超音波 洗浄機・応用機器・計測機器 総合カタログ

お客様相談窓口 メンテナンスのご依頼 カスタマーサービスセンター TEL（0532）41-2582 〒441-3193 愛知県豊橋市大岩町小山塚20 本多電子株式会社 カスタマーサービスセンター FAX（0532）41-2996 超 音 波 洗浄機・応用機器・計測機器 製品情報、展示会情報や貸出機依頼など WEBサイトで最新情報をご覧いただけます。 総合カタログ www.honda-el.co.jp 本多電子 検索 ISO 9001認証取得 ISO 14001認証取得 本　　　　　　　社 〒441-3193 愛知県豊橋市大岩町小山塚20 TE（L 0532）41-2511（代） FAX（0532）41-2093 ●産業機器事業部 中部営業所 〒441-3193 愛知県豊橋市大岩町小山塚20 注）東京・大阪営業所および駐在員事務所は 　　ISO9001およびISO14001の適用範囲外です。 TE（L 0532）41-2515（直） FAX（0532）41-2923（直） ご使用に際して 東京営業所 〒107-0052 東京都港区赤坂９丁目６-28（アルベルゴ乃木坂404号） カタログに記載されている仕様内容（特性、定格、仕様範囲等）を逸脱されて TE（L 03）3479-4148（代） FAX（03）3423-1795 ご使用になると、人身事故・火災事故・社会的損失等を生じる恐れがあります。 ご使用方法につきましてご不明な点がありましたら、当社担当までお問い合わ 大阪営業所 〒532-0003 大阪市淀川区宮原4丁目1-45（新大阪八千代ビル３F） せくださるようお願い致します。また、製品をご使用されたことにより、第三 TE（L 06）6399-6073（代） FAX（06）6399-6083 者の知的財産権に関わる問題が発生した場合は、当社製品の構造・製法に直接 関係するもの以外につきましては、その責任を負いませんのでご了承下さるよ バ ン コ ク Room 11, 2 Jasmine Bldg., 12 Fl., Soi Sukhumvit 23(Prasanmitr), うお願い致します。 駐在員事務所 Sukhumvit Rd., North Klongtoey, Wattana,Bangkok, Thailand 10110 カタログ上の注意 TEL: +66-2-612-7311 FAX: +66-2-612-7399 ●このカタログの記載内容は2025年４月４日現在のものです。 ●仕様及び外観は、改良のため予告なく変更されることがありますので、 　あらかじめご了承ください。 ●カタログと実際の商品の色とは、印刷の関係で多少異なる場合があります。 ●このカタログの外形寸法は、突起部を除いた寸法です。 至岡崎 瀬上 至豊川 1 N 至 ●市役所 蒲 23 瓦町 〈お問い合せ〉 郡 豊橋駅 ●NTT 1 JR 岩屋下 東海道 ●岩屋観音 本線 ●本陣跡資料館 高師口 諏訪神社南 ● 二川駅 愛大 小 松 ● 原 豊橋 伊藤ハム 大岩町小山塚 259 街 サイエンス 梅田橋西 道 コア 植田橋北 ●GS GS● ●出光 GS 豊橋総合 動植物公園 浜道南 ● 至 シンフォニア 浜 ● テクノロジー 松 豊橋技科大 至田原 ●鉄道をご利用の場合…JR東海道本線二川駅下車 ●自動車をご利用の場合…東名高速道路 　・徒歩約15分 　・豊川ＩＣより約45分 　・タクシー約５分 　・三ヶ日ＩＣより約30分 産業機器事業部 このカタログは植物油インキで印刷されています。 2025年４月４日（第４版） Printed in Japan

C O N T E N T S 目次 U L T R A SON I C i n I N D U S T R I A L F I E L D - 目 次 - 洗 浄 機 器 ／ 超音波洗浄機器 ………………………………………………………… 4 低・ 超音波洗浄機器 中 Ultrasonic cleaners 低周波・中周波セパレート型 周 WDXシリーズ…………………………………… 10 波 NEW 低周波セパレート型 WGシリーズ …………………………………… 12 WSCシリーズ…………………………………… 14 洗 WSC(M)シリーズ ……………………………… 16 浄 機 ソニックモニター 器 ／ HUS-10 …………………………………………… 17 卓 HUS-3 …………………………………………… 17 上 型 減圧超音波洗浄機 低周波・中周波卓上型 WDXシリーズ WGシリーズ WV-231-S1 WTC-404 WV-231-S1 ……………………………………… 18 ▶ P10 ▶ P12 ▶ P18 ▶ P19 WTC-404 / WTC-408………………………… 19 WT-C401 / WTC-600-40 / WTC-1200-40… 20 洗 W-113A ………………………………………… 21 浄 W-113MK-Ⅱ …………………………………… 21 機 器 NEW 高周波 ／ 高 流水式洗浄機パルスジェットポイント式……… 23 周 石英振動体型洗浄機……………………………… 25 波 W-357BM-600 / W-357BM-1200 ………… 25 流水式洗浄機パルスジェットライン式………… 26 超音波応用機器 ……………………………………………………… 31 Processing tools カッター 応 ZO-80Ⅱ ………………………………………… 32 用 ZO-60 …………………………………………… 32 機 流水式洗浄機 石英振動体型洗浄機 高周波超音波洗浄機 ソニックモニター 器 ZO-41Ⅱ ………………………………………… 33 W-357-1MPG W-357-1MQG-SKC W-357BM-1200 HUS-10 ZO-40レジンⅡ ………………………………… 33 ▶ P23 ▶ P25 ▶ P25 ▶ P17 研磨機 ZO-01PL ………………………………………… 34 ウェルダー 超音波応用機器 SONAC-37 ……………………………………… 34 計 NEW SONAC-210 …………………………………… 35 測 機 超音波計測機器 ……………………………………………………… 36 器 Measuring instruments レベル計 HD323 …………………………………………… 38 HD353-A ………………………………………… 38 HD1200シリーズ ……………………………… 39 界面レベル計 HL2100…………………………………………… 40 超音波カッター 超音波研磨機 超音波ミニ溶着器 超音波ウェルダー 寸 法 ZO-80Ⅱ ZO-01PL SONAC-37 SONAC-210 測深器 図 PS-7 / PS-7FL …………………………………… 41 ▶ P32 ▶ P34 ▶ P34 ▶ P35 流量計 HLF800 シリーズ ……………………………… 42 超音波計測機器 映像装置 NEW 超音波振動子 HA-60A…………………………………………… 44 オ プ 超音波振動子 シ ……………………………………………………………… 45 ョ ン オプション品 ……………………………………………………………… 48 超音波レベル計 超音波界面レベル計 超音波流量計 会社概要 ………………………………………………………………………… 50 HD353-A HL2100 HLF800シリーズ 振動子 ▶ P38 ▶ P40 ▶ P42 ▶ P45 2 3

超音波洗浄機一覧 洗 超音波洗浄機一覧 浄 機 超 器 音波 洗浄機器 半導体洗浄 高 ／ 低・ ★ 石英振動体型 中 周 波 産業用機械部品洗浄 ★ W-357BMシリーズ 超音波洗浄 洗 浄 ●　超音波の“物理的作用”と洗浄液の “化学的作用” を組み合わせることによって、 ★ W-357ライン式 機 器 超音波洗浄は、水や溶剤 洗浄効果を得ています。 ／ 卓 を超音波により振動させ、 上 ●　物理的作用 ★ WDXシリーズ ★ W-357ポイント式 型 被洗浄物（ワーク）に付 キャビテーション、振動加速度、直進流などが、汚れを剥離、分散、乳化します。 着した微細な塵・汚れな ●　化学的作用 WV-231-S1 どを洗浄する技術です。 洗浄液による化学的作用と、超音波による化学反応促進作用が汚れを溶解、分解します。 洗 浄 WTC-1200-40 機 器 ／ 高 NEW ★ WGシリーズ 形状 周 低周波洗浄 高周波洗浄 ソニックモニター 波 セパレート型 導 卓上型 ■セパレート型　 p10～ ■流水式　　　　 p17 入 コ ★ WSCシリーズ ■卓上型　　　　 p18～ 　ポイントタイプ　 p23 流水タイプ ス 　ラインタイプ　 p26 ト WTC-600-40 文字色 応 ■石英振動体型　 p25 単周波数 用 ■バッチ式　　　 p25 ★ WSC（M)シリーズ 機 複数周波数 器 WTC-408 WTC-404 一般洗浄 計 W-113MKⅡ 測 機 器 W-113A WT-C401 低周波 中周波 高周波 寸 法 図 低 28kHz 40kHz 75kHz 160kHz 400kHz 1MHz 超音波周波数 ★振動子ユニット、出力等の選択によって導入コストは変動します 発振モードの種類 マルチ発振モード ●しつこい汚れに適した28kHz、細かい部分 に回り込む45kHz、ダメージの少ないきめ MULTI 細かな洗浄が可能な100kHz。この3周波 オ を順次繰り返し発振することで、定在波に プ 近接2周波切替発振モード 単周波発振モード よる洗浄ムラを防ぎます。 シ 低周波洗浄 高周波洗浄 ●ポンピング作用により、細管内部やスル ●強力なキャビテーションが発生し、頑固 ョ ン キャビテーションによる衝撃圧が頑固な汚れの洗浄に有効です。 振動加速度、直進流効果でダメージがなくサブミクロンサ ホール基板の洗浄に適します。 な汚れの洗浄に適してます。 ダイナショックモジュレーション 頑固な汚れのある金属・機械加工部品の切粉除去洗浄、脱脂洗浄や イズのパーティクル除去が可能なため、（半導体用）シリ DUAL ●キャビテーションの停留を抑制し、遠方 SINGLE ●一定の超音波パワー比率で２周波同時 まで超音波を伝播させます。 プリント基板のフラックス除去などの“一般洗浄”に適しています。 コンウェーハ、ガラスマスク、液晶ガラス基板、ハード 発振し、最適な洗浄力を得る発振方式 です。 ■セパレート型 ディスクなどの“精密／超精密洗浄”に適しています。 DM 主に一般産業用として使用します。 ＦＭ発振モード パルス発振モード 振動子ユニットの特注対応も可能です。 ●周波数変調による定在波位置の移動で洗 ●単周波の出力変調断続発振により、ソフ FM＋AM変調 浄ムラを解消します。 トな洗浄や超音波の減衰を低減する脱気 ■卓上型 ソニックモニター ●省電力で槽内の超音波を均一化。 F.M. ●キャビテーション発生位置が変化するた PULSE 促進に有効です。 　洗浄ムラを軽減し、ワークや液種、液 少量・小物部品の洗浄に適しています。 超音波洗浄機の日常点検に相対値で洗浄機の発振状況を確 め、ワークへのダメージが軽減されます。 FM+AM 深の負荷変動に有効です。 研究室等でのテスト洗浄機としても使用できます。 認します。 4 5 ▼ ▼ ▼ ▼ ▼ ▼ ▼

産業洗浄には超音波洗浄のほかに噴流洗浄、バブリング洗浄、シャワー洗浄、揺動洗浄、蒸気（ベーパー）洗浄 低・中周波洗浄 洗 浄 などがあります。それぞれの洗浄においてワークの汚れや要求される洗浄の品質により洗浄方法が異なります。 機 器 ／ 超音波洗浄は次のような特長があります。 低・ ・洗浄品質の均一化 解説 中 周 ・洗浄時間の短縮化 波 ・被洗浄物の全体の洗浄ができる（精密部品や複雑形状部品に優位） キャビテーション ■超音波洗浄機の機種選定方法 液中には無数の気体分子が存在し、20kHzから100kHzほどの強力な 1 2 洗 超音波が液中に照射された時に、正・負の圧力がその気体分子に交互 　　　汚れ 浄 超音波洗浄は汚れの種類に応じて、適切な洗浄液を選定し、 機 にかかります。正の圧力で圧縮された気体分子は、次の瞬間には負の 器 超音波の物理的作用と洗浄液の化学的作用を組み合わせて最大限の洗浄効果を上げるようにすることが重要です。 圧力により激しく膨張します。この繰り返しによって圧縮時に気体分 ／ 卓 超音波洗浄機の機種選定の際は、以下の項目をご参考にしてください。 ※超音波洗浄機の導入時、どの工程までをシステムとして 子は非常に高い圧力を持ち、その限界で弾けて消滅します。この非常 上 ①洗浄目的／汚れの種類………脱脂、研磨粉、パーティクルの除去など 組み込むのかの決定も重要です。 に大きな衝撃的圧力の発生をキャビテーション現象と言い、泡がはじ 型 『洗浄→すすぎ→乾燥』最低でもこの３工程は必要です。 ②ワークの種類…………………材質、寸法（カゴを使用する場合は、カゴの寸法）など 卓上型であれば、「洗浄」機能しか持たないため、次工程 ける時の衝撃波がワークに作用して、異物を剥離させる作用をキャビ ③超音波洗浄機の形状…………セパレート型、卓上型、石英振動体型、流水式 以降をどのように行うか、検討が必要です。 テーション効果と言います。 負圧部分の移動 キャビテーション 周波数選択 実際に超音波洗浄機を使用する上では、キャビテーションは液深、液 種によっても発生の仕方が変化します。このため、良好な超音波洗浄 洗 浄 周波数 対象の汚れ 用途例 ダメージ 特長 を行うには、これらの管理が不可欠です。例えば、振動面に這うよう 3 4 機 低 28kHz 油系・目に見える 金属部品の脱脂洗浄 洗浄エネルギーが大きい為、脱脂などの頑固な汚れの洗浄 にキャビテーションが出ている場合は、超音波が有効に液中に出てい 器 大 ／ 大きな汚れ 樹脂の脱脂洗浄 に使用される。洗浄液の効力を助ける役目を果たす。 ないばかりでなく、振動面を痛め（エロージョン※）振動板の劣化を早 高 40kHz ゴミの大きさ 液晶ガラスの受け入れ洗浄 28kHzよりワークへのダメージが少ない為、精密部品の めてしまいます。このような時は、液深を少し変えることで、キャビ 周 波 10μm以上・埃 精密金属部品洗浄 洗浄に使用されることが多い。 テーションが液中に効率良く発生し、効率良い超音波洗浄を行うこと 75kHz ハードディスク洗浄・ 40kHzでワークへダメージが出る場合に使用される事が ができます。 5μm～10μm以上 CSP基板・精密金属部品・ 多い。洗浄エネルギーも比較的大きく、ワークへのダメ 100kHz 光ディスク・HDのヘッド ージも少ない為、最近注目されている周波数。 ※エロージョン [erosion] 120kHz 超音波のキャビテーション現象（温度5,000K以上、気圧千数百気圧以上局所高 1μm～10μm 化合物ウェーハ・ ウェーハなどの受け入れに使用される。ワークへのダメ 応 160kHz ハードディスク ージが少なく、微細な汚れ除去が可能。 温・高圧の発生）で発生した物理力により、アルミニウム等の柔らかい素材の表 用 面が浸食されてしまう現象です。エロージョンの発生量は、超音波の強さに比 400kHz シリコンウェーハ・ 機 0.2μm～5μm パーティクルの除去サイズが幅広く、様々な精密洗浄が 例し、周波数に反比例します。 B 空 空 圧力 洞 洞 器 ガラスウェーハ・ガラス基板 期待されている。 　＋ が が ガラス基板の最終洗浄、 眼にみえないようなパーティクルの除去に使用される。 で つ A き ぶ 1MHz 0.2μm～1μm シリコンウェーハ（回路付き）、 ワークへのダメージも少ない。ウェーハ洗浄では、注目 る れ ガラスマスク を集めている。 P る 0 静圧 3MHz シリコンウェーハ（回路付き）・ 高 0.2μm以下 ガラスマスク 小 1MHzより微細なパーティクル除去の目的で使用される。 0 時間 計 測 機 器 ■超音波洗浄機の形状選定 定在波（洗浄ムラ）について ●セパレート型 ●卓上型 セパレート型の超音波洗浄機は発振器と振動子ユニットで構成されており、 ワンボディーにまとめたコンパクトタイプで設置が簡単です。 超音波を照射すると、液中に周波数に応じた定在波が生じます。λ/2 用途や設備、目的に応じてそれぞれの組み合わせを選ぶことができます。 の整数倍ごとに汚れの良く落ちるところが発生します。（λは1波長） １波長＝音速÷周波（λ　＝ｃ λ：波長（ｍ）数 ─ｆ ｃ：洗浄液の音速（m/s） 汚れが落ちる一方で、ワークにダメージを与えてしまう可能性もあり ｆ　：周波　数（Hz）　 発振器 発振器 ※C…水の場合：1,500m/s ます。定在波の影響をより少なくするため、ワークの揺動や多周波発 振なども考慮します。 40kHzの場合は、 寸 法 発振器 発振器 汚れの落ちやすさとワークへ与えるダメージをバランスよく見極める 1,500,000（㎜/s）÷40,000（Hz）＝37.5（㎜）…１波長 図 標準タイプ ヒーター付タイプ 必要があります。 定在波は37.5㎜÷2＝約19㎜ つまり、19㎜間隔ごとに汚れの落ちる場所があることにな ●流水式 Ｎタイプ Ｆタイプ 高周波超音波を水流にのせて洗浄するタイプです。 音圧分布 0 （λ：1波長） ります。 液面 発振器と投げ込みタイプ振動子ユニ 発振器と振動板タイプ振動子ユニッ λ─ ットの組み合わせです。お手持ちの トの組み合わせです。設備等への組 発振器 音圧の腹 4 洗浄槽で使用できます。 み込み用として使用できます。 λ ■アルミ箔での比較 音圧の節 ─2 従来機 WDX-600-Ⅰ オ プ 最も音圧が 600W 28kHz 単周波 600W 28kHz/75kHz 同時発振DM 60％ シ 高い所 ョ ン 発振器 発振器 洗浄液 ●石英振動体型 洗浄槽 石英振動体に超音波を重畳 Ｓタイプ ＳＨタイプ させて、半導体ウェーハを洗 発振器と専用の洗浄槽の組み合わせ Ｓタイプにヒーターを装備。温水効 浄します。 振動子 です。設置が簡単ですぐに使用でき 果で、より高い洗浄力が得られます。 ます。 汚れが落ちる最適位置は 液面から　λ─＋　λ4 ─2 n（n＝0,1,2…）ごとに存在する。 6 7 ～ ～

