ポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ　Lゲートバルブ　SERIES 92.0

SERIES 92.0 Lゲートバルブ 半導体や表面分析アプリケーションに使用できる ポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ 技術データ サイズ DN 10 – 100 mm (⅜“ – 4“) アクチュエータ 圧空作動式：単動シリンダースプリングによる閉動 作、または複動シリンダー ボディ材質 アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール ベローズ 標準フランジ ISO-KF, ISO-F, CF-F 真空レベル HV, UHV バルブ リーク量（バルブボディ、 < 1 × 10-9 mbar ls-1 バルブシート） 使用圧力範囲 1 × 10-9 mbar to 1 bar (abs) ゲートにかけ得る ≤ 1 bar 許容最大差圧 バルブを開けるときの ≤ 30 mbar 1 ) 許容最大差圧 第1回サービスまでの 500 000 2 ) サイクル数 加熱および冷却速度 ≤ 30 °C h-1 取付け方向 自由 電磁弁 24 V DC, 2.5 W (others on request) リミットスイッチ バルブサイズ次第：お問い合わせ下さい 許容温度 2) バルブボディ ≤ 120 °C アクチュエータ ≤ 50 °C 電磁弁 ≤ 50 °C インサート リミットスイッチ ≤ 50 °C 1) > 0.1MPa：第 1 回サービスまでのサイクル数を減らす。 2）最高温度はバルブ動作条件、シール材、およびサイズにより変わる。 – 低コスト – メンテナンスが容易 – パーティクル発生が少ない SERIES 92.0 Lゲートバルブ

SERIES 92.0 Lゲートバルブ オプション、カスタムソリューション 素材 － お客様指定のフランジ － お客様の真空システムに挿入取付け（ボディ バルブボディ：アルミニウム EN AW-5083 (3.3547) なし） バルブボディ：ステンレススチール AISI 304 (1.4301) － 標準以外のシール材料 － その他オプションついてはお問い合わせ ゲート AISI 304 (1.4301) 下さい ベローズ AISI 316L (1.4435), AISI 633 (AM 350) シール ボンネット：アルミニウムボディ FKM (Viton®) ボンネット：ステンレススチールボディ メタル ゲート FKM (Viton®) Functional principle 3 2 1 1 Gate seal OPEN OPTICALLY CLOSED CLOSED 2 Gate 3 Bellows Valve seat side 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com