高い剛性と優れた走行性能を実現した超低摩擦スライドテーブル

スライド 高速で精密 Product catalog 2019

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目次 1 製品概要 S ● 4 2 アプリケーション例 2.1 ND 1を使ったICのダイアタッチ S ● 6 2.2 NK 1を使った光ファイバーケーブル用マルチモード融着結線機 S ● 7 2.3 NDN 1を使ったプリント基板組立 S ● 8 2.4 ND 1を使ったレーザー測長機 S ● 9 3 NK型超低摩擦テーブル 3.1 NK型超低摩擦テーブル S ● 11 3.2 材質 S ● 11 3.3 標準モデル S ● 11 3.4 特注モデル S ● 11 3.5 仕様 S ● 12 3.6 アクセサリー S ● 16 4 NKL型超低摩擦テーブル 4.1 NKL型超低摩擦テーブル S ● 17 4.2 材質 S ● 17 4.3 標準モデル S ● 17 4.4 特注モデル S ● 17 4.5 仕様 S ● 18 5 ND型マイクロ超低摩擦テーブル 5.1 ND型マイクロ超低摩擦テーブル S ● 23 5.2 材質 S ● 23 5.3 標準モデル S ● 23 5.4 特注モデル S ● 23 5.5 仕様 S ● 24 6 NDN型マイクロ超低摩擦テーブル 6.1 NDN型マイクロ超低摩擦テーブル S ● 27 6.2 材質 S ● 27 6.3 標準モデル S ● 27 6.4 仕様 S ● 27 7 技術情報 7.1 公差 S ● 30 7.2 精度 S ● 30 7.3 材質 S ● 32 7.4 許容動作温度 S ● 32 7.5 潤滑 S ● 32 7.6 許容速度・加速度 S ● 32 7.7 摩擦・走行精度・滑らかさ S ● 32 8 設計と組付けのガイドライン 8.1 水平および垂直方向の組付け S ● 33 8.2 超低摩擦テーブルの組付け S ● 33 8.3 テーブルの予圧 S ● 33 8.4 ベースユニットの設計 S ● 33 8.5 アクセサリー S ● 33 9 許容荷重と寿命 9.1 許容荷重と動作寿命 S ● 34 9.2 モーメント荷重 S ● 34 • 1

1 製品概要 2 アプリケーション例 3 NK型超低摩擦テーブル 4 NKL型超低摩擦テーブル 5 ND型マイクロ超低摩擦テーブル 6 NDNマイクロ型超低摩擦テーブル 7 技術情報 8 設計と組付けのガイドライン 9 許容荷重と寿命 • 3

1 製品概要 NK 型超低摩擦テーブル ● 1軸モデル サイズによりスチール製または鋳物製 ● 5サイズ ● ローラーケージ使用 ● 長さ：25 ～510mm ● ストローク：10 ~ 450 mm ● 多様なサイズにより様々なアプリケーシ ョンに適用可能 ● 高精度な用途向け ● FORMULA-Sケージずれ防止機構 により高加速下でも使用可能 NKL 型超低摩擦テーブル ● 1軸モデル ● アルミ製で軽量 ● 4サイズ ● ローラーケージ使用 ● 長さ：25～410mm ● ストローク：10 ~ 280 mm ● FORMULA-Sケージずれ防止機構 により高加速下でも使用可能 • 4

ND 型マイクロ超低摩擦テーブル ● スチール製1軸モデル ● 3サイズ ● ローラーケージ使用 ● 長さ：25～155mm ● ストローク：12~90 mm ● 低摩擦力 ● 高精度の用途向け NDN 型マイクロ超低摩擦テーブル ● 耐食ステンレス製1軸モデル ● 3サイズ ● 真鍮製ボールケージ 使用 ● ケージクリープを防止する ケージセンタリング機構付き ● 長さ：10～ 80mm ● ストローク：5～70mm ● 高精度の用途向け ● 高速アプリケーション向け • 5 製品概要

