バリアブル（VR）機能マスフローコントローラ MC-700 Series

気体用製品 バリアブル（VR）機能マスフローコントローラ ■概　要 ●MC-700シリーズは、本体上部に設置した3桁のロータリスイッチ によりガス種、流量を変更できる機能を搭載したマスフローコント ローラです。 ■特　長 ●(基準流量)÷(使用するF.S.流量)×(コンバージョンファクタ)で求め た値を3桁のロータリスイッチに入力することで、ガス種、F.S.流量 を変更できるVR機能を搭載 ●VR機能により、1台で複数の仕様に対応することで、予備品の削 減が可能 ●汎用デジタルインターフェイスRS-485を装備し、デイジーチェー ン接続で最大32台のMFCの接続が可能 ●リンテック独自の周囲温度補償方式流量センサを搭載 ●マイクロプロセッサ内蔵により高機能化を実現 ●デッドボリュームが小さなダイヤフラム構造のバルブ ●高速、高性能なピエゾアクチュエータを採用 ●耐久性、シール性に優れたメタルシールを採用することで、メンテ ナンス性が向上 ●金属ケースと各種フィルタの採用により、高周波ノイズや直流磁界 のある環境でも安定した動作 VR対応表 型式名 適用ガス 適用流量範囲 (N2換算 ) 可変VR値 基準流量 02 10～ 30SCCM 0.50 ～ 1.50 15SCCM 03 25～ 100SCCM 0.50 ～ 2.00 50SCCM MC-710 04 75～ 300SCCM 0.50 ～ 2.00 150SCCM 05 06 全般 (液化ガス不可 ) 0.25 ～ 1SLM 0.50 ～ 2.00 500SCCM 0.75 ～ 3SLM 0.50 ～ 2.00 1.5SLM MC-720 07 2.5 ～ 10SLM 0.50 ～ 2.00 5SLM MC-730 08 10～ 30SLM 0.50 ～ 1.50 15SLM09 30～ 50SLM 0.60 ～ 1.00 30SLM 型式名 MC-710 MC-720 MC-730 流量（N2換算） 10～ 3,000SCCM ～ 10SLM ～ 50SLM 流量制御範囲 2～ 100% F.S. バルブ動作 ノーマリオープン、ノーマリクローズ 精度 ±1.0% F.S. 再現性 ±0.2% F.S. 応答時間 1sec アナログ流量設定信号 0.1 ～ 5VDC アナログ流量出力信号 0.05～ 5VDC 必要差圧 50～ 300kPa 100～ 300kPa 150～ 300kPa 耐圧 1MPa(G) 使用保証温度 15～ 35℃　0～80% RH リークレート 1×10-11Pa・m3 / sec He 接ガス部材質 SUS316L, PCTFE, PTFE シール材 SUS316L 所要電源 +15VDC±3% 100mA, -15VDC±3% 50mA 取付姿勢 自由 アナログコネクタ Dsub 9pin デジタルインターフェイス モジュラジャック RJ45/RS-485 バルブ方式 ピエゾアクチュエータ 重量 1.0kg ホームページアドレス