半導体製造工場用　40形万能直管LEDライト　LS1200-U2シリーズ　オレンジタイプ

（ ＊ 11 ） 万 能 直 管 L E D ラ イ ト 　 　 　 4 0 形 L S 1 2 0 0 シ リ ー ズ 長 さ ： 1 2 0 0 m m 製 品 紹 介 と ア プ リ ケ ー シ ョ ン 事 例 株 式 会 社 エ ム ジ ー （ 旧 社 名 ： 株 式 会 社 エ ム ･ シ ス テ ム 技 研 ） L S 1 2 0 0- U 2 シ リ ー ズ L S 1 2 0 0- C 1 シ リ ー ズ プ レ ゼ ン マ ッ プ 6 - 0 0 1 8 グ ロ ー 方 式 / ラ ピ ッ ド 方 式 / イ ン バ ー タ 方 式 （　 ＊ 　3 　 ） 、 A C 電 源 直 結 方 式 両 側 給 電 対　 応 グ ロ ー 方 式 / ラ ピ ッ ド 方 式 （　 ＊ 　3 　） 、 A C 電 源 直 結 方 式 両 側 ・ 片 側 給 電 共 用 対　 応 2 0 2 4 -0 1 改改 x4 x 昼 白 色 昼 白 色 形 　 式 ： L S 1 2 0 0- U 2- N 　 　 　 　 形 　 式 ： L S 1 2 0 0- C 1- N 　 　 　 5 3 0 n m 以 下 の 短 波 長 光 を カ ッ ト！ N C - 9 6 0 6 5 0 0 4x x9 x2 1 刷 発 行 白 色 白 色 形 　 式 ： L S 1 2 0 0- U 2- W 形 　 式 ： L S 1 2 0 0- C 1- W イ エ ロ ー イ エ ロ ー （ ＊ 1 ） タ イ プ タ イ プ 本 製 品 は 、 株 式 会 社 M G M T の 製 品 で す 。 形 　 式 ： L S 1 2 0 0 Y- U 2 形 　 式 ： L S 1 2 0 0 Y- C 1 オ レ ン ジ オ レ ン ジ タ イ プ タ イ プ 形 　 式 ： L S 1 2 0 0 D- U 2 形 　 式 ： L S 1 2 0 0 D- C 1 オ プ シ ョ ン オ プ シ ョ ン ブ ル ー ラ イ ト ブ ル ー ラ イ ト 対 策 品 形 　 式 ： L S 1 2 0 0- U 2- N / B 対 策 品 形 　 式 ： L S 1 2 0 0- C 1- N / B オ プ シ ョ ン オ プ シ ョ ン 角 度 可 変 機 能 角 度 可 変 機 能 防 水 蛍 光 灯 器 具 に L S 1 2 0 0 と 組 合 せ て 使 え る 防 水 チ ュ ー ブ を ご 用 意 し て い ま す 。 （ 別 売 ） 割 れ に く く 、 衝 撃 に 強 く 、 突 然 切 れ る こ と は あ り ま せ ん 。 詳 し く は 当 社 W e b サ イ ト を ご 覧 く だ さ い 。 安 全 htt p s: / / w w w. m g c o.j p / p r o d u ct s /l e d / ポ リ カ ー ボ ネ イ ト ＋ ア ル ミ フ レ ー ム で 衝 撃 に 強 い 構 造 に な っ て い ま す 。 L E D l e d 0 4. ht ml 長 寿 命 寿 命 は 蛍 光 灯 の 4 ～ 8 倍 、5 0, 0 0 0 時 間 ！ （ ＊ 6 ） = ～ オ レ ン ジ タ イ プ 一 般 蛍 光 灯 6, 0 0 0 ～ 1 2, 0 0 0 時 間 と 万 能 直 管 L E D ラ イ ト （ ＊ 1 ） 5 0, 0 0 0 時 間 （ ＊ 6 ） と の 比 較 。 5 0, 0 0 0 時 間 蛍 光 灯 4 ～ 8 本 分 お 客 様 の う っ か り ミ ス に よ る 破 損 、 故 障 で も 3 年 間 ワ イ ド に 補 償 し ま す 。 