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高性能デジタル通信マスフローコントローラ MC-3000L Series

製品カタログ

GAS | 気体用製品

MC-3000L シリーズは、±1.0%S.P. 保証を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。

◆±1.0%S.P. 保証を実現。
◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。
◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。
◆マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
◆デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ。
◆高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
◆金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作。

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このカタログについて

ドキュメント名 高性能デジタル通信マスフローコントローラ MC-3000L Series
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 276.1Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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気体用製品 高性能デジタル通信マスフローコントローラ ■概 要 ●MC-3000L シリーズは、±1.0%S.P. 保証を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。 ■特 長 ●±1.0%S.P. 保証を実現 ●デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備 ●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現 ●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ ●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用 ●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上 ●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作 型式名 MC-3102L MC-3202L MC-3252L MC-3452L MC-3462L MC-3472L MC-3582L 流量(N2換算) 5~5,000SCCM ~20SLM ~50SLM ~50SLM ~150SLM ~200SLM ~300SLM ~400SLM 流量制御範囲 2~100% F.S. バルブ動作 ノーマリオープン、ノーマリクローズ ノーマリクローズ 精度 100% F.S. ~ 25% F.S. ±1.0% S.P. 100% F.S. ~ 35% F.S. ±1.0% S.P. 25% F.S. ~ 2% F.S. ±0.25% F.S. 35% F.S. ~ 2% F.S. ±0.35% F.S. ±1.0% F.S. ±2.0% F.S. ±3.0% F.S. 再現性 ±0.2% F.S. ±0.5% F.S. ±1.0% F.S. 応答時間 1sec 2 sec アナログ流量設定信号 0~5VDC アナログ流量出力信号 0~5VDC 必要差圧 ノーマリオープン 50~300kPa (~10SLM) 100~300kPa 100~300kPa 50~300kPa (~20SLM) ( ~30SLM)    1  ノーマリクローズ 150~300kPa 50~500kPa 250~500kPa 350~500kPa 320~500kPa 350~500kPa 100~300kPa ( ~50SLM)  (~10SLM) 200~300kPa (~20SLM) 耐圧 1MPa(G) 温度影響 Zero ±0.02% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃ Span ±0.02% F.S. / ℃ ±0.04% F.S. / ℃ ±0.08% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃ 使用保証温度 5~50℃ 0~80% RH リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He 1×10-8Pa・m3 / sec He 接ガス部材質 SUS316L, PCTFE SUS316L, SUS304, テフロン®, バイトン® シール材 Au 所要電源 +15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 50mA 取付姿勢 自由 アナログコネクタ Dsub 9pin デジタルインターフェイス モジュラジャック RJ45/RS-485 バルブ方式 ピエゾアクチュエータ 重量 1.0kg 1.4kg 2.4kg ホームページアドレス