂ Air、N₂、O₂ Air、O₂、N₂O、O₂ および O₂/Air、O₂/N₂O、O₂/CO₂ 混合 その他のガス （ご希望に応じて承ります） 電源電圧 2.7 V 〜 5.5 V 2.7 V 〜 5.5 V 5 V 2.7 V 〜 5.5 V 5 V 5 V 5 V 5 V 3.0 V 〜 5.5 V 14 V 〜 26 V 最大動作圧力 1.3 bar 1.3 bar 1.1 bar 1.3 bar 1.07 bar 1.1 bar 1.1 bar 8 bar 7 bar 10 bar 1 slm = 標準 L/min 2 na = 該当せず

当社の提案 エキスパートの 短時間かつシンプルな ファーストコンタクト 製品評価作業 デザイン・イン ライフタイムサポート カスタマイズソリューション のサポート エキスパートの ライフタイムサポート ファースト コンタクト • 安心できる柔軟な生産体制 • 専門知識と経験が豊富な営業部署 • お客様の今後のニーズを満たす、サステナブルな製品 • グローバル流通ネットワークで世界中に存在感を示す イノベーションのロードマップ 短時間かつシンプルな カスタマイズソリューション 製品評価作業 • 様々な流量 • 包括的な製品ポートフォリオ • 多種多様なガス (複数のガスオプション) • 使いやすい評価キットで簡単にテストを実施 • 特殊形状要件 • 技術文書 (データシート、アプリケーションノート、 サンプルコード) デザイン・インのサポート • センサーのアプリケーションへの組み込みサポート • お客様の製造コンセプトがセンシリオンのセンサー の要件に対応していることを確認するための、実証 されたベストプラクティス

テクノロジーを中心に、 未来に備えて。 www.sensirion.com