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当社独自の特殊ノルズにより、枚葉による高速処理でのリフトオフを可能にしました。
メタルのリフトオフの他にレジスト、ポリマー、マスクの洗浄装置としても使用できます。
特長1. 驚きの剥離能力
熱処理やドライエッチングの後の頑固なレジストも剥離可能
特長2. 再付着なし
完全枚葉スピン処理2より、DIP処理で問題となるメタルの再付着がありません！
特長3. リサイクルシステム
薬液使用量の多いプロセスでもコストを心配する必要はありません
このカタログについて
| ドキュメント名 | リフトオフ装置 製品紹介 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 603.8Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