安 心 長 期 保 証 5 年 感 光 剤 を あ つ か う 半 導 体 製 造 工 場 用 に 開 発 し ま し た 。 ま た 、 一 般 保 証 は 5 年 （ ＊ 7 ） で す の で 、 長 く 安 心 し て ご 使 用 い た だ け ま す 。 高 度 な 技 術 へ の 挑 戦 既 存 の 蛍 光 灯 と 交 換 し 、 安 定 し て 動 作 さ せ る と い う こ と は 容 易 な こ と で は あ り ま せ ん 。 蛍 光 灯 は 放 電 管 の 一 種 で 電 圧 を か け て 光 ら せ る も の で す が 、 L E D 照 明 は 個 別 の L E D を 直 管 の 中 に 並 べ て （ 一 例 ： L S 1 2 0 0- U 2 シ リ ー ズ で あ れ ば 9 0 個 ） 発 光 さ せ ま す 。 異 な る も の を 点 灯 さ せ る こ と に な り ま す の で 、 一 般 的 に は 土 台 部 分 の 照 明 器 具 全 部 を 交 換 す る か 回 路 を 改 造 す る 工 事 が 必 要 に な り ま す 。 消 費 電 力 当 社 で は 灯 具 に 取 付 け ら れ た イ ン バ ー タ 方 式 の 安 定 器 か ら の 電 流 を 調 整 す る た め に 、 負 荷 （ イ ン ピ ー ダ ン ス ） を 可 変 制 御 さ せ る こ と に よ り 、 工 事 蛍 光 灯 だ け を 当 社 L E D ラ イ ト に 交 換 で き る よ う に し ま し た 。 こ れ ら を 実 現 す る た め の 検 証 作 業 は 大 変 で し た 。 特 に イ ン バ ー タ 式 安 定 器 は 種 類 や 年 代 に よ り 動 作 特 性 が 異 な る た め 、 そ れ ら 全 て の 安 定 約 1 （ ＊ 2 ） 器 を 問 題 な く 動 作 さ せ る 必 要 が あ り ま す 。 安 定 器 は 入 手 可 能 な も の だ け で も 1 0 0 種 類 以 上 あ り 、 根 気 よ く そ れ ぞ れ の 動 作 特 性 の 分 析 を 行 い 不 要 2 ま し た 。 そ の 結 果 、 C P U 能 力 を 最 大 限 に 活 か し て 、 万 能 直 管 L E D ラ イ ト （ ＊ 1 ） と 称 し て も 良 い だ け の 点 灯 率 を 実 現 す る こ と が で き ま し た 。 設 計 担 当 者 （ ＊ 11 ） 万 能 の 用 語 は 、 既 設 照 明 器 具 の 点 灯 方 式 （ グ ロ ー ・ ラ ピ ッ ド ・ イ ン バ ー タ ・ A C 電 源 直 結 ） を 問 わ ず 交 換 可 能 で あ る 意 味 で 使 用 し て い ま す 。 た だ し 、 L S 1 2 0 0- C 1 は イ ン バ ー タ 方 式 に 対 応 し て お り ま せ ん 。 （ ＊ 33 ） 対 応 器 具 で あ っ て も 一 部 点 灯 し な い 場 合 が あ り ま す 。 器 具 の 形 状 に よ っ て は 装 着 で き な い 場 合 が あ り ま す 。 （ ＊ 66 ） L S 1 2 0 0 シ リ ー ズ 、 L S 2 4 0 0 シ リ ー ズ の 設 計 寿 命 が 4 0, 0 0 0 時 間 か ら 5 0, 0 0 0 時 間 （ 4 0 ℃ に て ） に 延 び ま し た 。 L S 6 0 0 E X シ リ ー ズ の 設 計 寿 命 は 4 0, 0 0 0 時 間 （ 4 0 ℃ に て ） で す 。 た だ し 、 L S 6 0 0 E X- U 1 、 L S 6 0 0 E X Y- U 1 の 場 合 、 一 部 の 安 定 器 で は 、 3 8, 0 0 0 時 間 （ 3 2 ℃ に て ） に な り ま す 。 