洗浄システム紹介 洗浄実例／洗浄評価サービスについて 洗 浄 機 洗浄効果をより高めるために、 洗浄実例 器 ／ 低 特注仕様も承ります!! 当社で行った洗浄テストの実例をご紹介します。 ・中 周 本多電子は、圧電セラミックス材料からボルト締めランジュバン型振動子の生産を自社で行っております。 波 WDX-600-Ⅰ p10 自社設計ならではの特長ある振動子を使用し、お客様のご要望に沿って、振動子ユニットのサイズ・減圧仕様等や特注仕様の 装置などの製作に柔軟に対応することができます。 SS材脱脂の洗浄テスト バルブ組立品脱脂の洗浄テスト 洗 ワーク SS材 ワーク SS材　バルブ組立品　 浄 機 目的 脱脂、ゴミ落とし 目的 脱脂、ゴミ落とし 器 ／ 洗浄システムご提案フロー 洗浄液 アルカリ性（50℃） 洗浄液 アルカリ性（50℃） 卓 洗浄機周波数 28kHz、75kHz同時発振（28kHz:50%、75kHz:50%） 洗浄機周波数 28kHz、75kHz同時発振（28kHz:50%、75kHz:50%） 上 型 洗浄時間 20分 洗浄時間 5分、10分 洗浄システム のご提案 納 入 Before After Before After 未洗浄 5分洗浄 10分洗浄 洗 浄 機 ワークは何？ 洗浄液を選択 装置の仕様は？ 器 汚れは？ ／ 再提案 高 周 波 洗浄液の種類と選び方 油汚れがきれいに取り除かれたことを確認できます。 油汚れがきれいに取り除かれたことを確認できます。 種　類 洗浄液 目　的 特　徴 アルカリ性 脱脂、切粉、ほこり ・不燃性のため火災の心配なし 水　系 中　性 スケール除去 ・界面活性剤が主成分 WDX-1200-I p10 酸　性 メッキ前洗浄 ・排水処理が必要 応 ふるいに詰まった研磨剤の洗浄テスト Before After 用 イソパラフィン系 ・引火性があるが発火点が高い 機 炭化水素系 脱　脂 ・安価で再生使用も可能 ワーク ふるい（0.035×325 MESH:網目隙間 0.043mm） 器 ノルマルパラフィン系 フラックス ・毒性が低く人体への影響も少ない 目的 ふるいに詰まった研磨剤除去 フッ素系 ・溶解力が高く、乾燥性も良い ・高価だが再生使用が可能 洗浄液 脱気水（溶存酸素濃度：3.25mg/ℓ） 溶剤系 臭素系 脱脂、切粉、ほこり ・溶解力が高く、乾燥性も良い 洗浄機周波数 28kHz、75kHz同時発振（28kHz:50%、75kHz:50%） ・高価だが再生使用が可能 洗浄時間 10分 アルコール系 ・引火性があるが乾燥性が良い 研磨剤がきれいに取り除かれたことを確認できます。 ・安価 計 測 機 洗浄評価サービスについて 器 ●洗浄テスト 当社ラボルームにて、洗浄テストを行っています。 ●貸出機サービス 装置例 実験設備 弊社製品をご検討いただく際の評価用と して、無料 *1 でお試しいただける貸出機 【超音波洗浄機】 【評価設備】 揺動 低周波：28kHz、40kHz 油分濃度計 サービスを行っております。 寸 オーバーフロー 中周波：75kHz、120kHz 　OCMA-555-H（株式会社堀場製作所） 対象機種は、本カタログに下記のマーク 法 高周波：400kHz、1MHz、 マイクロスコープ を記載しています。 図 1.5MHz、3MHz 　VHX5000（株式会社キーエンス） 圧力計 貸出機 ＊1　貸出機返送時の 　●　オーバーフロー 【チラー】 【評価実績】 液循環および洗浄槽の上澄み汚 オリオン機械 RKE750A1-V ・アルミ部品のブラスト加工により付着 あり 送料はお客様の ご負担とさせて いただきます。 フィルター れを排出するために有効です。 アピステ PCU-SL10000 した研磨材の除去 ・塗装治具の洗浄 　　●　ヒーター 【脱気装置】 ・アルミ鋳造部品の鋳物砂の除去 オ 発振器 最適液温に設定し洗浄効果を高 ニクニ DTC10S ・レーザー加工部品の炭化物除去 プ める機能です。 ・カバーガラスの研磨後の洗浄 シ ョ 【溶存酸素計】 ・メッキ工程における脱脂及び洗浄 ン 　　●　フィルター メトラー Seven 2Go pro S9 液中のゴミを回収し被洗浄物へ 飯島電子工業 ID-150 の再付着を軽減します。 超音波振動子 　　●　揺動 ポンプ 洗浄カゴを上下に動かすことに より、洗浄ムラの軽減や汚れの 詳しくは各営業所にお問い合わせください。 本多電子ラボルーム サブタンク ヒーター 振り落としを促します。 8 9 ▲ ▲

低・中周波洗浄機 低周波・中周波セパレート型 【セパレート型】 洗 浄 機 ® 特許 貸出機 ■振動子ユニット 器 ／ 取得済 あり 低 WDX 均一洗浄とダメージ低減を両立 自社製ボルト締めランジュバン型振動子を採用 ・中 シリーズ ソフトな洗浄からハードな洗浄まで、 高効率かつ強力な超音波洗浄を実現 発振器 振動子 周 ユニット 波 用途に合わせた最適な洗浄力が得られます 洗浄用振動子ユニットは電気音響変換効率が高く耐久性に優れた ボルト締めランジュバン型振動子を採用しています。 ご要望に応じて、 減圧などの特注仕様の振動子ユニットを 洗 浄 周波数と出力電力に応じた標準仕様を取り揃えています。 製作致します。 機 ダイナショック○Ｒ モジュレーション（DM）方式 器 ／ DM（DYNASHOCK○Ｒ MODULATIONの略）方式とは、トータル出力パワーが一定の 卓 上 まま、同一振動子から2周波を同時に発振する発振方式です。DM変調度（０～100％） 型 の設定により、２周波の周波数成分比率をコントロールし、ソフトな洗浄からハード N な洗浄まで、用途に合わせた最適な洗浄力が得られます。 NTYPE 投込タイプ 型式 N06-DX1 N12-DX1 N06-DX2 発振器　型式 WDX-600-Ⅰ WDX-1200-Ⅰ WDX-600-Ⅱ 洗 WDX-600Ⅰ- DM変調度とアルミ箔の簡易評価例 最大許容入力 600W 1200W 600W 公称駆動周波数 28kHz、75kHz 40kHz、120kHz 浄 WDX-1200Ⅰ- （WDX-600-Ⅰ：超音波出力600W一定にて照射） 有効輻射面（W×D㎜） 350×200 420×300 350×200 機 液面側 外形寸法（W×D×H㎜） 350×200×100 420×300×100 350×200×75 器 材質 ケース：SUS304（特注にてSUS316L対応可） ／ ■投込タイプ 質量 14㎏ 18㎏ 11㎏ 高 ●使用液温度範囲：5～80℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子　 周 波 振動子側 ●振動子コード長：2.5ｍ（ブレード部2m）+出力コード3.5m　●寸法図　●Ｐ28　 DM 0% DM 20% DM 40% DM 60% DM 80% DM 100% ソフトな洗浄 ハードな洗浄 F FTYPE 振動板タイプ 型式 F06-DX1 F12-DX1 F06-DX2 応 発振器　型式 WDX-600-Ⅰ WDX-1200-Ⅰ WDX-600-Ⅱ 用 ●DM変調度の選択により、槽全体に高い音圧で均一な超音波を発生します。これにより、 最大許容入力 600W 1200W 600W 機 ムラのない洗浄が可能です。 公称駆動周波数 28kHz、75kHz 40kHz、120kHz 器 有効輻射面（W×D㎜） 350×200 420×300 350×200 WDX-600-Ⅱ 外形寸法（W×D×H㎜) 390×240×83 460×340×83 390×240×57 液面 ■振動板タイプ （配線を含まず） t=3㎜ t=3㎜ t=3㎜ 音圧分布 材質 板：SUS304（特注にてSUS316L対応可）　パッキン：EPDM　t=3㎜（特注にてバイトン等対応可） 測定 質量 10㎏ 16㎏ 8㎏ ■付属品：押さえ金具2種、パッキン（EPDM）2種、ナット 振動子 ●使用液温度範囲：5～100℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子　 ユニット ●振動子コード長：3.5ｍ+出力コード3.5m　●寸法図　●Ｐ28　●オプション品：振動子カバー 計 測 従来機の音圧分布 DM方式の音圧分布 機 （WDX-600-Ⅰ） 器 ●デジタル制御方式により様々な機能を実現しました。 S STYPE 槽タイプ 最適洗浄の実現　　　 幅広い電源入力　　　 型式 S06-DX1 S12-DX1 S06-DX2 最適な周波数制御と超音波出力の制御により、 電源入力AC200V～AC240Vに対応します。 発振器　型式 WDX-600-Ⅰ WDX-1200-Ⅰ WDX-600-Ⅱ 最大許容入力 600W 1200W 600W 安定した超音波洗浄が可能です。 公称駆動周波数 28kHz、75kHz 40kHz、120kHz 異常診断機能　　　　 有効輻射面（W×D㎜） 370×250 500×300 370×250 寸法（W×D×H㎜） 外形： 422×302×405（ゴム足含む） 550×350×402（ゴム足含む） 422×302×405（ゴム足含む） メンテナンス性向上　 異常発生時は異常原因がわかるエラーメッ 槽内： 370×250×250（23L） 500×300×250（35L） 370×250×250（23L） オートチューニング機能により、振動子ユニッ セージを表示するため、迅速な対応が可能で 寸 ■槽タイプ 材質 槽：SUS304（特注にてSUS316L対応可） 法 ト交換時に、現場での発振器の調整が不要です。 す。 質量 22㎏ 39㎏ 19㎏ 図 ■付属品：フタ ●使用液温度範囲：5～100℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子　 モニタリング機能　　 スイープ機能 ●振動子コード長：3.5m　●寸法図　●Ｐ28　●オプション品：洗浄カゴ（KG10F、KG11T）　●Ｐ48 前面パネル表示器により出力電力が表示され、 DM方式にスイープ発振を付加することによ 超音波洗浄ユニットを管理する指標の１つとな り、さらに均一な超音波洗浄が可能です。 ります。 SH SHTYPE ヒーター付槽タイプ 発振器 型式 SH06-DX1 SH12-DX1 SH06-DX2 オ 型式 WDX-600-Ⅰ WDX-1200-Ⅰ WDX-600-Ⅱ 発振器　型式 WDX-600-Ⅰ WDX-1200-Ⅰ WDX-600-Ⅱ プ 発振モード ダイナショックモジュレーション（DM）方式（変調度：0～100％）+スイープ発振 最大許容入力 600W 1200W 600W シ ョ 定格出力 600W 1200W 600W 公称駆動周波数 28kHz、75kHz 40kHz、120kHz ン 公称発振周波数 28kHz、75kHz 40kHz、120kHz ヒーター AC200V 単相　50/60Hz　2kW AC200V 単相　50/60Hz　3kW AC200V 単相　50/60Hz　2kW 有効輻射面（W×D㎜） 370×250 電源入力 AC200V～240V AC200V～240V AC200V～240V 500×300 370×250 単相　50/60Hz　1200VA 単相　50/60Hz　2400VA 単相　50/60Hz　1450VA 寸法（W×D×H㎜) 外形： 580×310×406（ゴム足含む） 710×360×405（ゴム足含む） 580×310×406（ゴム足含む） 外形寸法（W×D×H㎜） 330×462×148（ゴム足含む） 槽内： 370×250×250（23L） 500×300×250（35L） 370×250×250（23L） 質量 11㎏ 12㎏ 11kg 材質 槽：SUS304（特注にてSUS316L対応可） ●I/Oインターフェイス　リモート機能：超音波発振ON/OFF（接点入力）、出力機能：異常時の警報出力（リレー接点出力：異常時開放） ■　ヒーター付槽タイプ 質量 28㎏ 46㎏ 25㎏ ●出力可変範囲：0～100％　●表示機能：出力電力（W）、DM変調度（％）、エラーメッセージ　 ■付属品：フタ ●使用周囲環境：温度：5～40℃、湿度：5～80％（ただし結露無きこと）　 ●使用液温度範囲：5～100℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子　 ●電源コード長：3.5m　●寸法図　●Ｐ27 ●振動子コード長：3.5ｍ　●寸法図　●Ｐ29　●オプション品：洗浄カゴ（KG10F、KG11T）　●Ｐ48 ※ヒーターは水加熱専用です。水以外でのご使用はお控えください。　ヒーターの電源は別途必要です。 高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】 10 11 ▲ ▲ ▲ ▲ ▲ ▲ ▲

