液体流量フローセンサー 製品カタログ

液体フローセンサーソリューション スマートセンサーソリューションのエキスパート

革新的な液体フローセンサー技術 当社の液体フローセンサーは、液体の小流量挙動、操作状態および投薬状態をいかなる場所でもモニターできることが重要 であるという新たな基準を打ち立てました。当社のユニークな CMOSens® 技術は、センサー流路の外壁を通して非接触で 液体流量を双方向で数百 ml/min から下は1桁 nL/min の測定を可能にしています。当社の安全かつ信頼性の高いセンサー ソリューションのメリットは、プロセス管理および自動化の技術分野だけではなく、医療機器および診断機器などの分野のア プリケーションに幅広く活用されています。 詳しい情報はこちらをご参照ください。 www.sensirion.com/liquidflow 特許取得済み技術 (非接触測定) 当社の CMOSens® フローセンサー技術は熱式型マイクロ センサーエレメントに加えて CMOSens® チップには測定 センサーに基づくもので、小流量域において最も効果を発 データの線形化および温度補償用データとセルフテストア 揮します。本製品のキーエレメントはセンサー流路の外壁 ルゴリズムが入ったメモリーならびに必要なデジタル信号 に取り付けられたデジタル CMOSens® マイクロチップで、 処理回路すべてが集積されています。センサーの接続には 流路壁を通して正確に流量を測定します。 各種デジタル出力 (I2C、RS485、USB) とアナログ出力を 当社の液体フローセンサーは媒体と完全に非接触で、流路 取り揃えています。カスタマイズソリューションの可能なオ に可動部あるいは障害物が一切ありません。当社は世界で プションについては、当社 (info-jp@sensirion.com) まで 最も小型で正確な液体フローセンサーをお客様に提供する お問い合わせください。 ことで、あらゆる産業に渡るデザインやアプリケーションの 創出に貢献しています。また、信頼性および接液部の不活 直線的なフローチャネル ヒーター 性レベル (耐薬品性) も高いので、医療、ライフサイエンス、 診断装置、ファクトリーオートメーション、そしてエネルギー マネージメントアプリケーションに理想的なセンサーです。 液体の流れ 高速性、小型性、信頼性 温度センサー マイクロセンサーチップ 当社の液体フローセンサーは、特定アプリケーションの フロー測定原理 OEM センサー開発投資の削減に効果的です。また接液部 材の不活性レベルが高いので、様々な工程に対し、業界標 チップからのデジタル出力 直線的なフローチャネル 準の流体継手は配管への素早い組み立て、ダウンマウント継 手はマニフォールドシステムのコンパクトな取り付けを可能 にします。異なる径の内部キャピラリを使用することによっ て、当社体フローセンサーは nL から数百ml/min におよぶ 流量範囲をカバーしています。 マイクロセンサーチップ 内部キャピラリ壁面からの測定 液体フローセンサーの内部構造 蚊の吸血 薬物の注入 エスプレッソマシーン 約 10 µl/min 約 5 ml/min 約 250 ml/min nl/min µl/min ml/min 当社センサーは、nl/min から数百 ml/min までの流量を測定可能です。 より大きな流量が必要な場合はお問い合わせください。

革新的な液体フローセンサー技術 液体フローメーター　製品紹介 当社の液体フローセンサーは、液体の小流量挙動、操作状態および投薬状態をいかなる場所でもモニターできることが重要 であるという新たな基準を打ち立てました。当社のユニークな CMOSens® 技術は、センサー流路の外壁を通して非接触で 液体流量を双方向で数百 ml/min から下は1桁 nL/min の測定を可能にしています。当社の安全かつ信頼性の高いセンサー ソリューションのメリットは、プロセス管理および自動化の技術分野だけではなく、医療機器および診断機器などの分野のア プリケーションに幅広く活用されています。 