詳 し く は 仕 様 書 を ご 覧 く だ さ い 。 設 計 寿 命 は 、 全 光 束 が 7 0 ％ ま で 低 下 す る ま で の 時 間 で す 。 製 品 の 寿 命 を 保 証 す る も の で は あ り ま せ ん 。 （ ＊ 77 ） L S シ リ ー ズ の み 。 本 製 品 は 、 株 式 会 社 M G M T の 製 品 で す 。 ● 記 載 内 容 は お 断 り な し に 変 更 す る こ と が あ り ま す の で ご 了 承 く だ さ い 。 ● ご 注 文 ・ ご 使 用 に 際 し て は 、 最 新 の 「 仕 様 書 」 お よ び 下 記 U R L よ り 「 ご 注 文 に 際 し て 」 を 必 ず ご 確 認 く だ さ い 。 　 w w w. m g c o.j p /i n f o _ o r d e r /i n d e x. h t ml こ の マ ー ク は 、 R o H S 指 令 で 制 限 さ れ て い る 特 定 有 害 物 質 （ 1 0 物 質 ） ● 本 製 品 の う ち 、 外 国 為 替 お よ び 外 国 貿 易 法 に 定 め る 輸 出 許 可 、 承 認 対 象 貨 物 （ 又 は 技 術 ） に 該 当 す る も の の 輸 出 が 規 制 値 以 下 の 製 品 で あ る こ と を 　 （ 又 は 非 居 住 者 に 提 供 ） に あ た っ て は 、 同 法 に 基 づ く 輸 出 許 可 、 承 認 （ 又 は 役 務 取 引 許 可 ） が 必 要 に な り ま す 。 示 し て い ま す 。 コ ー タ ー に 必 須 ！ 形 　 　 式 ： L S 1 2 0 0 D - U 2 株 式 会 社 エ ム ジ ー 代 理 店 （ 旧 社 名 ： 株 式 会 社 エ ム ･ シ ス テ ム 技 研 ） す で に 大 手 半 導 体 製 造 メ ー カ ー で ご 使 用 い た だ い て お り ま す ！ 当 社 製 品 の ご 注 文 や 価 格 に つ き ま し て は 、 下 記 ま で ご 連 絡 く だ さ い 。 （ ＊ 1 ） 万 能 の 用 語 は 、 既 設 照 明 器 具 の 点 灯 方 式 （ グ ロ ー ・ ラ ピ ッ ド ・ イ ン バ ー タ ・ A C 電 源 直 結 ） を 問 わ ず 交 換 可 能 で あ る 意 味 で 使 用 し て い ま す 。 た だ し 、L S 1 2 0 0 - C 1 は イ ン バ ー タ 方 式 に 対 応 し て お り ま せ ん 。 ホ ッ ト ラ イ ン カ ス タ マ セ ン タ ー （ ＊ 2 ） ご 使 用 に な る 照 明 器 具 に よ り 消 費 電 力 が 変 わ り ま す 。 詳 細 は 株 式 会 社 M G M T W e b サ イ ト 「 消 費 電 力 比 較 表 」 で ご 確 認 く だ さ い 。 0 1 2 0 -1 8 - 6 3 2 1 T E L 0 6 - 7 5 2 5 - 8 8 0 0 E- m ail h o tli n e @ m g c o.j p F A X 0 6 - 7 5 2 5 - 8 8 1 0 は い が た 電 子 パ ー ツ が 廃 止 に な っ た 場 合 な ど で も 、 設 計 変 更 で 対 応 い た し ま す 。 W e b サ イ ト 拠 点 一 覧 は こ ち ら た だ し 、 代 替 の 電 子 パ ー ツ を 入 手 で き な い 、 あ る い は リ ピ ー ト オ ー ダ が M a k e G r e e n e r a ut o m ati o n 廃 形 し ま せ ん ！！ 見 込 め な い 場 合 な ど は 廃 形 に す る こ と が あ り ま す 。 w w w. m g c o.j p w w w. m g c o.j p/c o v er/ k ais h a1 0. ht ml 万 能 直 管 L E D ラ イ ト L S 1 2 0 0- U 2 シ リ ー ズ オ レ ン ジ タ イ プ