2 アプリケーション例 2.1 ND 1を使ったICのダイアタッチ ND1テーブルの理想的な用途例は、ダイアタッチ装置です。ダイアタッチ装置は集積回路「IC」 の製造工程における中心工程の一つです。最初のステップで、ICが搭載されているウェーハ がダイサーにより切断されます。次に、ダイシングされたウェーハの個々のIC、即ちダイは、ダ イアタッチ操作で金属製リードフレームの上に載せられます。リードフレームはダイが接着する ようエポキシ樹脂が塗布されています。次の工程で、ダイの金属パットがフレームの金属リード に接続され、完成したICが搭載されるプリント基板に電気的接続を提供します。ダイアタッチ 装置の高速Z軸は、実際の「ピックアンドプレース」操作を実行します。個々のダイがウェーハ から取り上げられ、リードフレームの所定の位置に置かれます。画像処理システムを使用して 、ウェーハ上とリードフレーム上のダイの両方で位置を正確に特定します。二つのコンポーネ ントの結合精度は後工程の品質に非常に重要です。 製品 ND 1 ストローク 25 mm 使用ストローク 15 mm 操作の向き 垂直 位置決め精度 ± 0.05 mm 加速度 30 m/s2 真直度・平坦度 0.004 mm • 6

2.2 NK 1を使った光ファイバーケ マルチモード融着結線機は、重さ約10kgのポータブル式光学ファイバー結合機械です。こ ーブル用マルチモード融着結 れは、LAN(ローカルエリアネットワーク)のような、光ファイバーを現場で設置するのに使われ 線機 ます。高精度のプロセスを使用して、二つの光ファイバーケーブルを融着接続します。光ファ イバーの送信品質を大幅に低下させないようにするためには、高い精度が要求されます。各 ファイバーに一つずつある二つのクランプ装置が、二つの光ファイバーを正確に配置して保 持し、当社のNK 1ローラーテーブルによってガイドされます。結合に先立ち、ファイバーの両 端は、三次元的にサブミクロンの精度で位置決めされます。この調整は、ステッピングモータ によって駆動される当社のNK 1ローラーテーブルで行います。調整精度は、内蔵のCCDカメ ラと液晶画面で監視でき、マニュアルハンドルにて位置決め調整します。位置決め完了後、 融合プロセスが行われ、高品質で低損失のジョイントが製造されます。全行程は平均1分で 行われます。最後に、この接合部を融着結線機内蔵のヒートオーブンを使用し熱収縮チュー ブで保護します。 製品 NK 1 ストローク 12 mm 使用ストローク 10mm 組み込み方向 垂直/水平 位置決め精度 0.001 mm 加速度 低 真直度・平坦度 0.002 mm 光ファイバー位置決めV溝 天板 圧縮スプリング 当社スライド 滑りブロック ギアボックス カム 上下動用ステッ ピングモータ Z運動軸 • 7 アプリケーション例

2.3 NDN 1を使ったプリント基 この事例では、抵抗、コンデンサ、コイル、集積回路などのような電子部品をプリント基板に 板組立 実装するのに NDN 1マイクロ超低摩擦テーブルを活用しています。当社 NDN 1 マイクロ超 低摩擦テーブルの上に組み込まれたグリッパーで、大きなホッパーからコンポーネントを摘 み上げます。次に、その部品はプリント基板上の特定の位置にテーブルのZ軸動作で置か れます。この場合、NDN 1 は歯車付きのタイミングベルトによって駆動されています。当社の NDN 1 はこのアプリケーションに見られる高い動的負荷条件の下でも、その耐用年数と安定 した精度は特に際立っています。 製品 NDN 1 ストローク 20 mm 使用ストローク 15 mm 運動方向 垂直 位置決め精度 0.03 mm 加速度 最大15 m/s2 真直度・平坦度 0.003 mm • 8

2.4 ND 1を使ったレーザー測長 2.2節マルチモード融合結線機において、現場での光ファイバーの結線をご紹介しましたが 機 、この事例では、光ファイバー接続の測定が含まれます。 測定手順は、リフレクターの角度変化に基づいており、レーザービーム波長の変化を評価し ます。リフレクターの機械的回転はマイクロメータ付きステッピングモータでコントロールしま す。このステッピングモータは、マイクロメータスクリューの長さ方向の動きを補うために、マイ クロテーブルND 1の上に取り付けられています。これは、測定結果に直接影響するため、ロ ーラーテーブルの走り精度には極めて高い精度が求められます。 製品 ND 1 ストローク 32 mm 使用ストローク 25 mm 運動方向 水平 位置決め精度 特になし 加速度 低 真直度・平坦度 0.004 mm 回転光学ユニット 回転軸 レーザーユニット ガラス光ファイバー治具 マイクロメータ カップリング ステッピングモータ 当社マイクロ テーブルND 1 ストローク25mm • 9