SLG シリーズ : 超微小流量 SLG (最 SLI/SLS シリーズ : ハウジング SLQ-QT500 : 120 ml/min の校 SLF3x シリーズ : 十分な実績に裏 LS32-1500 : コンパクトで堅牢性 LG16 シリーズ/LG01 : 不活性材 小流量1桁 nL /min)  は、最先端 で全体が保護されている SLI/SLS 正流量範囲と高品質な高純度接液 付けられた機能を SLF3x シリーズは が 高いハウジングで構 成され た 料を使用した接液面と、超小流量に 詳しい情報はこちらをご参照ください。 www.sensirion.com/liquidflow UHPLC アプリケーションのような シリーズは、実験や研究、工業オー 材 (石英ガラス、PFA) を使用するこ 優れた価格性能比でお届けします。 LS32-1500 は、耐薬品性に優れた 対応する性能を備えた LG16 シリー 高圧で小流量のダイナミック液体フ トメーションに理想的です。SCC1 とにより、高粘度や粒子を含む液体 最大 40 ml/min までの前例のない 接液材を使用しています。バイオメ ズは、要求の厳しい OEM アプリケー ローモニタリングに完璧なソリュー センサーケーブル(RS485、アナロ の測定が要求される半導体産業に ターンダウン比を実現したセンサー ディカルマーケット以外にも、流量 ションにおいて様々に活用すること 特許取得済み技術 (非接触測定) ションです。石英ガラスの流路は グ、USB 出力) との組み合わせで、 おいて、SLQQT500は、アプリケー は、幅広い量産型 OEM アプリケー 40 ml/min 範囲において費用対効 が可能です。LG01 液体フロースイッ 1,200bar まで耐えられます。 苛酷な環境においても信頼性の高 ションの吐出プロセス向けに理想的 ションにおける安全性、安定性、長 果性、コンパクトサイズ、信頼性が要 チは、フロー、気泡、漏出などの事 当社の CMOSens® フローセンサー技術は熱式型マイクロ センサーエレメントに加えて CMOSens® チップには測定 い通信を行います。 なセンサーです。 期信頼性を最大化します。 求される様々なアプリケーションに 象をダイレクトに検知することが可 センサーに基づくもので、小流量域において最も効果を発 データの線形化および温度補償用データとセルフテストア 適しています。 能です。 揮します。本製品のキーエレメントはセンサー流路の外壁 ルゴリズムが入ったメモリーならびに必要なデジタル信号 に取り付けられたデジタル CMOSens® マイクロチップで、 処理回路すべてが集積されています。センサーの接続には 出力 nl/min µl/min ml/min l/min モデル フルスケール流量 測定値精度 双方向測定 最大ケーブル長さ 流体コネクターポート 最大耐圧 モデル 流路壁を通して正確に流量を測定します。 各種デジタル出力 (I2C、RS485、USB) とアナログ出力を アナログ RS485 I²C 10 100 1 10 100 1 10 100 1 当社の液体フローセンサーは媒体と完全に非接触で、流路 SLG-0025 1.5 µl/min 水 10 % 0 ～ 10 V 85 : 100 m 取り揃えています。カスタマイズソリューションの可能なオ 4 ～ 20 mA 〇 〇 RS4 I ² C : 30 cm 1200 bar SLG-0025 ステンレススチール に可動部あるいは障害物が一切ありません。当社は世界で プションについては、当社 (info-jp@sensirion.com) まで SLG-0075 5 µl/min 水 10 % 〇 0 ～ 10 V RS485 : 100 m 4 ～ 20 mA 〇 〇 I ² C : 30 cm 10-32 コーンドポート 1200 bar SLG-0075 最も小型で正確な液体フローセンサーをお客様に提供する お問い合わせください。 外径 1/16" チューブ SLG-0150 8 µl/min 水 5 % 0 ～ 10 V S485 : 100 m 4 ～ 20 mA 〇 〇 R I ² C : 30 cm 500 bar SLG-0150 ことで、あらゆる産業に渡るデザインやアプリケーションの 創出に貢献しています。