GAS | 気体用製品
MC-5000Cシリーズは、SEMI に準拠した EtherCAT専用のマスフローコントローラです。
◆デジタルインターフェイスは、SEMI E54.20-1108 に準拠した EtherCATを採用。
◆リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載。
◆マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現。
◆デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ。
◆高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用。
◆耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上。
◆金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | EtherCAT(R) マスフローコントローラ MC-5000C Series |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 211.1Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社リンテック (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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気体用製品
EtherCAT®マスフローコントローラ
■概 要
●MC-5000Cシリーズは、SEMIに準拠したEtherCAT®専用のマスフローコントローラです。
■特 長
●デジタルインターフェイスは、SEMI E54.20-1108に準拠したEtherCAT® を採用
●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載
●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現
●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ
●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用
●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテナンス性が向上
●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界のある環境でも安定した動作
型式名 MC-5100C MC-5200C MC-5250C MC-5450C MC-5460C MC-5470C MC-5580C
流量（N2換算） 10 ～ 5,000SCCM ～ 10SLM ～ 50SLM ～ 50SLM ～ 150SLM ～ 200SLM ～ 300SLM
流量制御範囲 2～ 100% F.S.
バルブ動作 ノーマリオープン、ノーマリクローズ ノーマリクローズ
精度 100% F.S. ～ 35% F.S.
100% F.S. ～ 25% F.S. ±1.0% S.P. ±1.0% S.P.
25% F.S. ～ 2% F.S. ±0.25% F.S. 35% F.S. ～ 2% F.S. ±1.0% F.S. ±2.0% F.S.
±0.35% F.S.
再現性 ±0.2% F.S. ±0.5% F.S.
応答時間 １sec
必要差圧 50～ 300kPa 100 ～ 300kPa 150 ～ 300kPa 150 ～ 500kPa 250 ～ 500kPa 350 ～ 500kPa
耐圧 1MPa(G)
温度影響 Zero ±0.02% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃
Span ±0.02% F.S. / ℃ ±0.04% F.S. / ℃ ±0.08% F.S. / ℃ ±0.1% F.S. / ℃
使用保証温度 15 ～ 35℃ 0～ 80% RH 10 ～ 40℃ 0～ 80% RH
リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He 1×10-8Pa・m3 / sec He
接ガス部材質 SUS316L, PCTFE, PTFE SUS316L, SUS304, テフロン ®
シール材 Au Au, バイトン ®
所要電源 24VDC (350mA) ±3% 24VDC (350mA) ±10%
取付姿勢 自由
デジタルインターフェイス EtherCAT®
バルブ方式 ピエゾアクチュエータ
重量 1.0kg 1.4kg 2.4kg
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