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ENT-3100による動的粘弾性測定

その他

ENT-3100による動的粘弾性測定のご紹介です

◆装置:ENT-3100 ENT-2100
◆サンプル:高分子動的粘弾性評価用標準物質 4種
 PMMA ・PVC ・PEEK ・PE-UHMW
◆測定結果
 貯蔵弾性率は、ほぼ一致した。サンプル間の傾向もDMAと同様に評価できている。
 PMMAは表面が荒れているため、ばらつきはその影響と思われる。
 損失係数は、DMAと比較して絶対値の差は大きいがサンプル間の相対比較はできていると思われる。

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このカタログについて

ドキュメント名 ENT-3100による動的粘弾性測定
ドキュメント種別 その他
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登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社エリオニクス (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

Page1

www.elionix.co.jp 動的粘弾性測定
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測定例1 標準物質の測定  装置:ENT-3100 ENT-2100  サンプル:高分子動的粘弾性評価用標準物質 4種 財)科学研究評価機構(JCII)販売:産業技術総合研究所 認証 の動的粘弾性用標準試験片 ・PMMA ・PVC ・PEEK ・PE-UHMW  主な測定条件 最大荷重:1000μN 変位振幅 押込み深さ:500nm程度 1~2nm 荷重振幅:15μN (変位1~2nm) 周波数:1Hz 正弦波 ※(AISTの測定条件と統一) ※1Hzは動的粘弾性測定の 標準的な試験条件 発振時間:10sec 測定点数:各10点 試験温度:30℃(風防内温度) 補正:レべリング、移動平均30点
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測定結果1 標準物質の測定 産総研測定のDMA手法と比較した。 PMMA PVC PEEK PE-UHMW 8 1 7 6 0.1 5 4 3 0.01 2 tanδ(ENT-2100) tanδ(ENT-3100) tanδ(DMA) 1 E'(ENT-2100) E'(ENT-3100) E'(DMA) 0 0.001 PMMA PVC PEEK PE-UHMW 損失係数 tan δ E' 貯蔵弾性率 • 貯蔵弾性率は、ほぼ一致した。サンプル間の傾向もDMAと同様に評価できている。 • PMMAは表面が荒れているため、ばらつきはその影響と思われる。 • 損失係数は、DMAと比較して絶対値の差は大きいがサンプル間の相対比較はできていると思われる。 E' [GPa] tan δ
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測定例2 温度分散  装置:ENT-3100  ガラス転移点(Tg)の測定を目的とする。  サンプル 1)PMMA:Si(t10um)Siウェハにスピンコート。 2)PVC 1mm厚材  主な測定条件 表面検出:荷重検出(0.1mgf) 試験モード:粘弾性試験(加熱) 最大荷重:1500µN 荷重振幅: 100µN 周波数:1Hz 温度レンジ:60~165℃(PMMA) 40~105℃(PVC) 以下設定値に収束後測定開始。 設定値到達後 ±0.5℃ 許容熱ドリフト量 0.5nm/s 図1. 温度変化による加重‐変位グラフの移行
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測定結果2 温度分散 10 1 PMMA:Tg 150℃ 1 文献値では、100℃程度が多く、 高めの結果となったが 0.1 E' [GPa] E'' [GPa] 厚さ10μmの薄膜の粘弾性を 簡便に評価できたことは tanδ [-] 意義があると言える。 0.01 0.1 35 55 75 95 115 135 155 175 加熱温度[℃] PMMA 10 1 PVC:Tg 100℃ 1 E' [GPa]PVC 文献値では80℃~100℃程度であり、 0.1 妥当な結果と言える。E'' [GPa]PVC tanδ [-]PVC 0.01 0.1 35 55 75 95 115 135 155 175 加熱温度[℃] PVC E’,E”[GPa] E’,E”[GPa] tanδ tanδ