蛍 光 灯 の 点 灯 方 式 に は 色 ん な 種 類 が あ る っ て ご 存 じ で す か ？ オ レ ン ジ タ イ プ と は ？ L E D 蛍 光 灯 の 点 灯 方 式 に は 時 代 に よ っ て グ ロ ー 方 式 、 ラ ピ ッ ド 方 式 、 イ ン バ ー タ 方 式 の ３ 種 類 が あ り 、 そ れ ぞ れ の 灯 具 に は 異 な っ た 点 灯 回 路 が 備 え ら れ て い ま す 。 株 式 会 社 M G M T は 高 度 な 電 子 技 術 を 駆 使 し 、ど の 灯 具 に セ ッ ト し て も 正 常 に 点 灯 す る （ ＊ 3 ） 万 能 直 管 Ｌ Ｅ Ｄ ラ イ ト （ ＊ 1 ）を 開 発 し ま し た 。 ま た 点 灯 方 式 に 関 係 な く 、 直 接 Ａ Ｃ レ ン ズ の 仕 組 み ！ 電 源 を 配 線 し て も 点 灯 し ま す 。（ ＊ 4 ） 拡 散 レ ン ズ オ レ ン ジ タ イ プ は 拡 散 レ ン ズ に よ り ５ ３ ０ ｎ ｍ 以 下 の 短 波 長 光 を カ ッ ト し て い ま す 。 さ ら に こ の レ ン ズ 面 に Ｌ Ｅ Ｄ の 光 量 を 効 率 よ く 広 範 囲 に 拡 散 す る た め 、 独 自 の レ ン ズ 形 状 を 採 用 し て い ま す 。 L S 1 2 0 0- U 2 シ リ ー ズ ラ イ ン ア ッ プ ■ 分 光 分 布 （ グ ラ フ は 光 の 波 長 と 相 対 強 度 を 表 す も の で 明 る さ を 表 す も の で は あ り ま せ ん 。 ） オ レ ン ジ タ イ プ ● 5 3 0 n m 以 下 の 短 波 長 光 を カ ッ ト ■ オ レ ン ジ タ イ プ 1 0 0 相 対 強 度 （ ％ ） 7 5 5 0 2 5 0 高 感 度 の 感 光 材 料 を 使 用 す る 半 導 体 工 場 の 3 8 0 4 0 0 4 5 0 5 0 0 5 5 0 6 0 0 6 5 0 7 0 0 7 5 0 8 0 0 波 長 （ n m ） 5 3 0 ク リ ー ン ル ー ム な ど の 照 明 に 適 し て い ま す 。 イ エ ロ ー タ イ プ ■ イ エ ロ ー タ イ プ ● 4 8 0 n m 以 下 の 短 波 長 光 を カ ッ ト 1 0 0 相 対 強 度 （ ％ ） 7 5 半 導 体 工 場 の ク リ ー ン ル ー ム の ほ か 、 5 0 虫 除 け が 必 要 な 場 所 の 照 明 に も 適 し て い ま す 。 2 5 0 3 8 0 4 0 0 4 5 0 5 0 0 5 5 0 6 0 0 6 5 0 7 0 0 7 5 0 8 0 0 波 長 （ n m ） 5 3 0 白 色 ● 管 色 ： 3 8 0 0 ～ 4 5 0 0 K （ ケ ル ビ ン ） ／ 演 色 性 （ R a ） ： 7 8 ■ 白 色 タ イ プ 1 0 0 相 対 強 度 （ ％ ） 7 5 5 0 2 5 0 3 8 0 4 0 0 4 5 0 5 0 0 5 5 0 6 0 0 6 5 0 7 0 0 7 5 0 8 0 0 波 長 （ n m ） 5 3 0 昼 白 色 ● 管 色 ： 4 6 0 0 ～ 5 5 0 0 K （ ケ ル ビ ン ） ／ 演 色 性 （ R a ） ： 8 