また、信頼性および接液部の不活 直線的なフローチャネル ヒーター SLI-0430 80 µl/min 水 500 µl/min IPA 50 bar SLI-0430 LPG10 シリーズ : 革新的なデザイ 性レベル (耐薬品性) も高いので、医療、ライフサイエンス、  ～ 10 V S485 : 100 m 1/4"-28 フラットボトム SLI-1000 1000 µl/min 水 ンにより、マイクロ流路を備えた小型 10 ml/min IPA 5 % 〇 0 4 ～ 20 mA 〇 〇 R I ² C : 30 cm 外径 1/16” または 1/8" 12 bar SLI-1000 診断装置、ファクトリーオートメーション、そしてエネルギー チューブ ガラス基板とセンサーチップを一体 液体の流れ 水 マネージメントアプリケーションに理想的なセンサーです。 SLI-2000 5 ml/min 80 ml/min IPA 12 bar SLI-2000 化した LPG10 シリーズは、当社最小 SLS-1500 40 ml/min 水 5 % 〇 0 ～ 10 V : 100 m 1/4"-28 フラットボトム 4 ～ 20 mA 〇 〇 RS485 I ² C : 30 cm 外径 1/8" チューブ 12 bar SLS-1500 の液体フローセンサーで、優れた性 高速性、小型性、信頼性 能と高速応答を可能にしています。 温度センサー マイクロセンサーチップ SLQ-QT105 120 ml/min IPA 10 % 0 ～ 10 V 485 : 100 m スーパー 300 タイプピラー 4 ～ 20 mA 〇 〇 RS I ² C : 30 cm フィッティング：4 x 3 mm 12 bar SLQ-QT105 基板 底部にある流体ポートは、マ 当社の液体フローセンサーは、特定アプリケーションの 〇 フロー測定原理 SLQ-QT500 120 ml/min 水  ～ 10 V S485 : 100 m PFA チューブ 120 ml/min IPA 5 % 0 4 ～ 20 mA 〇 〇 R I ² C : 30 cm 外径：6.35 mm (1/4”) 12 bar SLQ-QT500 ニフォールドシステムへの接続が可 OEM センサー開発投資の削減に効果的です。また接液部 内径：4.35 mm 能です。 材の不活性レベルが高いので、様々な工程に対し、業界標 チップからのデジタル出力 直線的なフローチャネル SLF3S-0600F 2000 µl/min 水 5 % 1/4"-28 フラットボトム 2000 µl/min IPA 10 % 〇 〇 I ² C : 30 cm 外径 1/16” または 1/8" 12 bar SLF3S-0600F 準の流体継手は配管への素早い組み立て、ダウンマウント継 チューブ 手はマニフォールドシステムのコンパクトな取り付けを可能 SLF3S-1300F 40 ml/min 水 5 % 〇 -28 フラットボトム 40 ml/min IPA 10 % 〇 〇 I ² C : 30 cm 1/4" 外径 1/8" チューブ 12 bar SLF3S-1300F にします。異なる径の内部キャピラリを使用することによっ SLF3S-4000B 600 ml/min 水 て、当社体フローセンサーは nL から数百ml/min におよぶ 600 ml/min IPA 10% 〇 〇 I ² C : 30 cm ⽵の子継手 外径 6 mm チューブ 3 bar SLF3S-4000B 4"-28 フラットボトム 流量範囲をカバーしています。 LS32-1500 40 ml/min 水 5 % 〇 0 ～ 10 V 1/ マイクロセンサーチップ 4 ～ 20 mA 〇 〇 I ² C : 30 cm 外径 1/16” または 1/8" 12 bar LS32-1500 チューブ LG16-0025 1.5 µl/min 水 10 % 〇 〇 200 bar LG16-0025 内部キャピラリ壁面からの測定 LG16-0150 7 µl/min 水 UNF6-40 コーンドポート 70 µl/min IPA 〇 〇 200 bar LG16-0150 液体フローセンサーの内部構造 外径 1/32” チューブ LD20 シリーズ : 必要な位置で最大 LG16-0430 80 µl/min 水 500 