GAS | 気体用製品
MC-3000Sシリーズは、独自に開発した低圧損構造により、微差圧制御に対応したマスフローコントローラです。
◆独自の低圧損構造により、6Torr の低差圧で 10SCCM(N2) を制御可能。
◆AsH3 や PH3 などのインプラ用途はもちろん、XeF2 や H2O などの固体、液体原料を加温なしで制御可能。
◆デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備。
◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。
◆マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
◆デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ。
◆高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
◆金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 低差圧マスフローコントローラ MC-3000S Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 137.3Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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気体用製品
低差圧マスフローコントローラ
■概 要
●MC-3000S シリーズは、独自に開発した低圧損構造により、微差圧制御に対応したマスフローコントローラです。
■特 長
●独自の低圧損構造により、6Torr の低差圧で 10SCCM(N2) を制御可能
●AsH3やPH3などのインプラ用途はもちろん、XeF2やH2Oなどの固体、液体原料を加温なしで制御可能
●デジタルインターフェイスは、RS-485 を標準装備
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
型式名 MC-3102S
流量（N2換算） 2～ 10SCCM ～ 20SCCM ～ 30SCCM
流量制御範囲 2～ 100% F.S.
バルブ動作 ノーマリオープン、ノーマリクローズ
精度 ±1.0% F.S.
再現性 ±0.2% F.S.
応答時間 2 sec
アナログ流量設定信号 0～ 5VDC
アナログ流量出力信号 0～ 5VDC
必要差圧 8×102Pa ～ 1.33×105Pa 1.07×103Pa ～ 1.33×105Pa 1.33×103Pa ～ 1.33×105Pa
耐圧 1MPa(G)
温度影響 Zero ±0.02% F.S. / ℃
Span ±0.02% F.S. / ℃ ±0.04% F.S. / ℃ ±0.08% F.S. / ℃
使用保証温度 5～ 50℃ 0～ 80% RH
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He
接ガス部材質 SUS316L, SUS304, PCTFE
シール材 Au
所要電源 +15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 50mA
取付姿勢 ご注文時に指定
アナログコネクタ Dsub 9pin
デジタルインターフェイス モジュラジャック RJ45/RS-485
バルブ方式 ピエゾアクチュエータ
重量 1.0kg
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