低周波洗浄機 低周波セパレート型 【セパレート型】 洗 浄 機 NE®W 多彩な洗浄に効率性もアップ 型式指定 貸出機 ■振動子ユニット 器 ／ WG オールインワンの高機能スタンダードモデル 取得済 あり 自社製ボルト締めランジュバン型振動子を採用 低・ シリーズ 中 高効率かつ強力な超音波洗浄を実現 発振器 振動子 周 ユニット 波 新たな発振モードの追加で多彩な洗浄が可能に 洗浄用振動子ユニットは電気音響変換効率が高く耐久性に優れた 4つの発振モードにAM発振モードを組み合わせることで、8つの発振モードを選択で ボルト締めランジュバン型振動子を採用しています。 ご要望に応じて、 きるようになりました。これにより、従来機と比べ多種多様なワークや汚れに対応し、 減圧などの特注仕様の振動子ユニットを 洗 浄 洗浄ムラを軽減します。 周波数と出力電力に応じた標準仕様を取り揃えています。 製作致します。 機 器 ／ 卓 N N 上 TYPE 投込タイプ 型 発振モード 従来機 4つの発振モード 型式 N06-28A N06-40A N12-28A N12-40A （WAシリーズ） 発振器　型式 WG-600-28 WG-600-40 WG-1200-28 WG-1200-40 近接2周波切替発振 最大許容入力 600W 1200W 細管内部やスルー 公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz 洗 WG-600-28 有効輻射面（W×D㎜） 350×200 420×300 浄 WG-600-40 DUAL ホール基板の洗浄に DUAL F.M. SINGLE PULSE 寸法（W×D×H㎜） 350×200×100 350×200×75 420×300×100 420×300×75 機 WG-1200-28 ＋AM変調 FM発振 材質 ケース：SUS304（特注にてSUS316L 対応可） 器 WG-1200-40　 洗浄ムラ・ワークへ 8つの発振モード ■投込タイプ 質量 14㎏ 11㎏ 18㎏ 14㎏ ／ F.M. のダメージ軽減 ●使用液温度範囲：5 ～ 80℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子 高 ●振動子コード長：2.5ｍ（ブレード部2m）+出力コード3.5m　●寸法図 ●Ｐ28 周 単周波発振 WG 波 頑固な汚れの洗浄に シリーズ SINGLE DUAL F.M. SINGLE PULSE AM変調で各発振モードの出力 を変化させることができ、 パルス発振 F FTYPE 振動板タイプ ワークや汚れに対して細かな ソフトな洗浄や脱気 設定が可能となりました。 DUAL F.M. SINGLE PULSE PULSE 促進に 型式 F06-28A F06-40A F12-28A F12-40A ＋AM変調 ＋AM変調 ＋AM変調 ＋AM変調 発振器　型式 WG-600-28 WG-600-40 WG-1200-28 WG-1200-40 最大許容入力 600W 1200W 応 公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz 用 タイマー機能搭載 最適かつ安定した洗浄 有効輻射面（W×D㎜） 350×200 420×300 機 1分単位・最大99分までのタイマーを設定で デジタル制御方式による周波数自動追尾及び 寸法（W×D×H㎜) 390×240×83 390×240×57 460×340×83 460×340×57 器 （配線を含まず） ■振動板タイプ t=3㎜ t=3㎜ t=3㎜ t=3㎜ き、ワークや汚れにより洗浄時間を調節でき 定電力制御により、液深・液温・液種・減 材質 板：SUS304（特注にてSUS316L対応可）　 ます。目を離していても自動で洗浄が止まる 圧・ワークなどの多様な負荷変動に対して、 パッキン：EPDM　t=3㎜（特注にてバイトン等対応可） 質量 10㎏ 8㎏ 16㎏ 13㎏ ため、洗いすぎによるワークの傷つきを防止 最適な周波数と安定した出力で超音波発振し、 ■付属品：押さえ金具2種、パッキン（EPDM）2種、ナット します。 最適洗浄が可能です。 ●使用液温度範囲：5 ～ 100℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子 ●振動子コード長：3.5ｍ + 出力コード3.5m　●寸法図 ●Ｐ28　●オプション品：振動子カバー RS485通信機能搭載 メンテナンス性の向上 計 RS485通信（MODBUS®プロトコル、RTU 同一仕様振動子ユニットに交換する場合、現 S 測 機 モード）により各種設定と動作状況の確認が 場での発振器の調整が不要です。 STYPE 槽タイプ 器 可能です。周波数、出力電力の設定や発振状 型式 S06-28A S06-40A S12-28A S12-40A 発振器　型式 WG-600-28 WG-600-40 WG-1200-28 WG-1200-40 態の読み出しが可能となり、予防保全に活用 最大許容入力 600W 1200W 可能です。 公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz 有効輻射面（W×D㎜） 370×250 500×300 ※MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエ ーインコーポレーテッドの登録商標です。 寸法（W×D×H㎜） 外形： 422×302×405（ゴム足含む） 550×350×402（ゴム足含む） 槽内： 366×246×248（23L） 500×300×250（最深部）～ 224（最浅部）（35L）＊1 ■槽タイプ 材質 槽：SUS304（特注にてSUS316L対応可） ドレインバルブ Rc 1/2 Rc 3/4 発振器 質量 22㎏ 19㎏ 39㎏ 34㎏ 寸 型式 WG-600-28 WG-600-40 WG-1200-28 WG-1200-40 法 ■付属品：フタ 近接2周波切替発振（DUAL）　　　FM発振（FM） ●使用液温度範囲：5 ～ 100℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子　 図 発振モード 単周波発振（SINGLE）　　　　　　パルス発振（PULSE）　　　AM変調(AM)＊1 ●振動子コード長：3.5m　●寸法図 ●Ｐ28　●オプション品：洗浄カゴ（KG10F、KG11T)　●Ｐ48 DUAL,FM 400W 800W 定格出力 SINGLE 600W 1200W PULSE 375W 750W 公称発振周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz SH AC200V、220V、230V、240Vより選択（注文時） AC200V、220V、230V、240Vより選択（注文時） SHTYPE ヒーター付槽タイプ 電源入力 単相50/60Hz　1200VA 単相50/60Hz　2400VA 型式 SH06-28A SH06-40A SH12-28A SH12-40A アナログ出力 4-20mA電流出力 発振器　型式 WG-600-28 WG-600-40 WG-1200-28 WG-1200-40 インター 接点出力 2点　アラーム出力、発振検出出力 最大許容入力 600W 1200W オ フェース 外部駆動入力 超音波発振ON/OFF（接点入力） 公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz プ RS485 通信 MODBUS®プロトコル、RTUモード　＊2 ヒーター AC200V 単相　50/60Hz　2kW AC200V 単相　50/60Hz　3kW シ 外形寸法（W×D×H㎜） 336×400×125（ゴム足含む） 有効輻射面（W×D㎜） 370×250 500×300 ョ ン 質量 5.4kg 6.8kg 5.4kg 寸法（W×D×H㎜） 外形： 580×310×406（ゴム足含む） 710×360×405（ゴム足含む） ●DUAL/FM周波数変調幅：中心周波数±1kHz 槽内： 370×250×250（23L） 500×300×250（最深部）～ 224（最浅部）（35L）＊1 ●出力可変範囲：1 ～ 100％　●出力表示：出力電力（W）、エラーメッセージ 材質 槽：SUS304（特注にてSUS316L対応可） ●タイマー：1 ～ 90分（1分単位）、連続運転 ■　ヒーター付槽タイプ ドレインバルブ Rc 1/2 Rc 3/4 ●使用周囲環境：温度：5～ 40℃、湿度：5～ 80％（ただし結露無きこと） 質量 28㎏ 25㎏ 46㎏ 40㎏ ●電源コード長：3.5ｍ　●寸法図 ●Ｐ27 ■付属品：フタ ●使用液温度範囲：5 ～ 100℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子　 ●振動子コード長：3.5m　●寸法図 ●Ｐ29　●オプション品：洗浄カゴ（KG10F、KG11T）　●Ｐ48 ※ヒーターは水加熱専用です。水以外でのご使用はお控えください。 ※ヒーターの電源は別途必要です。 ＊1　AM変調は各発振モードと組み合わせて使用します ＊1　水はけを良くするために傾斜が付いています。 ＊2　RS485通信により各種設定と動作状況の確認が可能です 12 13 ▲ ▲ ▲ ▲ ▲ ▲ ▲

低周波洗浄機 低周波セパレート型 【セパレート型】 洗 浄 機 ■振動子ユニット 器 ／ WSC FM+AM発振で 型式指定 貸出機 取得済 あり 自社製ボルト締めランジュバン型振動子を採用 低・ シリーズ 中 洗浄ムラ低減と省エネを実現 高効率かつ強力な超音波洗浄を実現 発振器 振動子 周 ユニット 波 洗浄用振動子ユニットは電気音響変換効率が高く耐久性に優れた FM + AM ボルト締めランジュバン型振動子を採用しています。 ご要望に応じて、 FM変調とは、周波数を変化 FM変調 減圧などの特注仕様の振動子ユニットを 洗 浄 させることで、AM変調は、 周波数と出力電力に応じた標準仕様を取り揃えています。 製作致します。 機 器 出力を変化させることです。 ／ このFM＋AMは、槽内の超 卓 上 音波を均一化し、洗浄ムラ 従来機 FM+AM変調 型 を軽減し、洗浄物、液種や 液深の負荷変動に強いとい AM変調 ※参考図 N NTYPE 投込タイプ う効果があります。 WSC28 型式 NST-28SC NHP-28SC NST-40SC NHP-40SC Standard タイプ Standard High-Power Standard High-Power 洗 WSC28 High-Power 省エネ・コンパクト 浄 発振器　型式 WSC28 Standard WSC28 High-Power WSC40 Standard WSC40 High-Power WSC40 機 Standard 従来機（当社比）の約1/3の消費電力で、発振器の容積・質量も約1/3です。 最大許容入力 600W 1200W 600Ｗ 1200W 器 WSC40 High-Power 発振器無調整 公称駆動周波数 28kHz 28kHz 40kHz 40kHz ／ 有効輻射面（W×D㎜） 350×200 420×300 350×200 420×300 高 同一仕様振動子ユニットに交換する場合、発振器の調整が不要でメンテナンスが容 外形寸法（W×D×H㎜） 350×200×100 420×300×100 350×200×75 420×300×75 周 易です。 材質 ケース：SUS304（特注にてSUS316L対応可） 波 ■投込タイプ 質量 8㎏ 14㎏ 7㎏ 12㎏ 幅広い出力可変 ●最高使用液温：80℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子 ●振動子コード長：2.5m（ブレード部2m） + 出力コード3.5m　●寸法図　●Ｐ28 洗浄・処理目的に応じて幅広いパワーコントロールが可能です。 発振器 型式 WSC28 WSC40 タイプ Standard High-Power Standard High-Power F F 応 TYPE 振動板タイプ 用 機 発振モード FM＋AM変調 最大出力（平均出力） 600Ｗ（200W） 1200W（400W） 600Ｗ（200W） 1200W（400W） 型式 FST-28SC FHP-28SC FST-40SC FHP-40SC 器 公称発振周波数 28kHz 40kHz タイプ Standard High-Power Standard High-Power AC200～230V 発振器　型式 WSC28 Standard WSC28 High-Power WSC40 Standard WSC40 High-Power 電源入力 単相50/60kHz 最大許容入力 600W 1200W 600Ｗ 1200W 300VA 600VA 300VA 600VA 公称駆動周波数 28kHz 28kHz 40kHz 40kHz 外形寸法（W×D×H㎜） 210×250×107（ゴム足含む） 有効輻射面（W×D㎜） 350×200 420×300 350×200 420×300 質量 3.6㎏ 外形寸法（W×D×H㎜） 390×240×83 460×340×83 390×240×57 460×340×57 ●I/Oインターフェース　リモート機能：超音波発振ON/OFF（接点入力） （配線を含まず） t=3㎜ t=3㎜ t=3㎜ t=3㎜ 出力機能：異常時の警報出力（リレー接点出力：異常時開放/短絡選択可） ■振動板タイプ 材質 板：SUS304（特注にてSUS316L対応可）　パッキン：EPDM　t=3㎜（特注にてバイトン等対応可） ●出力可変範囲：0 ～ 100% 連続可変 質量 5㎏ 9㎏ 4㎏ 8㎏ 計 ●使用周囲環境：温度：5～ 40℃、湿度：5～ 80%（ただし結露無きこと）　 ■付属品：押さえ金具2種、パッキン（EPDM）2種、ナット 測 ●電源コード長：3.5m　●寸法図　●Ｐ27　●オプション品：I/Oリモートケーブル5m（RK01）　●Ｐ48 ●最高使用液温：100℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子 機 ●振動子コード長：3.5m + 出力コード3.5m　●寸法図　●Ｐ28　●オプション品：振動子カバー 器 超音波洗浄機　使用上の注意 超音波洗浄機をご利用の際に、正しい使い方をしないと、超音波洗浄装置 洗浄液および廃液の取り扱いについては各種規制や関連法令があります。 寸 そのものが破損あるいは所定の機能が発揮できなくなる恐れがあります。 必ず、それらに従いお取り扱いください。 法 図 ①液深 ②直置き厳禁 ③オプション品の推奨 ④壊れ易い物 ⑤振動面の汚れ ●必ず洗浄槽等へ適切な量の洗浄液を入れてから ●２重槽ビーカーや洗浄物を直接置かないてください。 ●オプション品の洗浄カゴ、 ●きずや割れのある宝石類は、超音波振 ●超音波振動面に汚れが付着す 運転してください。 空焚きや異常な超音波振動となり、故障の原因にな ビーカーラック等を使用 動によってきずや割れが広がる恐れが ると、故障の原因になります。 ●洗浄液は、槽に対し、半分以上入れてください。 ります。 してください。 オプション品を ありますので、使用しないでください。 　定期的に清掃をしてください。 ヒーター付の場合は、８割以上入れてください。 使ってください。 　また、真珠、ベッコウなども洗浄しな ●洗浄液が無い状 いでください。 × オ プ シ 態（空焚き）や ●腕時計の本体は防水 ョ ン 洗浄液が少ない 状態での使用は 故障の原因にな ります。 × × であっても超音波振 動によって水が入り、 故障する恐れがあり ますので洗浄しない でください。 × 振動子ユニット 振動子ユニット 振動子ユニット 振動子ユニット 振動子ユニット 振動子ユニット 振動子ユニット ※上記記載以外にも注意等がございますので、必ず取扱説明書を熟読後、ご使用ください。 14 15 ▲ ▲ ▲ ▲