2 ■ 昼 白 色 タ イ プ 1 0 0 相 対 強 度 （ ％ ） 7 5 5 0 2 5 0 3 8 0 4 0 0 4 5 0 5 0 0 5 5 0 6 0 0 6 5 0 7 0 0 7 5 0 8 0 0 波 長 （ n m ） 5 3 0 ブ ル ー ラ イ ト 対 策 タ イ プ ● 昼 白 色 タ イ プ の み 3 8 0 n m 4 9 5 n m 7 8 0 n m 紫 外 線 可 視 光 線 赤 外 線 目 に 悪 い と い わ れ て い る 青 色 光 （ ブ ル ー ラ イ ト ） 相 1対0 強0 度 （ ％ ） ブ ル ー ラ イ ト を 最 大 5 0 ％ （ ＊ 5 ） カ ッ ト し た カ バ ー な し 標 準 品 最 大 約 5 0 % ブ ル ー ラ イ ト 対 策 品 カ ッ ト タ イ プ も ご 用 意 し ま し た 。 5 0 0 3 6 0 3 8 0 4 0 0 4 2 0 4 4 0 4 6 0 4 8 0 4 9 5 レ ン ズ に ブ ル ー ラ イ ト 対 策 コ ー テ ィ ン グ を 施 し て い ま す 波 長 （ n m ） （ ＊ 1 ） 万 能 の 用 語 は 、 既 設 照 明 器 具 の 点 灯 方 式 （ グ ロ ー ・ ラ ピ ッ ド ・ イ ン バ ー タ ・ A C 電 源 直 結 ） を 問 わ ず 交 換 可 能 で あ る 意 味 で 使 用 し て い ま す 。 た だ し 、L S 1 2 0 0 - C 1 は イ ン バ ー タ 方 式 に 対 応 し て お り ま せ ん 。 （ ＊ 3 ） 対 応 器 具 で あ っ て も 一 部 点 灯 し な い 場 合 が あ り ま す 。 器 具 の 形 状 に よ っ て は 装 着 で き な い 場 合 が あ り ま す 。 （ ＊ 4 ） 電 気 工 事 の 有 資 格 者 に よ る 配 線 工 事 が 必 要 で す 。 （ ＊ 5 ） L S 1 2 0 0 - U 2( 昼 白 色) の カ バ ー を 取 っ た 状 態 か ら の カ ッ ト 率 で す 。 2 3

（ ＊ 3 ） （ ＊ 1 ） ど ん な 灯 具 で も 点 灯 す る 万 能 直 管 L E D ラ イ ト の 点 灯 方 式 を 解 説 し ま す 。 ■ 動 作 順 序 （ L S 1 2 0 0- U 2 の 場 合 ） １. 初 期 動 作 3. 高 周 波 と 判 別 し た 場 合 （ イ ン バ ー タ 方 式 ） 1 0 0 V / 2 0 0 V A C が 通 電 さ れ る と 、 模 擬 ヒ ー タ 回 路 （ 下 図 ① ） 、 ヒ ュ ー ズ 、 温 度 ヒ ュ ー ズ 、 イ ン ピ ー ダ ン ス 付 加 回 路 （ 下 図 ② ） を 通 り 、 （ 1 ） 定 電 流 回 路 （ 下 図 ⑤ ） を バ イ パ ス リ レ ー を O N に し て 無 効 化 し ま す 。 蛍 光 灯 点 灯 方 式 判 別 回 路 （ 下 図 ③ ） で 入 力 周 波 数 を 検 知 し ま す 。 そ の 結 果 、 低 周 波 （ 数 k H z 未 満 ） と 判 別 し た 場 合 は グ ロ ー 方 式 、 （ 2 ） 整 流 回 路 （ 下 図 ④ ） に て 直 流 化 し 、 定 電 流 回 路 を 介 さ ず に L E D （ 下 図 ⑥ ） を 点 灯 さ せ ま す ラ ピ ッ ド 方 式 、 A C 電 源 直 結 方 式 と み な し ま す 。 一 方 、 高 周 波 （ 数 k H z 以 上 ） と 判 別 し た 場 合 は イ ン バ ー タ 方 式 と み な し ま す 。 　 　 （ L E D に 流 れ る 電 流 は 、 灯 具 の 安 定 器 が 制 御 し て い ま す ） 。 （ 3 ） L E D に 流 れ る 電 流 は C P U 回 路 （ 下 図 ⑧ ） が 監 視 し て お り 、 L E D 電 流 に 応 じ て イ ン ピ ー ダ ン ス 付 加 回 路 （ 下 図 ② ） を 切 替 え ま す 2. 低 周 波 と 判 別 し た 場 合 （ グ ロ ー 方 式 、 ラ ピ ッ ド 方 式 、 A C 電 源 直 結 方 式 ） 　 　 （ イ ン ピ ー ダ ン ス を 変 化 さ せ る こ と に よ り 、 灯 具 の 安 定 器 か ら 過 大 な 電 流 が 流 れ な い よ う に 制 御 し ま す ） 。 （ 1 ） 整 流 回 路 （ 下 図 ④ ） に て 直 流 化 し 、 定 電 流 回 路 （ 下 図 ⑤ ） に て 電 流 を 制 御 し て L E D （ 下 図 ⑥ ） を 点 灯 さ せ ま す 。 （ 4 ） L E D に 流 れ る 電 流 値 が 異 常 と 判 断 し た 場 合 は 、 異 常 時 遮 断 回 路 （ 下 図 ⑦ ） に て 灯 具 の 安 定 器 か ら の 経 路 を 遮 断 し ま す 。 安 定 器 グ ロ ー 方 式 、 ラ ピ ッ ド 方 式 、 イ ン バ ー タ 方 式 供 給 電 源 世 の 中 に あ る 様 々 な 直 管 蛍 光 灯 の 灯 具 1 0 0 V / 2 0 0 V A C 万 能 直 管 L E D ラ イ ト （ ＊ 1 ） ブ ロ ッ ク 図 電 気 の 流 れ （ L E D を 点 灯 さ せ る 電 圧 、 電 流 ） 情 報 の 流 れ （ 検 出 信 号 、 制 御 信 号 ） ① 模 擬 ヒ ー タ ② ④ ⑤ ⑥ 整 流 回 路 定 電 流 回 路 L E D 回 　 　 　 路 ヒ ュ ー ズ 温 度 ヒ ュ ー ズ ③ グ ロ ー 方 式 L E D 電 流 開 放 信 号 イ ン ピ ー ダ ン ス 周 波 数 ラ ピ ッ ド 方 式 or イ ン バ ー タ 方 式 付 加 回 路 A C 電 源 直 結 方 式 バ イ パ ス イ ン バ ー タ 方 式 温 度 リ レ ー の 場 合 O N ヒ ュ ー ズ 蛍 光 灯 点 灯 方 式 判 別 回 路 ⑦ 異 常 時 遮 断 L E D 電 流 に 応 じ て 切 替 ⑧ 回 　 　 　 路 異 常 を 検 知 し た 場 合 C P U 回 路 ① 模 擬 ヒ ー タ 回 路 ② イ ン ピ ー ダ ン ス 付 加 回 路 ③ 蛍 光 灯 点 灯 方 式 判 別 回 路 ④ 整 流 回 路 イ ン バ ー タ の 場 合 に ラ ン プ が 取 付 け ら れ て い る こ と を L E D に 流 れ る 電 流 値 に 応 じ て イ ン ピ ー ダ ン ス を 変 化 さ せ て 過 大 な 電 流 が 流 れ な い よ う に 制 御 す る 回 路 で す 。 安 定 器 か ら の 入 力 周 波 数 を 検 知 し 、 グ ロ ー 方 式 、 ラ ピ ッ 供 給 さ れ る 交 流 電 圧 を L E D 点 灯 の た め 直 流 電 圧 へ 変 換 模 擬 す る た め の 回 路 で す （ 蛍 光 灯 の 点 灯 時 に 一 瞬 光 る ド 方 式 、 A C 電 源 直 結 方 式 、 イ ン バ ー タ 方 式 を 判 別 す す る 回 路 で す 。 フ ィ ラ メ ン ト 部 分 の 役 割 を す る 回 路 で す ） 。 る 回 路 で す 。 ⑦ 異 常 時 遮 断 回 路 ⑧ C P U 回 路 ⑤ 定 電 流 回 路 C P U が 電 流 値 を 検 出 し 異 常 を 検 知 す イ ン バ ー タ の 場 合 は 供 給 さ れ る 交 流 電 圧 が る と 直 ち に 電 源 を O F F す る 回 路 で す 。 