GAS | 気体用製品
MM-3000L-TNシリーズは、Max120℃までの動作保証を実現した高温対応のマスフローメータです。
◆Max120℃の動作保証を実現。
◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。
◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。
◆マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
◆金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 高温マスフローメータ MM-3000L-TN Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 255.9Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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気体用製品
高温マスフローメータ
■概 要
●MM-3000L-TN シリーズは、Max120℃までの動作保証を実現した高温対応のマスフローメータです。
■特 長
●Max120℃の動作保証を実現
●デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
型式名 MM-3102L-TN MM-3202L-TN
流量（N2換算） 10～ 5,000SCCM ～ 25SLM
精度 ±1.0% F.S.
再現性 ±0.2% F.S.
アナログ流量出力信号 0～ 5VDC
使用圧力 400kPa(D) 以下
耐圧 1MPa(G)
使用保証温度 - L：80 ～ 100℃ 0 ～ 80% RH
- H：100 ～ 120℃ 0 ～ 80% RH
ベーキング温度 150℃
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He
接ガス部材質 SUS316L
シール材 Au
所要電源 +15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 50mA
取付姿勢 自由
アナログコネクタ Dsub 9pin
デジタルインターフェイス モジュラジャック RJ45/RS-485
重量 1.2kg
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