低周波洗浄機 ソニックモニター 低周波セパレート型 【セパレート型】 ソニックモニター　─洗浄機調整検査・品質管理─ 洗 センサを超音波洗浄機の槽内（または流水）に入れることで センサ 浄 機 製造ライン、装置組込、 水槽内部に発生する超音波の強弱をmVで表示します。 型式指定 貸出機 器 超音波の強弱を可視化できるため、日々の洗浄管理にご利用いただけます。 ／ WSC(M) 省スペース対応の産業用小型洗浄機 取得済 あり 10kHz(低周波)～5MHz(高周波)の幅広い周波数に対応しています。 低・中 周 シリーズ 波 ※ソニックモニターは校正できません。 ソニックモニターHUS-10およびHUS-3は超音波の強さを簡単にチェックするための機械です。 特長 音圧を相対的な値で表しますので、絶対値としての音の強さを測定することはできません。 使用環境や個体差により、測定結果にばらつきが生じることがあります。 ●振動子のサイズをご要望のサイズで製作 継続的に同じ製品を使用することで超音波の強さの変化を観察し、劣化の兆候を早期に発見することが可能です。 洗 できます。 浄 ●入力電圧（100Vまたは200～230V）・ 2025年5月発売予定 機 器 超音波周波数（28/40kHz）の組み合わせ NEW SONIC MONITOR 超音波の強弱と周波数をデジタル表示 ／ を選択できます。 卓 上 ●外部入力による遠隔操作が可能です。 型 ●24時間の連続運転に対応しています。 HUS-10 品質管理に便利な通信機能搭載の据付タイプ ●出力電圧・周波数を同時にデジタル表示することで、すぐに結果を読み取れます。 　電圧変化率表示によって、基準値からの変化が一目瞭然です。 ●RS485通信（MODBUS®プロトコル、RTUモード）により遠隔からの監視や 洗 WSC28 (M) 　測定結果の読み出しが可能です。 浄 WSC40 (M) ●現場での判断が容易なアラーム機能搭載で日々の品質管理をサポートします。 機 器 本体 センサ ／ 型式 HUS-10 型式 HUSS01-S 高 測定周波数範囲 10kHz～5MHz 形状 ストレートタイプ 周 電源 DC24V 材質 SUS316L 波 HUS-10本体 信号入力 指定プローブ１本 ●使用液温範囲：0 ～ 70℃ 発振器 表示値 プローブ検出電圧（mVrms）、周波数（kHz） ●コード長：1.5ｍ 型式 WSC28 (M) WSC40 (M) 最大測定電圧 300 mV 対応振動子本数 1本 2本 1本 2本 4-20mA電流出力 １点 発振モード FM＋AM変調 センサ 出力 分解能12bi（t 最大負荷抵抗600Ω） 最大出力（平均出力） 60Ｗ（20W） 100Ｗ（33W） 60Ｗ（20W） 100Ｗ（33W） デジタル出力 オープンコレクタ出力（MAX35V/0.1A）２点 応 公称発振周波数 28kHz 40kHz 電圧比較/周波数比較 用 AC100VまたはAC200～230Vより選択（注文時） RS485（MODBUS®プロトコル、RTUモード） 機 電源入力 単相 50/60Hz インターフェース 32台連結可能（アドレスは1～32） 器 55VA 100VA 55VA 100VA 通信速度：9600、19200、34800、57600bps 外形寸法（W×D×H㎜） 210×250×107(ゴム足含む) 外形寸法（W×D×H㎜） 96×90×48（突起部含まず） 質量 3.6㎏ 質量 180ｇ ●I/Oインターフェース　リモート機能：超音波発振ON/OFF（接点入力） ●使用温度範囲：5 ～ 40℃ 出力機能：異常時の警報出力（リレー接点出力：異常時開放/短絡選択可） ※MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。 ●出力可変範囲：0 ～ 100% 連続可変 ●使用周囲環境：温度：5～ 40℃、湿度：5～ 80%（ただし結露無きこと） ●電源コード長：3.5m　●寸法図　●Ｐ29 ●オプション品：I/Oリモートケーブル5m（RK01）　●Ｐ48 計 測 振動子ユニット（1本仕様） SONIC MONITOR 超音波の強さを手軽に確認 貸出機 機 型式 振動板タイプ 投込タイプ 器 振動子本数 1本 最大許容入力 60W HUS-3 充電式バッテリー搭載で持ち運び可能 あり 公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz 材質 SUS304(特注にてSUS316L対応可） ●充電式バッテリー搭載により、さまざまな場所で使用できます。　（約10時間使用可能） 100×100×83 100×100×57 ●センサの先端を液中に入れるだけで確認できます。 ポイントセンシング 外形寸法（W×D×H㎜） (配線を含まず） (配線を含まず） 100×100×100 100×100×75 ｔ=3mm ｔ=3mm 本体 カバー 最高使用温度 100℃ 80℃ 型式 HUS-3 振動子コード長 3.5m 1.5ｍ（ブレード部1m) 周波数特性 10kHz～5MHz 寸 ※特注のサイズや材質にも対応可能ですので、お問い合わせください。 電源入力 専用リチウムイオン電池 法 ※振動板タイプの振動子カバーはオプションとなります。 DC14.8V 1.5W 図 測定レンジ 10mV / 50mV / 100mV / 500mV 振動子ユニット（2本仕様） メータ指示値 センサ検出電圧（mV） 　rms 型式 振動板タイプ 投込タイプ 外形寸法（W×D×H㎜） 179×132×55 振動子本数 2本 質量 640g（電池挿入時） ※確認する場所を絞るための 最大許容入力 100W ■付属品：充電用ACアダプタ 　カバーです。 公称駆動周波数 28kHz 40kHz 28kHz 40kHz HUS-3本体 　　　　　専用リチウムイオン電池（HBP-001） 　（ストレートタイプ専用） 材質 SUS304(特注にてSUS316L対応可） ●使用温度範囲：5～40℃ ※ポイントセンシングカバー 160×100×83 160×100×57 ●充電用ACアダプタ：電源入力AC100～240V　50/60Hz 　の脱着は弊社まで御依頼く 外形寸法（W×D×H㎜） (配線を含まず） (配線を含まず） 160×100×100 160×100×75 　ださい。 石英ガラスセンサ ●オプション品：ポイントセンシングカバー（PS01）、充電スタンド（JS01）　●Ｐ48 ｔ=3mm ｔ=3mm オ 最高使用温度 100℃ 80℃ センサ プ 振動子コード長 3.5m 1.5ｍ（ブレード部1m) 型式 HUS-5 SPS HUS-5 SPL HUS-5 SUS HUS-5 SUL シ ※特注のサイズや材質にも対応可能ですので、お問い合わせください。 形状 ストレートタイプ Ｌ型タイプ ストレートタイプ Ｌ型タイプ ョ ※振動板タイプの振動子カバーはオプションとなります。 材質 石英ガラス SUS316L ン 全長（㎜） 340 260（Ｌ型部 80） 340 260（Ｌ型部 80） 質量 80g 140g 振動板タイプ 投込タイプ SUSセンサ ●使用液温範囲：0～70℃　●コード長：1.5m ※常時取り付けのご使用は故障の原因となります。 ※センサの形状は、ストレート タイプとＬ型タイプのいずれ かの選択が可能です。 16 17 ▲ ▲ ▲

卓上型洗浄機 卓上型 洗 浄 減圧超音波洗浄機 機 WV-231-S1 減圧機能を搭載（水系専用） 型式指定 貸出機 WTC-404 ４つの発振モードを搭載 器 型式指定 貸出機 ／ 取得済 あり 取得済 あり 低・ WTC-408 ムラを抑えた強力な洗浄を実現 中 ●従来の超音波洗浄機では、洗浄しきれなかった微細孔・袋穴の洗浄ができます。 周 用途によって選べる洗浄モード 波 ●超音波洗浄機の洗浄要素であるキャビテーションがパワーアップされます。 ●減圧と常圧を自動で繰り返すため、汚れの剥離がスピーディーです。 用途に合った洗浄モードをお選びいただくことで、安定した洗浄パフォーマンスを発揮します。 ●減圧サイクルを２種類から選択できるようになりました。 洗 型式 WV-231-S1 浄 発振モード 単周波発振 STANDARD POWERFUL 機 器 定格出力　　　　 200W ／ 公称発振周波数 40kHz 洗浄ムラの少ない洗浄が行えます。 超音波を集中させることで、ガンコ 卓 電源入力 AC100V 50/60Hz　500VA POWERFULとMULTIモードの両方 な汚れを落とすのに適しています。 上 寸法（W×D×H㎜） 外形： 382×367×440（ゴム足含む）　 型 槽内： 280×220×254（12L） の特長をバランスよく備えています。 ドレインバルブ Rc 1/2 質量 35㎏ ●最高使用液温：70℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子　　●タイマー：0～60分（1分単位） ●減圧性能：パターン①最大-80kPa　パターン②最大-75kPa（アナログメータ付）※液深によって変わります　　 ●減圧／常圧切替：パターン①1サイクル減圧90秒／常圧15秒（表示LEDが点灯） WTC-404 MULTI BURST 洗 　　　　　　　　　パターン②1サイクル減圧45秒／常圧15秒（表示LEDが0.5秒間隔で点滅）　 浄 ●電源コード長：2m　●材質：槽：SUS304　フタ：SUS304 隠れた場所の汚れを効果的に落とす 超音波を間欠発振する事で、省エネ 機 ●オプション品：洗浄カゴ（KG15F）、ビーカーラック（BR06）、ビーカー（BK02）　●Ｐ48 精密洗浄に適しています。 を重視した洗浄が行えます。 器 ／ ■減圧超音波洗浄のメリット 高 周 袋穴部品 大気圧 減圧（排気） 復圧 波 機能性を兼ね備えたシンプルデザイン 排水バルブ・電源コードの突起がないスッキリとしたフォルムのため設置場所の 無駄がありません。スイッチ・電源コードは背面にあるため水がかかりにくいデ ザインです。 応 用 大気圧で浸潰させると 槽内を減圧すると、 次に槽内を復圧すると減圧の 機 エアポケットの内部が エアが膨張してポ エアポケット内には洗浄液が充 器 洗浄液に触れていませ ケット内から抜け 填され、エアポケットの内部ま ん。 ます。 でムラなく洗浄できます。 WTC-408 密着部品 大気圧 減圧（排気） 復圧 計 測 ボタン操作で簡単モード切替え 機 器 密着した板状ワークの隙間に 槽内を減圧して超音波発 十分に密着から開放され は洗浄液が入り込みづらく、 振すると、液全体に高密 たワーク同士の隙間は、 タイマー・出力・温度の調整もシンプルな 超音波でも密着面を引きは 度な気泡が無数に発生し、 超音波本来のキャビテー ボタン操作で簡単に設定ができます がすのに時間がかかり、洗浄 密着面の隙間を広げるこ ション効果によって強力 効果が期待できません。 とができます。 に洗浄できます。 ■洗浄データ　＜ガラス板（100×100×19t) 止まり穴洗浄実験＞ 洗浄前 洗浄後 寸 法 図 φ2.5×12mm φ2.0×12mm 減圧あり φ1.5×10mm φ1.0× 8mm φ0.5× 4mm 型式 WTC-404 WTC-408 (10mmピッチ) 発振モード AM+FM 4モードから選択可能（STANDARD / POWERFUL / MULUTI / BURST） 出力 最大値： 420W 840W 平均値： 140W 280W 公称発振周波数 40kHz オ 洗浄前 洗浄後 電源入力 AC100V 50/60Hz 450VA AC100V 50/60Hz 900VA プ ヒーター 250W 500W シ 寸法（W×D×H㎜） 外形： 339×365×327（取手、ゴム足含む） 544×425×402（取手、ゴム足含む） ョ 槽内： 300×240×150（10.5L）＊1 505×300×200（29.5L）＊1 ン ドレインバルブ Rc3/8、ホースニップル付（外径Φ14） 減圧なし 質量 9kg 15kg ■付属品：スノコ ●使用液温範囲：5℃～ 65℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子　●出力可変範囲：25％～100％ ●タイマー：0～99分（1分単位）　●ヒーター制御温度範囲：30℃～60℃（10℃単位）　●電源コード長：2m　●槽材質：SUS304 ●オプション品：洗浄カゴ（KG06F、KG07F）、フタ（FT03、FT04）、 ＊2　 　　　　　　　　ビーカーラック（BR03、BR04）、ビーカー（BK02）　●Ｐ48 ※擬似汚れは水溶性インクを使用しています。 ＊1　上部寸法です。槽はテーパーが付いています。 ※洗浄結果は条件により異なる場合があります。 ＊2　洗浄カゴとフタは同時に使用することができません。 【本製品は日本国内専用です。海外ではご使用になれません。】 【本製品は日本国内専用です。海外ではご使用になれません。】 18 19 ▲ ▲

