ピエゾコントロールバルブ CV-3000 Series / コントロールバルブ CV-1000 Series

関連製品 ピエゾコントロールバルブ 型式名 CV-3102 CV-3202 最大流量レンジ （N2換算） 100CCM, 500CCM, 5LM 10LM バルブ動作 ノーマリオープン、ノーマリクローズ 最小制御流量 最大値の２% ■概　要 バルブ開度設定入力 0～ 5VDC ●CV-3000 シリーズは、外部からの制御入力により気体の流量制 応答時間 0.5 秒以下 御、あるいは圧力制御が可能な高速応答バルブです。 必要差圧 50～ 300kPa ノーマリオープン 50~300kPaノーマリクローズ 100~300kPa ■特　長 最大動作圧 300kPa(G) ●高速、高性能なピエゾアクチュエータを搭載 耐圧 1MPa(G) ●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メン 使用保証温度 0~50℃・0~80%RH外部リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He テナンス性が向上 接ガス部材質 SUS316L, PCTFE, Au ●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁 シール材 Au 界のある環境でも安定した動作 所要電源 +15VDC±3% 50mA, -15VDC±3% 50mA ●オープンループ、クローズドループに対応 取付可能姿勢 自由バルブ方式 ピエゾアクチュエータ 重量 700g 液体対応ソレノイドアクチュエータ搭載コントロールバルブ 型式名 CV-1204 流量 C2H5OH換算 0.1 ～ 10g/min 10 ～ 20g/min H2O換算 0.1 ～ 5g/min 5 ～ 10g/min 流量制御範囲 * 5 ～ 100% F.S. バルブ動作 ノーマリクローズ 精度 * ±1.0% F.S. 直線性 * ±0.5% F.S. ■概　要 再現性 * ±0.5% F.S. ●CV-1000 シリーズは、ソレノイドアクチュエータを搭載した液 応答時間 * 6secアナログ流量設定信号 * 0 ～ 5VDC 体用コントロールバルブです。 アナログ流量出力信号 * 0 ～ 5VDC ●LM-3000L シリーズと組み合わせることで液体マスフローコン 必要差圧 50 ～ 300kPa 100 ～ 300kPa トローラとして動作が可能です。 耐圧 1MPa(G) ■特　長 使用保証温度 0～50℃　0～80% RHリークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He ●高速、高性能なソレノイドアクチュエータを搭載 接液部材質 SUS316L, PTFE ●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メン シール材 Au テナンス性が向上 所要電源 +15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 200mA ●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁 取付姿勢 自由 界のある環境でも安定した動作 バルブ方式 ソレノイドアクチュエータ重量 750g *LM-3000Lシリーズと組合わせ時 ホームページアドレス