C P U が 電 流 値 を 監 視 し 変 動 し て も 一 定 の 電 流 制 御 を 行 う 回 路 で す 。 が 流 れ る よ う に す る 回 路 で す 。 温 度 ヒ ュ ー ズ 温 度 ヒ ュ ー ズ 温 度 ヒ ュ ー ズ 温 度 ヒ ュ ー ズ 主 要 4 箇 所 に 温 度 ヒ ュ ー ズ を 設 け て 安 全 性 を 確 保 し て い ま す 。 万 能 直 管 L E D ラ イ ト （ ＊ 1 ） は 6 層 基 板 を 使 っ た 電 子 機 器 で す ！ （ ＊ 1 ） 万 能 の 用 語 は 、 既 設 照 明 器 具 の 点 灯 方 式 （ グ ロ ー ・ ラ ピ ッ ド ・ イ ン バ ー タ ・ A C 電 源 直 結 ） を 問 わ ず 交 換 可 能 で あ る 意 味 で 使 用 し て い ま す 。 た だ し 、L S 1 2 0 0 - C 1 は イ ン バ ー タ 方 式 に 対 応 し て お り ま せ ん 。 （ ＊ 3 ） 対 応 器 具 で あ っ て も 一 部 点 灯 し な い 場 合 が あ り ま す 。 器 具 の 形 状 に よ っ て は 装 着 で き な い 場 合 が あ り ま す 。 4 5

半 導 体 製 造 ラ イ ン の 採 用 事 例 ！ レ ジ ス ト 塗 布 装 置 （ コ ー タ ー ） 一 般 に 、 半 導 体 の 製 造 工 程 は 、「 前 工 程 」 と 「 後 工 程 」 の 2 つ に 分 け ら れ ま す 。 前 工 程 で は ウ ェ ー ハ 状 態 の ま ま で 万 能 直 管 L E D ラ イ ト （ ＊ 1 ） の オ レ ン ジ タ イ プ は 、 前 工 程 処 理 さ れ 、 後 工 程 で は 個 々 の チ ッ プ に 分 割 さ れ ま す 。 前 工 程 と は 、シ リ コ ン や 化 合 物 半 導 体 ウ ェ ー ハ が 、 ① 素 子 の の フ ォ ト レ ジ ス ト を 塗 布 す る パ タ ー ン 転 写 工 程 で 感 光 機 能 設 計 と パ タ ー ン 設 計 → ② フ ォ ト マ ス ク の 設 計 と 製 作 → ③ パ タ ー ン 形 成 → ④ 電 極 形 成 → ⑤ ウ ェ ー ハ 検 査 の 防 止 の た め に 使 用 さ れ て い ま す 。 順 序 で 各 工 程 を 流 れ 、 基 板 の 上 に 直 接 、 半 導 体 素 子 が 形 成 さ れ ま す 。 後 工 程 と は 、 ウ ェ ー ハ マ ウ ン テ ィ ン グ 、 （ ＊ 1 ） 万 能 の 用 語 は 、 既 設 照 明 器 具 の 点 灯 方 式 （ グ ロ ー ・ ラ ピ ッ ド ・ イ ン バ ー タ ・ A C 電 源 直 結 ） を ダ イ ボ ン デ ィ ン グ 、 ワ イ ヤ ボ ン デ ィ ン グ 、 パ ッ ケ ー ジ ン グ の 4 工 程 か ら な っ て い ま す 。 　 　 　 問 わ ず 交 換 可 能 で あ る 意 味 で 使 用 し て い ま す 。 た だ し 、 L S 1 2 0 0- C 1 は イ ン バ ー タ 方 式 に 　 　 　 対 応 し て お り ま せ ん 。 更 に 用 途 に 応 じ て こ ん な と こ ろ で も 使 用 さ れ て い ま す ！ こ こ で 使 用 さ れ ま す ！ 各 種 ク リ ー ン ル ー ム 感 光 防 止 印 刷 工 場 飛 散 防 止 製 品 出 荷 場 防 虫 出 典 ： 一 般 社 団 法 人 日 本 半 導 体 製 造 装 置 協 会 　 工 程 図 「 半 導 体 の で き る ま で 」 前 工 程 6 7