卓上型洗浄機 洗 浄 機 WT-C401 ワンタッチでシンプルな小型洗浄機 型式指定 貸出機 貸出機 取得済 あり W-113A ３周波マルチ発振方式の 器 ／ コンパクトタイプ あり 低・中 周 ●洗浄の条件変化による出力の変動を抑える回路の搭載により、 ●マルチ発振方式により、定在波による洗浄ムラを防ぎます。 波 　安定した洗浄が行えます。 ●3つの周波数の発振時間を任意に設定できます。 ●周波数と出力の両方に変調をかけた発振方式により、 ●ワークの材質・汚れに応じた周波数を選択できます。 　より均一な洗浄が行えます。 洗 浄 型式 W-113A 機 型式 WT-C401 発振モード 単周波発振／3周波順次切替発振 器 発振モード FM+AM変調 定格出力 100W ／ 最大出力（平均出力） 75W（25W） 公称発振周波数 28kHz、45kHz、100kHz 卓 公称発振周波数 40kHz 電源入力 AC100V 50/60Hz　200VA 上 電源入力 AC100V　50/60Hz　40VA 寸法（W×D×H㎜) 外形： 290×208×249（ゴム足含む） 型 寸法（W×D×H㎜) 外形： 243×196×184（ゴム足含む） 槽内： 240×140×100（3L）＊1 槽内： 170×100×80（1.3L）＊1 ドレインバルブ 内径φ6、外径φ12 ピーコック型 質量 2.3㎏ 質量 4.4㎏ ●最高使用液温：60℃ ■付属品：フタ ●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子 ●最高使用液温：80℃　 洗 ●タイマー：5分/10分 ●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子 ●電源コード長：1.5ｍ ■付属品： ●タイマー：トータル洗浄時間：1～ 30分（1分単位）、各周波数設定時間：1～ 99秒　 浄 ●材質：本体・フタ：PP（ポリプロピレン）　槽：SUS304 　ビーカーラック ●電源コード長：2m　 機 ●オプション品：洗浄カゴ（KG02）、ビーカー（BK01）　●Ｐ48 　フタ・スノコ ●材質：本体・フタ：PP（ポリプロピレン）　槽：SUS304　 器 ●材質： ●オプション品：洗浄カゴ（KG03F）、ビーカーラック（BR01）、ビーカー（BK02）　●Ｐ48 ／ ＊1　上部寸法です。槽はテーパー、コーナーにRが付いています。 高 　PP（ポリプロピレン） 【本製品は日本国内専用です。海外ではご使用になれません。】 高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】 周 波 ＊1　上部寸法です。槽はテーパーが付いています。 【本製品は日本国内専用です。海外ではご使用になれません。】 応 用 機 器 計 WTC-600-40 大型部品の洗浄ができます 型式指定 貸出機 爆洗モードが WTC-1200-40 手を触れずに簡単操作 取得済 あり W-113 MK-Ⅱ 近接２周波 型式指定 貸出機 測 機 しつこい汚れに効果を発揮 取得済 あり 器 ●FM（周波数変調）+AM（出力変調）を採用。　洗浄ムラを軽減し、高効率の省エネタイプ。 ●爆洗モードで使用すると、瞬間的に大きなエネルギーと高次振動が発生し、 ●操作部に光電式センサ＆音声ガイドを採用。濡れた手や汚れた手でも本体に触ることなく、音声 効率の良い洗浄効果が得られます。 ガイドにそって簡単に操作できます。 ●細管内部の洗浄やスルホール基板の洗浄が可能です。 ●ドレインバルブ以外にもオーバーフロー用ドレイン取付穴により、循環システムへの拡張が容易 にできます。 型式 W-113MK-Ⅱ 寸 発振モード 単周波発振／高速切替発振（爆洗） 法 定格出力　　　　 110W 図 型式 WTC-600-40 WTC-1200-40 公称発振周波数 24kHz、31kHz 発振モード FM+AM変調 電源入力 AC100V 50/60Hz　200VA 最大出力（平均出力） 600W（200W） 1200W（400W） 寸法（W×D×H㎜) 外形： 290×208×249（ゴム足含む） 公称発振周波数 40kHz 槽内： 240×140×100（3L）＊1 電源入力 AC100V 50/60Hz 300VA AC200V~230V　単相　50/60Hz 600VA 質量 4.4㎏ 寸法（W×D×H㎜） 外形： 600×410×472（ゴム足含む） 800×460×472（ゴム足含む） ■付属品：フタ 槽内： 400×350×272（ 40L）＊1 610×400×268（69L）＊1 ●最高使用液温：80℃　 ドレインバルブ Rc 3/4 Rc 1 ●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子 ●タイマー：1～99分（1分単位） 質量 28㎏ 40㎏ ●電源コード長：2m　 オ ●使用液温度範囲：5 ～ 80℃　●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子 ●材質：本体・フタ：PP（ポリプロピレン）　槽：SUS304　 プ ●出力可変範囲：約0～ 100%　連続可変　●タイマー：10分/20分/30分/連続 ●オプション品：洗浄カゴ（KG03F）、ビーカーラック（BR01）、ビーカー（BK02）　●Ｐ48 シ ●操作スイッチ：光電式センサによりON/OFF（音声ガイド付）　●電源コード長：3.5m　●槽材質：SUS304　 ョ ●オプション品：洗浄カゴ（KG08T、KG09T）、フタ（FT05、FT06)、＊2　架台（DA01、DA02)　●Ｐ48 ＊1　上部寸法です。槽はテーパーが付いています。 ン ＊1　水はけを良くするために傾斜が付いています。 【本製品は日本国内専用です。海外ではご使用になれません。】 ＊2　洗浄カゴとフタは同時に使用することができません。 【WTC-600-40は日本国内専用です。海外ではご使用になれません。】 20 21 ▲ ▲ ▲ ▲

高周波洗浄機 高周波洗浄 流水式洗浄機パルスジェットポイントタイプ 洗 主にウェーハやハードディスクを洗浄するために、ノズル先端から放射された流水に超音波を重 浄 機 畳させて被洗浄物の洗浄をするポイントタイプの流水式超音波洗浄機です。放射された流水は超 器 音波の伝播と同時に超音波作用で剥離した汚れの輸送媒体として機能します。流水式のためパー ／ ティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特長があります。用 低・ 解説 途・使用液に合わせて豊富なバリエーションから選択できます。 中 周 波 流水式洗浄機 W-357-1MPG パーティクルの再付着を抑えて 貸出機 あり ■粒子加速度による洗浄 パルスジェット洗浄前後でのパーティクル量の変化 微細な汚れを洗浄します。 洗 加速度による超音波洗浄は、水分子が 浄 機 加速されワークにぶつかり、その衝撃 ワークサイズ （x1,000個） Before 器 によりワークからパーティクルを剥離 ●デジタル制御方式により、様々な機能を実現しました。 ／ 300×300×1.1㎜ 2.5 卓 させます。周波数が高ければ高いほど 発振器無調整 異常検出機能 上 効果があり、付着力の弱い非常に微細 2 型 なパーティクルの剥離に有効です。加 測定エリア 同一仕様振動子標準ノズルに交換する場合、発 発振器とノズルの異常状態をアラーム出力 粒 速度は周波数の倍数の2乗に比例して大 280×280㎜　 子1.5 振器との調整が不要でメンテナンスが容易です。 により監視が可能です。 数 ケーブルの断線/短絡、電力異常、過電流、振 きくなり、波長も小さくなって、より 素ガラス両面 微細なパーティクルに対して有効です。 1 幅広い電源入力 動子インピーダンス異常、流水の不足が検 洗 電源入力AC100V~240Vに対応しています。 出可能です。 浄 機 0.5 器 振動子 定電力発振 出力監視 ／ 0 振動子の駆動周波数は、振動子の電圧・電流の位 RS422Aに対応し、外部出力可変が可能で 高 1 2 3 4 5 6 7 8 9 周 相を一定にするよう追従します。振動子への供 す。電力出力値を4-20ｍAでも出力します。 波 給エネルギーを一定にするため定電力で制御し 2 After ます。水温、周囲温度の変化に対応し、安定した 粒 超音波を発振します。 子1.5 数 パーティクルサイズ 標準ノズル 1 応 水の粒子 発振器 Ｓ：3.0～ 5.0μm 型式 W-357-1MPG 用 Ｍ：5.0～10.0μm 0.5 発振モード 単周波発振 機 Ｌ：10.0μm～ 定格出力　 40W 器 公称発振周波数 1MHz 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 電源入力 AC100V～240V　単相　50/60Hz　300VA 基板番号 アナログ出力 4-20mA 電流出力 インター 接点出力 アラーム出力 フェース 外部駆動入力 ２点　センサ入力、リモート入力 石英振動体型洗浄機 RS-422A通信 専用プロトコル 外形寸法（W×D×H㎜） 180×250×100（ゴム足含む） 質量 2.2㎏ ■低ダメージ、高クリーン度を実現する次世代洗浄 W-357-IMQB-SKタイプの音圧分布 計 ●出力可変範囲：0W～40W　●使用周囲環境：温度：5～40℃　湿度：10～85% ●外部駆動用接点の定格：超音波発振制御（制御側）　接点入力：DC12V 18mA以上　警報用出力（本器）接点容量：DC24V 0.5A 測 2006年に本多電子は世界初となる石英振動体型超音波洗 ■付属ケーブル：電源コード（AC100V/2m又はAC200V 2.4mから選択）　制御コード（5m）×4 機 浄ユニットを開発しました。本方式では、石英振動体に超 器 音波を重畳させて半導体ウェーハを洗浄します。バッチ式 や流水式に比べて薬液使用量を削減できること、接液部が 振動子標準ノズル 型式 W-357-1MPGノズル 石英ガラスのみで、クリーンであることなどの特徴があり 流量 0.9L/min ます。また、石英振動体の形状を変えることにより低ダ 外形寸法 φ25×78㎜ メージ洗浄や大面積洗浄、洗浄しにくいベベル（端面）や 吐出口寸法 φ4㎜ 質量 300g ノッチ（ウェーハ端面の切欠き）部分の洗浄など、ニーズ ●使用液温度範囲：20～50℃　●振動子：PZT 寸 に応じた効果的な洗浄を行うことが可能になります。 Magnitude ●材質：ノズル：PCTFE、PTFE　パッキン：パーフロ　振動板：特殊セラミックス 0dB = 10m/s ●給液口：適合チューブ（外径 φ6）　●コード長：出力コード5m 法 図 ※5MHzも特注仕様にて対応いたします。 -55 -50 -45 CE対応ができます。 バッチ式洗浄機 別途、お問い合わせください。 ■半導体ウェーハのバッチ処理洗浄 半導体ウェーハをMHz帯の超音波洗浄槽に入れて複数枚同時に洗浄する オ 方式です。この方式は、 プ （１）一度に多くのウェーハを洗浄できるので時間短縮に繋がる、 シ ョ （２）枚葉式と比べて洗浄液が比較的少なくてすむ、 ン （３）二重槽など薬液の使用が容易などの理由から主流になっています。 通常、バッチ式にて薬液を使用する時には、洗浄槽と石英槽の二重構造と して間接的に照射するディップ式洗浄が多く用いられています。また、石 英槽を使用することで、金属イオンや不純物の溶出を避け、クリーン度を 保つ効果も得られます。 しかし、バッチ式洗浄は、基板の大型化による装置の大型化や、基板パター ンの微細化に伴いパーティクルの再付着が問題として提示されています。 22 23