µl/min IPA 〇 〇 100 bar LG16-0430 〇 I ² C : 30 cm 1,000 ml/h の液体フロー測定が可 5 % LG16-1000 1 ml/min 水 10 ml/min IPA 〇 〇 15 bar LG16-1000 1/4"-28 フラットボトム 能な LD20 センサーにより、直接的 LG16-2000 5 ml/min 水 〇 〇 外径 1/16" または 1/8" 15 bar LG16-2000 で効果的な患者治療が可能になりま チューブ LG16-2000IPA 80 ml/min IPA 〇 〇 15 bar LG16-2000IPA す。実績に裏付けられた当社のセン 蚊の吸血 薬物の注入 エスプレッソマシーン スイッチレベル： 0 V 表示： 検 出レベル未満の流量 1/4"-28 フラットボトム シング技術と、ディスポーザブルデ 約 10 µl/min 約 5 ml/min 約 250 ml/min LG01-2000 0.25 ml/min または 10 % × あるいは気泡 3 m 外径 1/16" または 1/8" 3 bar LG01-2000 4.5 ml/min 5 V 表示： 検出レベル以上の流量 チューブ ザインの組み合わせによりバイオテ クノロジー、ライフサイエンス、食品 nl/min µl/min ml/min LPG10-1000 1 ml/min 水 5 % 〇 0 ～ 10 V 4 ～ 20 mA 〇 〇 I ² C : 30 cm ダウンマウント 3 bar LPG10-1000 産業分野など大量に消費する用途に LD20-2600B 1,000 ml/h 水 〇 〇 〇 ⽵の子継手 3 bar LD20-2600B 5 % I ² C : 30 cm も対応できます。 当社センサーは、nl/min から数百 ml/min までの流量を測定可能です。 LD20-0600L 20 ml/h 水 〇 〇 〇 ルアーロック 3 bar LD20-0600L より大きな流量が必要な場合はお問い合わせください。 校正済み流量：  水   炭化水素

液体フローメーターキット 素早く簡単に測定を始めるために、SLI、SLS、SLG、SLQ シリーズの全ての液体フローメーターは、液体フローメーターキッ トとして注文可能です。キットには、選択した液体フローメーターに加えて、電気接続用の USB ケーブルとアナログインター フェースケーブル、ビューワーとロギングソフトウェア、流体コネクターのセットが含まれています。 LPG10、LD20、SLF3x シリーズの液体フローセンサー用には、取付部材と電気接続用の追加アクセサリーを含む評価用キッ トを用意しています。 詳しい情報はこちらをご参照ください。 www.sensirion.com/liquidflowmeterkit SLF3S 評価キット カスタマイズソリューション 革新的なアイディアは時に新しいソリューションを必要とします。当社のセンサーエキスパートは、当社の技術を通してユ ニークなアプリケーションを考えています。カスタマイズの場合には、測定流量範囲、省スペース、腐食性化学物質への耐 性、低価格に対応し、また大量生産向けディスポーザブルセンサーのデザインにも対応します。 当社の最先端なセンサー技術とユニークな液体フローセンシングの専門性は、これまで様々なお客様のプロジェクトを成 功に導いてきました。最も重要なことは、お客様のニーズを理解し、当社技術の利点を上手にお客様の優位性に活かすこと にあります。例えば、パッケージ、接液材、流体や電気的インターフェースの変更およびデッドボリューム、センサー耐圧の改 善が挙げられます。 小流量 柔軟性とコスト効率 高感度センサーとともに長年培ってきた経験と専門性が、 当社の最先端技術により高性能且つ費用対効果性を実現 nl/min から ml/min の超微小流量測定を可能にしました。 したカスタマイズソリューションにて柔軟的に顧客ニーズ にお応えします。 高速 CMOS チップ上に統合された MEMS センサーは小型熱 量センシングにより 20 ms の超高速応答時間を可能にし ます。

テクノロジーを中心に、 未来に備えて。 www.sensirion.com