高周波洗浄機 W-357-1.5MPG ●1.5MHzの高周波で微細なパーティクルを除去します。RS422Aにより通信が可能です。 貸出機 石英振動体型洗浄機 洗 あり 浄 発振器 機 型式 　　　W-357-1.5MPG 単周波発振 W-357 微細化パターンのウェーハを 特許 貸出機 器 発振モード 定格出力　 40W 取得済 公称発振周波数 1.5MHz 電源入力 AC100V～240V　単相　50/60Hz　300VA　 アナログ出力 4-20mA 電流出力 -1MQG-SKC 低ダメージで洗浄 あり ／ 低・中 ●振動子冷却機構付きのため標準品に比べ最大出力が2.4倍へアップ 周 インター 接点出力 アラーム出力 波 フェース 外部駆動入力 ２点　センサ入力、リモート入力 ●振動子を冷却する事により周波数変動が無く安定した連続運転が可能 RS-422A通信 専用プロトコル ●【振動子】冷却により振動子の急激な温度変化が無いため、長寿命 外形寸法（W×D×H㎜） 180×250×100（ゴム足含む） 質量 2.2㎏ 発振器 振動体ノズル ●出力可変範囲：0W～40W　●使用周囲環境：温度：5～40℃　湿度：10～85% 型式 W-357-1MQG-SKC 型式 W-357-1MQG-SKC-TD 洗 ●外部駆動用接点の定格：超音波発振制御（制御側） 発振モード 単周波発振 流量 指定なし 浄 　　　　　　　　　　　　接点入力：DC12V 18mA以上　警報用出力（本器）接点容量：DC24V 0.5A 定格出力 12W 全長 159㎜ 機 ■付属ケーブル：電源コード（AC100V/2m又はAC200V 2.4mから選択）　制御コード（5m）×4 公称発振周波数 1MHz チャック部寸法 φ24㎜ 器 電源入力 AC100～240V 照射面積 24㎠ 振動子ノズル 単相　50/60Hz　300VA 質量 600g ／ 型式 W-357-1.5MPG-TD アナログ出力 4-20mA 電流出力 卓 ●使用液温度範囲：20～50℃　●振動子：PZT 流量 0.9L/min（ストレート継手） インター 接点出力 アラーム出力 ●材質：振動体：石英ガラス　パッキン：シリコーンゴム 上 外形寸法 29×34×92㎜ フェース 外部駆動入力 ２点　センサ入力、リモート入力 型 吐出口寸法 φ4㎜ RS-422A通信 専用プロトコル 　　　　ケース：PCTFE 質量 300g 外形寸法（W×D×H㎜） 180×250×100（ゴム足含む） ●コード長： 出力コード1.5m+中継コード3.5m 質量 2.2㎏ ●エアパージ用継手：適合チューブ（外径 φ6） ●使用液温度範囲：20～50℃　●振動子：PZT　 ●材質：ノズル：PCTFE、PTFE　パッキン：パーフロ　振動板：タンタル ●出力可変範囲：0W～12W ●給液口：適合チューブ（外径 φ6)　●コード長：出力コード5m 　（振動体の許容入力：振動子冷却のエアパージ使用時は連続10W） ●使用周囲環境：温度：5～40℃　湿度：10～85% 洗 ●外部駆動用接点の定格：超音波発振制御（制御側）接点入力：DC12V 18mA以上 浄 　　　　　　　　　　　　警報用出力（本器）接点容量：DC24V 0.5A 機 ■付属ケーブル：電源コード（AC100V/2m又はAC200V 2.4mから選択）　制御コード（5m）×4 器 ※2MHz、3MHz、4MHz、5MHzも特注仕様にて対応いたします。 ／ 高 W-357-3MPG ●3MHzの採用でさらに細かいパーティクルを除去し、ダメージを抑えます。 貸出機 周 あり 波 発振器 型式 W-357-3MPG 発振モード 単周波発振 セパレート型バッチ式 定格出力　 40W 公称発振周波数 3MHz 電源入力 AC100V～240V　単相　50/60Hz　300VA アナログ出力 4-20mA 電流出力 インター 接点出力 アラーム出力 W-357BM 超音波でサブミクロンの 貸出機 応 フェース 外部駆動入力 ２点　センサ入力、リモート入力 あり 用 RS-422A通信 専用プロトコル シリーズ 機 外形寸法（W×D×H㎜） 180×250×100（ゴム足含む） パーティクルを除去します 器 質量 2.2㎏ ●出力可変範囲：0W～40W　●使用周囲環境：温度：5～40℃　湿度：10～85% ●デジタル制御により、安定した発振が可能です。 ●外部駆動用接点の定格：超音波発振制御（制御側） ●多彩なインターフェースにより、洗浄装置に合わせた制御が可能です。 　　　　　　　　　　　　接点入力：DC12V 18mA以上　警報用出力（本器）接点容量：DC24V 0.5A ■付属ケーブル：電源コード（AC100V/2m又はAC200V 2.4mから選択）　制御コード（5m）×4 発振器 振動子ノズル 型式 W-357BM-600 W-357BM-1200 発振モード 単周波発振 型式 W-357-3MPG-TD 定格出力 600W 1200W 流量 0.9L/min（ストレート継手） 出力可変範囲 100W～600W 200W～1200W 外形寸法 29×34×92㎜ W-357BM-600 公称発振周波数 計 吐出口寸法 1MHz φ4㎜ 質量 測 300g 電源入力 AC200~240V AC200~240V 単相　50/60Hz　1200VA 単相　50/60Hz　2400VA 機 ●使用液温度範囲：20～50℃　●振動子：PZT アナログ出力 4-20mA電流出力 ●材質：ノズル：特殊セラミックス、PCTFE　パッキン：バイトンゴム、シリコーンゴム　振動板：特殊セラミックス 器 インター 接点出力 3点　　アラーム出力、発振検出出力、電源ON出力 ●給液口：適合チューブ（外径 φ6）　●コード長：出力コード5m フェース 外部駆動入力 2点　　センサ入力、リモート入力　　　　　 RS485通信 MODBUS®プロトコル、RTUモード 外形寸法（W×D×H㎜） 220×360×143（ゴム足含む） 360×360×143（ゴム足含む） 質量 5㎏ 7㎏ ●使用周囲環境：温度：5～40℃　湿度：5～80%（ただし結露無きこと）　●電源コード長：3ｍ　●寸法図　●Ｐ27 高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】 ※MODBUSは、シュナイダーエレクトリック W-357BM-1200 　ユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。 W-357-04PG ●ウェーハのCMP後の洗浄、産業用レンズの研磨剤除去など、 貸出機 　中周波数(400kHz)で様々な精密洗浄に使用されています。 あり ■振動子ユニット F 寸 TYPE 振動板タイプ 法 型式 W-357BM-600F W-357BM-1200F 図 発振器 発振器　型式 W-357BM-600 W-357BM-1200 型式 W-357-04PG 発振モード F 最大許容入力 600W 1200W 単周波発振 公称駆動周波数 1MHz 定格出力　 80W 有効輻射面（W×D㎜） 135×160 272×154 公称発振周波数 400kHz 外形寸法（W×D×H㎜）（配線、配管を含まず） 250×220×68 355×245×68 電源入力 AC100V～240V　単相　50/60Hz　300VA 材質 板：SUS316L　表面電解研磨 アナログ出力 4-20mA 電流出力 質量 3.3㎏ 7㎏ インター 接点出力 アラーム出力 対応ウェーハサイズ 6 inch 8 inch フェース 外部駆動入力 ２点　センサ入力、リモート入力 RS-422A通信 専用プロトコル 振動子コード長 5m 5m×2 外形寸法（W×D×H㎜） 180×250×100（ゴム足含む） ■振動板タイプ ●接液部材質：振動板：SUS316L　●使用液温度範囲：5～80℃　●振動子：PZT　●寸法図　●Ｐ29　 オ 質量 2.2㎏ プ ●出力可変範囲：0W～80W　●使用周囲環境：温度：5～40℃　湿度：10～85% S STYPE 槽タイプ シ ●外部駆動用接点の定格：超音波発振制御（制御側） ョ 　　　　　　　　　　　　接点入力：DC12V 18mA以上　警報用出力（本器）接点容量：DC24V 0.5A 型式 W-357BM-600S W-357BM-1200S ン ■付属ケーブル：電源コード（AC100V/2m又はAC200V 2.4mから選択）　制御コード（5m）×4 発振器　型式 W-357BM-600 W-357BM-1200 最大許容入力 600W 1200W 振動子ノズル 公称駆動周波数 1MHz 有効輻射面（W×D㎜） 135×160 135×160　2ヶ所 型式 W-357-04PG-TD 外形寸法（W×D×H㎜）外形： 302×296×372 496×336×372 流量 4L/min 槽内： 248×236×252 442×276×252 外形寸法 60×69×134㎜ ■　 材質 槽：SUS316L　パッキン：バイトン、PTFE 吐出口寸法 φ8㎜ 槽タイプ ドレインバルブ Rc 1/2 質量 700g 質量 11.6㎏ 18㎏ ●使用液温度範囲：20～50℃　●振動子：PZT　 ※ご要望に応じて、特注振動子ユニットの製作も承ります。 対応ウェーハサイズ 6 inch 6 inch×2 ●材質：ノズル：PP（ポリプロピレン）、特殊セラミックス　パッキン：シリコーンゴム　振動板：タンタル ●給液口：適合チューブ（外径 φ13)　●コード長：出力コード5m ・最大許容入力：600W/1200W/1800W/2400W 振動子コード長 5m 5m×2 　　　　　　　　3000W/3600W ●接液部材質：振動板、槽：SUS316L　パッキン：PTFE　給水／排水用ニップル：SUS304　 高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】 ・対応ウェーハ：6インチ/8インチ/12インチ ●使用液温度範囲：5～80℃　●振動子：PZT　●寸法図　●Ｐ29　　　　　　 24 25 ▲ ▲ ▲

寸法図 一覧 流水式洗浄機パルスジェットラインタイプ Outline Drawing 【洗浄】 寸法図　一覧 洗 主に液晶ガラスを洗浄するために、カーテン状の洗浄液流水に超音波を重畳させてパーティクルを洗 浄 機 浄するラインタイプの流水式超音波洗浄機です。この方式もポイントタイプと同様に、パーティクル 器 W-357LM の再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特徴があります。 ／ 低 ■発振器 ・中 シリーズ W-357LM-80 周 80ｍｍまでの液晶ガラスに対応 ■WDXシリーズ 波 冷却のために コード接続に 330 必要な空間 462 必要な空間 従来製品よりも 150 150 小型・軽量化しました 洗 出力電力を 貸出機 浄 10~110Wまで 調整できます。 あり 機 器 ／ 卓 W-357LM-180 上 180ｍｍまでの液晶ガラスに対応 286 338 型 ノズル部にPP（ポリプロピレン）を使用しているため、 ■WGシリーズ 金属イオンの発生がほとんどありません。 冷却のために コード接続に 336 必要な空間 400 必要な空間 150 150 出力電力を 貸出機 洗 20～220Wまで 調整できます。 あり 浄 機 器 W-357LM-80 ／ W-357LM-180 高 周 W-357LM-380 W-357LM-380 380ｍｍまでの液晶ガラスに対応 142 142 170 170 波 W-357LM-580 ノズル部にPP（ポリプロピレン）を使用しているため、 金属イオンの発生がほとんどありません。 ■WSCシリーズ 冷却のために コード接続に 210 必要な空間 250 必要な空間 出力電力を 30～330Wまで 貸出機 80 150 調整できます。 あり 応 用 機 W-357LM-580 器 580mmまでの液晶ガラスに対応 ノズル部にPP（ポリプロピレン）を使用しているため、 172 214 金属イオンの発生がほとんどありません。 出力電力を ■W-357BM-600・BM-1200 ■W-357-1MPG・1.5MPG・3MPG・04PG・1MQG 40～440Wまで 冷却のために 冷却のために 180 調整できます。 必要な空間 220 必要な空間 80 80 ALARM 計 W-357 BM-600 SELECT MENU 測 MAIN ESC 機 器 発振器 87 型式 W-357LM-80 W-357LM-180 W-357LM-380 W-357LM-580 107 発振モード 単周波発振 BM-600 定格出力　 110W 220W 330W 440W 250 出力可変範囲 10～110W 20～220W 30～330W 40～440W 160 公称発振周波数 1MHz AC200~240V AC200～240V AC200～240V AC200～240V 冷却のために 冷却のために 電源入力 単相　50/60Hz 単相　50/60Hz 単相　50/60Hz 単相　50/60Hz 必要な空間 360 必要な空間 300VA 600VA 750VA 900VA 80 80 アナログ出力 4-20mA電流出力 158 寸 インター 接点出力 3点　アラーム出力　発振検出出力　電源ON出力 W-357 BM-1200 法 フェース 外部駆動入力 2点　センサ入力　リモート入力 ■W-357LMシリーズ 図 RS485通信 MODBUS®プロトコル、RTUモード 冷却のために 冷却のために 外形寸法（W×D×H㎜） 220×360×143（ゴム足含む） 必要な空間 220 必要な空間 質量 5kg 80 80 BM-1200 ●使用周辺環境：温度：5～40℃　湿度：5～80％（ただし結露無きこと） W-357 ＬＭ ●電源コード長：3ｍ　●寸法図　●Ｐ27 ※MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。 300 高周波利用設備許可申請の手続が必要【詳しくはP49】 冷却のために 360 必要な空間 オ 150 160 プ 振動子ノズル シ 発振器　型式 W-357LM-80 W-357LM-180 W-357LM-380 W-357LM-580 冷却のために ョ 360 必要な空間 流量 8L/min 18L/min 30L/min 45～60L/min ン 150 外形寸法（W×D×H㎜） 113×85×40 282×182×105 482×182×105 682×182×105 吐出口寸法（㎜） 95×2 194×2 400×2 600×2 有効洗浄範囲（㎜） 80×2 180×2 380×2 580×2 質量 2㎏ 2.7㎏ 4.5㎏ 6㎏ ノズル：SUS304 ノズル：PP（ポリプロピレン） 300 材質 パッキン：シリコーンゴム パッキン：シリコーンゴム 振動板：タンタル 振動板：タンタル 給液口 15A（1/2B）エルボ 適合チューブ（内径Φ11、外径Φ13） W-357BM-600・BM-1200の側面図は同一です。 300 ●使用液温範囲：20～40℃　●振動子：PZT （単位：㎜） ●コード長：出力コード5m　●寸法図　●Ｐ30 ※記載された寸法には多少の誤差があります。 26 27 143 107 125 148 143 100 143 ▲ ▲

寸法図 一覧 Outline Drawing 【洗浄】 寸法図　一覧 洗 浄 機 器 ／ 低 ■振動子ユニット ・中 周 ■N TYPE　投込タイプ ■SH TYPE　ヒーター付槽タイプ 波 A 振動子ユニット型式 A B C D E 振動子ユニット型式 A B C D E F G N06-DX1 350 200 100 280 230 A B SH06-DX1 580 310 406 370 250 250 250 N12-DX1 420 300 100 320 330 N06-DX2 350 200 75 280 230 D E SH12-DX1 710 360 405 500 300 250 250 洗 SH06-DX2 580 310 406 370 250 250 250 浄 N06-28A 350 200 100 280 230 SH06-28A 580 310 406 370 250 250 250 機 器 N06-40A 350 200 75 280 230 SH06-40A 580 310 406 370 250 250 250 ／ E B N12-28A 420 300 100 320 330 SH12-28A 710 360 405 500 300 224 250 卓 N12-40A 420 300 75 320 330 G F SH12-40A 710 360 405 500 300 224 250 上 NST-28SC 350 200 100 280 230 型 ※ドレイン、ケーブル、取手の位置等が機種により異なる NHP-28SC 420 300 100 320 330 C 　ものがあります。詳しくはお問い合わせください。 NST-40SC 350 200 75 280 230 NHP-40SC 420 300 75 320 330 4-φ10 SUS304 90ﾟエルボ 30 洗 浄 機 器 ／ 高 C 周 波 D ■W-357BMシリーズ　F TYPE　振動板タイプ W-357BM-600 W-357BM-1200 65 24 250 65 24 355 ■F TYPE　振動板タイプ 3 3 応 用 A 振動子ユニット型式 A B C（t） D 機 F06-DX1 390 240 3.0 80 器 F12-DX1 460 340 3.0 80 F06-DX2 390 240 3.0 57 F06-28A 390 240 3.0 80 B F06-40A 390 240 3.0 54 F12-28A 460 340 3.0 80 F12-40A 460 340 3.0 54 FST-28SC 68 有効輻射135 スタットボルト 390 240 3.0 460 340 3.0 68 槽開口部210 スタットボルト 計 FHP-28SC 有効輻射272 測 FST-40SC 390 240 3.0 54 槽開口部315 機 FHP-40SC 460 340 3.0 54 器 C ※振動子カバー取付の場合は別途ご相談ください。 D ■W-357BMシリーズ　S TYPE　槽タイプ W-357BM-600 W-357BM-1200 302 496 寸 法 図 ■S TYPE　槽タイプ A B 振動子ユニット型式 A B C D E F G S06-DX1 422 302 405 370 250 250 250 D E S12DX-1 550 350 402 500 300 250 250 S06DX-2 422 302 405 370 250 250 250 有効輻射 135 S06-28A 248 有効輻射135 55 有効輻射135 422 302 405 366 246 248 248 S06-40A 422 302 405 366 246 248 248 442 オ S12-28A 550 350 402 500 300 224 250 プ G F S12-40A 550 350 402 500 300 224 250 シ ョ C ※ドレイン、ケーブル、取手の位置等が機種により異なる ン 　ものがあります。詳しくはお問い合わせください。 （単位：㎜） ※記載された寸法には多少の誤差があります。 28 29 25 槽開口部180 40 有効輻射160 252 有効輻射 160 372 236 296 220 槽開口部205 40 有効輻射154 有効輻射160 252 276 372 336 245

寸法図 一覧 Outline Drawing 【洗浄】 寸法図　一覧 ■振動子ノズル ■W-357LM-80 ■W-357LM-180 超音波 応用機器 282 220 160 113 超音波の動力的応用 2　吐出口 2　吐出口 超音波の振動エネルギーそのものを、媒体（液体 超音波振動の特徴 中・固体中・気体中）に伝播させることで、動力 ●　密度の高いものほど伝播し易い、気体＜液体＜固体 60 2-φ7 32 的な応用に利用します。強力超音波とも呼ばれて ●　気体・液体では縦波が発生し、固体では縦波と横波さらに 4-φ7 100 います。 はねじり波や表面波なども発生する 代表的な応用例として、洗浄・切断・溶着・霧化 ●　小さい振動変位で高い音圧と強いパワー密度を持つ などがあります。 ●　周波数が同じ場合、振幅が大きいほど遠方に伝わる 95　吐出口 194　吐出口 ■W-357LM-380 482 切断 研磨 溶着 420 200 p32～ p34～ p34～ 2　吐出口 4-φ7 100 100 100 400　吐出口 ■W-357LM-580 682 切断 研磨 溶着 620 150 150 刃物に超音波振動を与えると刃物と切断面との 研磨用砥石に超音波の微振動を加えることで、 超音波振動を繰り返し素材に伝えることにより、 摩擦が少なくなり、大幅に切れ味が向上します。 ワークに触れるだけで微細な研磨ができます。 瞬時に接触している材料間に摩擦熱が起こり、 軟化・溶解して溶着します。 2　吐出口 抽出・熱成・改質・浸透 霧化分離 超音波モータ 超音波振動はさまざまな ソノリアクター 動かす 浮遊装置 用 要素技術 超音波浮遊 6-φ7 途で使われています。 長年蓄積した 化学反応 浮かす 本多電子はコアとなる振 超音波技術 要素技術 要素技術 ホモジナイザ 超音波ふるい 100 100 100 100 100 動子を自社にて設計・生 砕く 動力的応用の 震わす 産し、さまざまな用途に 実現 要素技術 広がり 最適な材質・形状・構造 超音波の動的利用の効果 超音波ウェルダー 超音波カッター 一秒間に数万～数百万回という微細振動（数μm～数十μm）を発 の振動子を設計すること 溶着する 切る 生させることでさまざまな効果を生み出します。その効果を利用し、 オリジナル さまざまな超音波応用機器を開発しています。 超音波霧化ユニット 超音波圧入 600　吐出口 で独自の製品を生み出し 超音波振動子 （単位：㎜） 霧化する 塑性加工 　摩擦の低減　 　　化学反応　　 微細振動の付加 ています。 　分散・乳化　 キャビテーション 抽出・浸透・改質 ※記載された寸法には多少の誤差があります。 30 31 15 60 25 46 4 65 22 132 105 162182 46 4 65 22 132 105 162 182 46 4 132 65 22 162 105 182 ▼ ▼ ▼

超音波カッター ■超音波切断 超音波の振動を刃に伝えて切断 刃先に超音波振動を与えることにより、ワークと刃の摩擦係数を低減します。普段、カッターや 洗 浄 ナイフで切断しているものを、より軽い力で切ることが可能になります。 機 ※超音波を付加せずに切断できないものは、超音波を付加しても切断できません。 超音波カッター 使いやすさを追及した 対応モード 貸出機 器 ZO-41Ⅱ Normal High 主要用途及び使用例 切断可能な樹脂及び板厚（目安） スタンダードモデル あり ／ 低 ・ 中 　●　プラスチック、小物、部品などのゲートカット、バリ取り 　●　 樹脂：ABS・PP・PET・アクリル 周 　●　紙・ダンボール等のカット 　●　 板厚：3㎜以下（刃・素材による） ●　２段階のパワー切替ができます。（Normal/High） 波 　●　フィルム、シート、3Dプリンター サポート材等のカット ●　手元スイッチの機能を設定できます。（ON/OFF　or　PUSH時稼動） 　●　基板パターンカット ●　切りにくい時に、パワーが入る新しい駆動方法　TAF回路を搭載！ ●　オプションの研磨砥石板を装着することで、簡易研磨機としてご利用頂けます。（Normalのみ） 洗 型式 ZO-41Ⅱ 浄 ＊3 公称発振周波数 40kHz 機 対応モード 電源 ACアダプタ INPUT：AC100-240V 50/60Hz　＊1 器 超音波カッター スーパーハイモードを搭載！ 貸出機 ／ OUTPUT：DC12V 卓 ZO-80Ⅱ Normal High S-High 消費電力 最大80VA 超音波カッターの上位モデル あり 上 使用温度範囲 10～35℃（ただし結露無きこと） 型 外形寸法 本体 173㎜×89㎜×76㎜ ハンドピース φ32×144㎜（刃含む） ●　新規に自社開発した超音波振動子を採用。 ハンドピースケーブル 1.6ｍ（ストレート） 質量 本体 約260g ●　３段階のパワー切替ができます。（Normal/High/S-High） ハンドピース 約100g（ハンドピースケーブル含む） ●　フットスイッチ（オプション）を使用すれば楽に作業が行なえます。 ■付属品：BDC-200P：1ケース（替刃40枚入り　※穴の開いた刃は利用不可）、刃固定具 ZH04：1個、刃固定ビス HB03：3個、 洗 　　　　　六角レンチ RR02：1本、ACアダプター：１個、プロテクターZH805：1個 浄 ●　ハンドピースの取り替えができるので、刃の交換の手間を軽減させることができます。＊2 機 ●　ZO-80Ⅱ用ハンドピースZH803を使用可能（Normal/High） 器 ＊1　本商品は、日本国内で利用する目的で設計されています。 ／ 　ZO-41Ⅱ対応替刃を使用できるようになりました。＊2 付属の電源コードは、日本（100V）の法令・安全規格に適合しています。 高 ●　オプションの研磨砥石板を装着することで、簡易研磨機としてご利用頂けます。（Normalのみ） 周 波 型式 ZO-80Ⅱ 公称発振周波数 40kHz 電源 ACアダプタ INPUT：AC100-240V 50/60Hz　＊1 OUTPUT：DC12V 消費電力 最大110VA 使用温度範囲 10～35℃（ただし結露無きこと） 外形寸法 本体 185㎜×169㎜×55㎜ NEW 2025年5月発売予定 応 ハンドピース φ28×150㎜（刃含む） ハンドピースケーブル 1.6ｍ（ストレート） 超音波カッター 大好評のエントリーモデルが 対応モード 用 貸出機 機 器 質量 本体 約1.2㎏ ハンドピース 約350g（ハンドピースケーブル含む） ■付属品：BDC-200P：1ケース（替刃40枚入り　※穴の開いた刃は利用不可）、刃固定具 ZH04：1個、刃固定ビス HB03：3個、 ZO-40レジンⅡ 待望の薄刃対応化 Low Normal あり ※2025年５月～ 　貸出開始予定 　　　　　六角レンチ RR02：１本、ACアダプター：１個、プロテクターZH805：１個 ●　ハンドピースのスイッチを押している時だけ動作するわかりやすい操作です。 ●　力を入れすぎると超音波を停止する安全設計です。 ＊1　本商品は、日本国内で利用する目的で設計されています。付属の電源コードは、日本（100V）の法令・安全規格に適合しています。 ＊2　オプションハンドピースのご購入が必要 ●　新搭載のLOWモードで薄刃を使用できるようになりました。 ＊3　スーパーハイモードは短時間使用の機能のため常時使用はできません。多用すると機械寿命が短くなります。 型式 ZO-40レジンⅡ 計 公称発振周波数 40kHz 測 電源 AC100V 50/60Hz 機 消費電力 最大40VA 器 使用温度範囲 10～35℃（ただし、結露無きこと) 外形寸法 本体 173㎜×89㎜×76㎜ ハンドピース φ32×144㎜（刃含む） NEW ハンドピースケーブル 1.6m（ストレート) 対応モード 質量 本体 約360g 超音波カッター 世界初！無鉛振動子採用 貸出機 ハンドピース 約100g（ハンドピースケーブル含む） High ■付属品：BDC-200P：１ケース（替刃40枚入り　※穴の空いた刃は利用不可）、刃固定具ZH04：１個、刃固定ビスHB03：３個 ZO-60 環境に優しく高性能な自信作 あり 　　　　　六角レンチRR02：１本、プロテクターZH805：１個 寸 ●　世界初、無鉛振動子LEAD-OFF® を採用した超音波カッターです。 法 ●　ZO-41ⅡHighモードと同等の切れ味を持ちながら、オーバーヒートしにくく長時間の連続使 図 用が可能です。 ●　ZO-41ⅡHighモードと同じ替刃を使用できます。 型式 ZO-60 公称発振周波数 31kHz 電源 ACアダプタ INPUT：AC100V-240V 50/60Hz　＊1 OUTPUT：DC12V 消費電力 最大80VA 超音波カッター　刃バリエーション オ 使用温度範囲 10～35℃（ただし結露無きこと） プ 本体 190㎜×175㎜×55㎜ 18 t=0.4 25 t=0.4 18 t=0.15 25 t=0.4 シ 外形寸法 ハンドピース φ32×144㎜（刃含む） ョ ハンドピースケーブル 1.6m（ストレート） 30° 30° 30° 30° ン 7 7 その他の替刃は 質量 本体 約1kg WEBでチェック ハンドピース 約130g（ハンドピースケーブル含む） ■付属品：BDC-200P：１ケース（替刃40枚入り　※穴の空いた刃は利用不可）、刃固定具ZH04：１個、刃固定ビスHB03：３個 品品目目名名（（品品番番）） 標準刃（HA04） 方形刃（ZH41）＊3 薄刃（ZH14）＊5 研磨砥石青＃800（ZH24）＊3 ▼ 　　　　　六角レンチRR02：１本、ACアダプター：１個、プロテクターZH805：１個 材材質質 SK-2 SKH SUS420 セラミック砥石 対応機種 ZO-80Ⅱ　ZO-60 ZO-80Ⅱ＊4　ZO-60 ZO-80Ⅱ＊6 ZO-80Ⅱ＊6 対応機種 ZO-41Ⅱ　ZO-40レジンⅡ ZO-41Ⅱ　ZO-40レジンⅡ ZO-41Ⅱ＊6　ZO-40レジンⅡ＊7 ZO-41Ⅱ＊6 ※穴あけ加工ができます ※微細加工に便利です ※簡易研磨機としてご使用頂けます ＊1　本商品は、日本国内で利用する目的で設計されています。 付属の電源コードは、日本（100V）の法令・安全規格に適合しています。 ＊3　ハンドピースにセットすると刃の有効長が11㎜短くなります。　＊4　『Nomal』及び『High』でのみ使用可能です。 ＊5　薄刃専用刃固定具（ZH15）が別途必要です。　＊6　『Nomal』でのみ使用可能です。　＊7　『Low』でのみ使用可能です。 32 33 4 4 4 4

超音波研磨機 超音波溶着器 ■超音波研磨 超音波の微振動を砥石に伝えて研磨 砥石に超音波の微振動を与えることにより、ワークに触れるだけで高速微細研磨が行えます。 洗 浄 超音波振動子の電流と電圧を監視し、磨きを最適な状態にサポートします。 機 プラスチックウェルダー 多彩な分野で大活躍のこの一台 型式指定 貸出機 器 ／ NEW 取得済 あり 低 超音波研磨機 繊細なパワー調整で滑らかな仕上がり 貸出機 SONAC-210 ●　Aタイプ（空冷機構付）とHタイプ（ハンディ）より選択できます。 ・ 中 ●　 周 ZO-01PL 微細磨きに特化した最新型研磨機 あり 自社で独自に設計開発した専用ボルト締めランジュバン型振動子を使用しています。 ●　標準仕様はφ９標準ホーン付のため、すぐ使用できます。 波 発振器 ●　毎秒約36,000回の高速微振動でワークへの傷つきを抑えた研磨が行えます。 型式 SONAC-210 ●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子 ●　簡易研磨機（超音波カッター+研磨砥石）ではパワーが強すぎる方におすすめです。 定格出力 200W ●保護装置：サーモスタット 洗 公称発振周波数 28kHz ●振幅可変：50～100% 浄 ●　手元でスイッチを気にしなくていいフットスイッチを採用しているため、ON/OFF切替が楽 電源入力 AC100V　50/60Hz ●タイマー：0.1秒～ 機 に行えます。 外形寸法（W×D×H㎜） ●電源コード長：2m 器 ●オプション品：エクスポネンシャルホーン（HH02）、 （突起部含まず） 300×308×107 ●　本体のダイヤルで簡単にパワー調整が可能です。 Hタイプ ／ 　　　　　　　　フットスイッチ（FS02）、 質量 4kg ●　ホーンカバーを外すことで狭く奥まった場所の研磨にも対応しています。 　　　　　　　　アラームケーブル（AK02） 卓 　　　　　　　　外部駆動ケーブル（GK02）●Ｐ49 上 型 型式 ZO-01PL Aタイプ 公称発振周波数 36kHz ハンドピース 電源 ACアダプタ INPUT：AC100V-240V 50/60Hz　＊1 型式 Aタイプ Hタイプ OUTPUT：DC12V 外形寸法（突起部含まず） φ42×338（標準ホーン含む） 消費電力 最大40VA 質量（標準ホーン含む） 1.1㎏ 0.9㎏ 洗 使用温度範囲 10～35℃（ただし結露無きこと） 出力コード長 5ｍ（耐屈曲ケーブル） 1.5m 浄 外形寸法 本体 185㎜×169㎜×55㎜ 付属品 外部駆動ケーブル（5m） なし 機 ハンドピース φ27×180.5㎜（ヤスリ含む） ●冷却用エアー供給量：0.15MPa（Aタイプのみ） 器 ハンドピースケーブル 1.6m（ストレート） ／ 質量 本体 約1.1㎏ 高 ハンドピース 約168g（ハンドピースケーブル含む） 主要用途及び使用例 周 ■付属品：研磨機用ビット(板) PLA01：１個、研磨砥石(板) #800 PLA11：１本、チタンキャップボルト PLA23：２個 波 　●　 　　　　　六角棒レンチ PLA04：１本、丸形片口スパナ PLA03：２個、フットスイッチ ZH801：１個、ACアダプタ：１個 自動車、文具等の溶着、リベッティング、金属部品のインサート ●エクスポネンシャルホーン（オプション） 工具ホーン ＊1　本商品は、日本国内で利用する目的で設計されています。 工具ホーン 工具ホーン 工具ホーン 付属の電源コードは、日本（100V）の法令・安全規格に適合しています。 応 用 スポット溶着 伝達溶着 リベッティング（カシメ組立） 金属インサート 機 器 ■超音波ウェルダー 超音波の振動エネルギーを利用し溶着しています。 （溶着） 超音波振動により、被溶着物の接合箇所に摩擦熱が発生し、熱変形が起こり溶着します。 予備加熱の必要がなく、電源を入れた瞬間から使用可能であり、熱を使用しないので安全面でも ●特注ホーン（例） 優れています。また、金属針や接着剤などを使わないため、異物が内容物に混入する心配がなく、 食品パックなどに安心して利用できます。 Outline Drawing 計 寸法図 超音波ミニ溶着器 安全・省エネ・エコロジーで楽々パック 測 貸出機 機 器 SONAC-37 あり ●　超音波振動（1秒間に約60,000回）で、安全・簡単に溶着が可能です。 ■発振器 ソニックシーラー ●　ハンドピースは本体に収納可能、女性でも使いやすい軽量・コンパクトサイズです。 ●　金属針を使用しないため食品内容物への混入がなく、処理時のゴミ分別が不要です。 ●　空打ち防止機能の採用で耐久性が向上しました。 型式 SONAC-37 定格出力 20W 寸 公称発振周波数 57kHz 法 電源入力 AC100V 50/60Hz　30W 図 外形寸法（W×D×H㎜） 本体： 70×220×165 標準品（YK01） （突起部含まず） ハンドピース： 32×125×49 308 嵌合パック開封確認用（YK02) 質量 920g ※開封時にケースに穴が開くため、 ■付属品：溶着金具（YK01） 　開封前・後が容易に確認できます。 ●振動子：ボルト締めランジュバン型振動子 ●保護装置：サーモスタット、空打ち防止機能 ご要望に応じ用途・仕様に合わせた特注ホーン ●有効溶着範囲：6×3㎜ ●電源コード長：1.5m を設計製作いたします。 ●出力コード長：0.5m（カールコード） ●オプション品：溶着金具（YK02）●Ｐ49 ※SONAC-210標準仕様はφ9標準ホーン付です。 オ 主要用途及び使用例 ■Aタイプ 冷却用エアー供給口 　（チューブ外径：φ6適合） プ 　●　フードパック（OPS、A-PET） 　●　化繊衣料の仮止め　　●　ポリ袋のシール シ ョ 　●　ブリスターパック 　●　工業用フィルム　　　●　樹脂テープ（タグ、園芸テープ） ン （50） （200） （38） （100） ●溶着例 出力ケーブル：5m（耐屈曲性） ■Hタイプ （50） （200） （38） （100） 食品パック 不織布 ポリ袋 ネット包装 出力ケーブル：1.5m 34 35 φ42 φ42 101 300 107 φ9 φ9 ▲ ▲

超音波による距離計測 洗 浄 超音波を当てて跳ね返ってくるまでの時間を測ることで、距離を計測することができます。 機 超 器 音波 計測機器 レベル計 ／ 低 超音波レベル計では、超音波が液面で反射することを利用して、超音波センサから液面までの距離を計測しています。この技術を用いると、タ ・ 中 ンク内の液量管理や、原料の残高管理などを行うことができます。 周 液量管理では、超音波センサからタンク底面までの距離(L)を予め与えておいて、液面までの距離（l）の計測結果を元に液量を算出します。 波 計測方法としては①気中から液面での反射を利用する方法と、②底面から超音波を送信して気体との境界面での反射を利用する方法とがありま す。工場・プラントでは、液面の上昇・下降をリアルタイムに計測して、タンクへの流入量・流出量を制御するといった活用がされています。 超音波の情報的応用 ③液面と同様に、粉体の場合でも超音波の反射信号が検出できるため、原料等の残量管理にも使用することができます。レベル計が出力する信 洗 号を用いて、タンクへの液体の流入、タンクからの流出をポンプを使ってコントロールすることができたり、高所での手作業による計測に対し 浄 て落下のリスクをなくすこともできます。 機 器 超音波のセンサから発信した信号を、媒体（気体 超音波の特徴 ／ ① ② ③ 卓 中・液体中・固体中）に伝播させることで情報的 上 ●　光の透過が悪い液体や固体中での計測、光が反射しない透 型 な応用に利用します。 明の物体までの距離計測に有利。 代表的な応用例として、レベル計・流量計・非破 ●　可聴音に比べ、波長が短く、指向性が鋭い。 壊検査装置などがあります。 ●　可聴音に比べ、伝播減衰が大きく遠くに届きにくい。 洗 浄 機 器 ／ 高 界面レベル計 周 波 レベル計 測深器 流量計 映像装置 超音波は異なる媒質の境界面で反射する特性があるので、タンク槽内で２層分離しているような場合の界 面レベルの測定も可能です。 水中に設置されたセンサから超音波を発信して、界面で反射し、その反射波を受信するまでの時間から界 ■空中レベル計測　 p38～ ■水深計測　 p41 p42 p44 面の高さを算出します。 ■界面レベル計測　 p40 汚泥（スラッジ）等の沈殿物に非接触で計測するため、形成された汚泥界面を荒らすことなく、計測が可 応 能です。また、光の透過が悪い不透明な処理水の中の界面レベルの計測も可能です。 用 界面レベル計の測定データを使って、排泥ポンプの動作コントロールをすることができます。また、汚泥 機 沈降具合の確認も可能ですので、凝集剤（pac）の投入のタイミングを図るのにも役立ちます。 器 測深器 水中のセンサから超音波を発信し、水底（川底/海底）に反射して受信するまでの時間から底までの距離を算出します。 魚群探知機等と原理は同じですが、機能を限定しているため、小型化が可能です。 工事現場や測量現場の簡易水深計測として使用されています。 計 超音波による液体流速の測定 測 機 超音波を利用して流体の流速を計測し、その流速から流量を計算することができます。 器 流量計 超音波流量計は、以下のような特徴があります ●超音波センサが計測する流体に非接触 ●配管内に構造物が無いため、圧力損失が無い ●低流速（秒速数センチメートル）から 　高流速（秒速数十メートル）までの広範囲を計測可 寸 ●計測精度を上げるためには、前後に直管部が必要 法 主流な計測方法として、伝播時間差方式が用いられます。 図 伝播時間差方式の超音波流量計の原理は、流れの上流側（A）と下流側（B）に超音波センサを設置し、上流側から発信した超音波を下流側で 受信したとき（経路A→B）の伝播時間と、下流側から上流側（経路B→A）への伝播時間を計測し、その時間差から流速を計算し、流量に換 算するものです。 伝播時間差法は超音波の伝播を利用するため、気泡や浮遊物が少なく、超音波の減衰が小さい清浄な流体の計測に適しています。 例えば、半導体製造装置の薬液の流量管理や水処理の装置等で使用されています。 オ 超音波による探傷 プ シ す ョ レベル計 測深器 映像装置 直進性が強く物質の境界面で反射する等の超音波特性を利用し、物体内部の傷や鬆（小さな空洞）を調べることができます。 ン ■空中レベル計測 ■水深計測 超音波が物質中を伝播する際、物体の端や違う 探傷機 測定物に接触しないため、粉塵などが発生する 魚群探知機と同様で超音波の伝播時間による距 材質の境界に当たると反射する特性を利用し、 悪環境下のタンク等のレベルも連続的に管理す 離計測です。 物体内部の傷や小さな空洞を非破壊で調べるこ 試験体の内部に構造欠陥が存在している場合、探触子から発射された超音波は、試験 ることができます。 とができます。 体中を直進し、内部欠陥が存在しなければ試験体底面で反射して戻ります。試験体内 す ■界面レベル計測 部に傷や鬆、異材部などの内部欠陥が存在している場合には、超音波はその境界面で 不透明な処理水の界面や、深いタンク内の界面 流量計 一部または全部が反射されます。 も、センサを対象沈殿物まで下げることなく計 超音波を利用して流体の流速を計測し、その流 超音波探傷機では、これらの反射波による受信（エコー）波形を観測することにより 測することができます。 速から流量に換算します。 試験体内部の欠陥情報を得ています。 36 37 ▼ ▼ ▼ ▼ ▼

超音波レベル計 ■超音波空中レベル計測 洗 浄 機 HD323 グラフィック液晶を採用した 貸出機 貸出機 2線式のローコストモデル あり HD1200 DSP搭載により、 器 ／ さらに安定した距離計測を実現 あり 低 ・ 中 周 ●2線式により、設置・配線・稼働コストの軽減が可能 ●DSPによる独自のレベル検出アルゴリズム 主要用途及び使用例 波 ●グラフィック液晶表示により、Aモード波形を表示 を実現、ノイズや不要反射の影響を排除し、 ●装置内タンクの液体・粉体レベル管理 ●センサ指向角内の障害物にマスク処理を行い、計測することが可能 安定した計測が可能 ●湖・沼・河川の水位レベル計測 ●せき式流量計測 ●本体1台に2つのセンサを接続可能。異な 洗 主要用途及び使用例 る種類のセンサを選択できるため、1台で 浄 機 ●タンク等の液面レベル管理 レンジの異なる2ヶ所の測定が可能（２台 器 ●下水管内の処理水レベル管理 目のセンサは別途必要） ／ ●湖・沼・河川の水位レベル計測 ■液面レベル計測 ■河川の水位レベル管理 卓 ●micro SDTM にログを記録 上 型式 HD323 　 本体（センサ） ●せき式流量計機能を標準搭載 ■液面レベル計測 ■粉体のレベル計測 ■大容量堰への応用 型 チャンネル数 1 使用周囲温度 －20～70℃ 周波数 50kHz 材質 PP（ ポリプロピレン) 測定対象 液体 保護規格 IP65 相当（ 蓋開け時：IP20 相当） 型式 HD1200 型式 HD1200 距離測定範囲 0.25～7.5m 外形寸法 φ93×110㎜ チャンネル数 2 使用周囲温度 －20～70℃ 計測 1㎜ 配線ケーブル長 10m 周波数 10～60kHz（センサ仕様により選択） 材質 ABS 洗 分解能 表示 1㎜ 質量 350g 測定対象 液体・粉体 構造 IP66 相当 浄 ±0.25%F.S. 取り付けネジ（旧JIS） G2（ PF2） 分解能 計測 1㎜ 外形寸法（W×D×H㎜） 176×84×237 機 精度 （±18.8㎜） 表示 1㎜ 質量 1.8㎏ 器 データ更新周期 10秒 精度 ±0.25%F.S. ２線式とは… 注）せき式流量計はCH1のみ対応しています。 ／ データ更新周期 約2秒（センサ仕様により異なる） 高 ※「microSDTM」は、SD Card Associationの商標または登録商標です。 センサ指向角 14（° －6dB） ２線式とは、電流出力信号からアンプ駆動用電力を得 10（° －3dB） ることにより、電源配線を省略した信号伝送方式です。 電源 電圧 AC100～240V 周 電圧 DC24V 消費電力 10VA 波 電源 ■TS40T-5 消費電力 0.6W 表示 LCD表示（バックライト付） 表示 グラフィック液晶 警報出力 各CH　4点　 表示サイズ HD323：LCD（50×25㎜） 出力 AC250V　5A（リレー接点） 分解能：12bit 分解能：12bit ■TS40-5 4-20mA電流出力 出力 4-20mA電流出力 （最大負荷抵抗 500Ω 24V時） （最大負荷抵抗 600Ω） 設置には、樹脂製のナットやフランジ等をご使用ください。 インターフェース RS485（伝送距離:1200m以内） RS232C（伝送距離:10m以内） 応 金属製のナットやフランジ等を使用しないでください。計測エラーの原因となります。 外部メモリ microSDTM 用 機 器 型式 センサ TS40-5 TS40T-5 周波数 40kHz 距離測定範囲（粉体は1/2） 0.3～20m 0.3～15m センサ指向角 12（°－6dB） 22（°－6dB） 8（°－3dB） 16（°－3dB） 使用周囲温度 －20～70℃ 材質 エポキシ・シリコーン・PP PVDF 構造 IP68　相当 IP68　相当 HD353-A DSPレベル計のローコストモデル 貸出機 外形寸法 φ84×90㎜ φ98×87㎜ 計 センサーケーブル長 5m 測 あり 質量 500g 860ｇ 機 センサ取り付けネジ（旧JIS） R1（PT1） G1（PF1） 器 ●グラフィック液晶表示により、Aモード波形を表示 ・TS40T-5センサは、フッ酸雰囲気下では使用できません。 ●0.3～10ｍに渡る幅広い距離計測 ※センサーケーブルを延長の際は、当社までご相談ください。 ●センサ指向角内の障害物にマスク処理を行い、計測することが可能 ●RS485（MODBUS®プロトコル）、4-20ｍA電流出力、警報出力接点により遠隔管理が可能 主要用途及び使用例 ●装置内タンクの液体・粉体のレベル管理 寸 ●湖・沼・河川の水位レベル計測 法 図 型式 HD353-A 　 本体（センサ） チャンネル数 1 使用周囲温度 －20～70℃ 超音波レベル計　セレクションガイド 周波数 50kHz 材質 PP（ ポリプロピレン） 測定対象 液体・粉体 保護規格 IP65 相当（ 蓋開け時：IP20 相当） 測定距離 距離測定範囲 (粉体は1/2) 0.3～10m 外形寸法 φ93×110㎜ 0m 2m 5m 10m 20m 30m 分解能 計測 1㎜ 配線ケーブル長 10m 表示 1㎜ 質量 350g HD323 0.25 7.5 一体型 せき式流量計測 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（P38） 精度 ±0.25%F.S. 取り付けネジ（旧JIS） G2（ PF2） （±2.5㎝） データ更新周期 0.5秒 ■オプション　　●　30ｍケーブル（HD-002）　●Ｐ49 HD353-A 0.3 10 一体型 RS485 せき式流量計測 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（P38） オ プ センサ指向角 14（° －6dB） 10（° －3dB） シ ョ 電源 電圧 DC12～24V HD1200（TS40-5） 0.3 20 2CH せき式流量計測 RS232C RS485 microSDTM ・・・・・・・・・・・・・（P39） ン 消費電力 3W 表示 グラフィック液晶 HD1200（TS40T-5） 0.3 15 耐薬品性 2CH せき式流量計測 RS232C RS485 microSDTM ・・・（P39） 表示サイズ HD353：LCD（50×25㎜） 警報出力 上下各1点 出力 4-20mA電流出力 分解能：12biｔ ※MODBUSは、シュナイダーエレクトリックユーエスエーインコーポレーテッドの登録商標です。 ※測定したい距離は、距離測定範囲の中間程度になるものを選定します。 （最大負荷抵抗 500Ω） インターフェース RS485（ 伝送距離：1200m以内） 設置には、樹脂製のナットやフランジ等をご使用ください。 金属製のナットやフランジ等を使用しないでください。計測エラーの原因となります。 38 39 ▲