3 NK 型超低摩擦テーブル 3.1 NK 型超低摩擦テーブル – 1軸モデル、サイズによりスチール製または鋳物製 – ローラーケージ使用 – 5サイズ – 長さ：25～510mm – ストローク：10~450 mm – 多様なサイズで様々なアプリケーションに適用可能 – 高精度な用途向け – FORMULA-Sケージずれ防止機構により高加速下でも使用可能 3.2 材質 サイズ NK 1、2 スチール製 サイズ NK 3、6、9 鋳鉄製 3.3 標準モデル NK型超低摩擦テーブルは、同一長さの上部および底部の構造体とR型リニアベアリングから 構成されています。全てのサイズにおいてAC型ローラーケージとGB型エンドピースが装備さ れ、垂直・水平いずれの方向でも取付けることができます。下部には、標準取付け穴が設けら れています。予圧用セットスクリューの反対側の上部及び底部側面は基準面として使用でき ます。標準品のストローク限界は上部構造2本のネジと底部構造1本のネジにより設定されま す。このネジは、運動方向への小さな衝撃にしか耐えられないため、大きな力や衝撃に対す るストッパとしては使用できません。 FORMULA-Sケージずれ防止機構オプションを選択した場合は、これらのネジは不要です。 3.4 特注モデル 標準組付け穴 (–B) 上部の組付け穴(ご必要に応じて他のパターンの穴も可能です)。 ローラーケージ タイプ AA-RF型、KBN型、KBS型 (Formula-S) 当社製品カタログ「リニアベアリングと循環ユニット」記載のさまざまなケージのオプションを ご選択いただけます。 ボールケージ タイプ AK型 (-AK) 塵埃に対する影響が小さくなります。 ケージアシスト機能 (-KS) 高ダイナミックと全ての取付け方向に最適、サイズ3とサイズ6用。 • 11 NK型超低摩擦テーブル

3.5 仕様 型式 寸法 (mm) A B Dw H L L1 L2 *L3 L4 L5 *L6 L7 b b1 b2 b3 *b4 d d1 NK 1-25 10 25 1 X10 – 3.0 NK 1-35 18 35 2 X10 1 X10 4.5 NK 1-45 25 45 3 X10 2 X10 6 NK 1-55 17 30 1.5 32 55 4 X10 10 3 X10 7.5 7.5 12.5 3.5 18.4 8.6 22 12 10 4.1 2.55 NK 1-65 40 65 5 X10 4 X10 8.5 NK 1-75 45 75 6 X10 5 X10 11 NK 1-85 50 85 7 X10 6 X10 13.5 NK 2-35 18 35 1 X15 – 3 NK 2-50 30 50 2 X15 1 X15 4.5 NK 2-65 40 65 3 X15 2 X15 7 NK 2-80 21 40 2 50 80 4 X15 15 3 X15 10 9.5 17.5 5 25 11 30 16 15 6 3.5 NK 2-95 60 95 5 X15 4 X15 12 NK 2-110 70 110 6 X15 5 X15 14.5 NK 2-125 80 125 7 X15 6 X15 17 NK 3-55 30 55 1 X25 – 5.5 NK 3-80 45 80 2 X25 1 X25 10.5 NK 3-105 60 105 3 X25 2 X25 15.5 NK 3-130 28 60 3 75 130 4 X25 25 3 X25 15 20.5 27.5 10 39 17 40 40 25 7.5 4.5 NK 3-155 90 155 5 X25 4 X25 25.5 NK 3-180 105 180 6 X25 5 X25 30.5 NK 3-205 130 205 7 X25 6 X25 30.5 * 特殊モデル B のみ • 12

テーブル下部の標準取付け穴の位置 d2 d3 h h 1 h 2 n s t x y C/C10 ML Nm MQ Nm 重量 取付穴 0 (kg) Fig N 250 1.20 1.69 0.08 1 350 1.80 2.36 0.112 1 450 2.40 3.04 0.144 1 M2 M2 5.5 3 - 2.5 4 7 4 8.5 550 3.00 3.71 0.176 2 22 650 3.60 4.39 0.208 2 750 4.20 5.06 0.24 2 900 5.10 6.08 0.277 2 425 2.72 3.83 0.18 1 595 4.08 5.36 0.26 1 850 6.12 7.65 0.34 1 M2 M3 6.5 3 – 3.4 6 8 5 12 1020 7.48 9.18 0.42 2 1275 9.52 11.48 0.5 2 1445 10.88 13.01 0.58 2 1700 12.92 15.30 0.68 2 910 7.80 12.74 0.57 1 1300 11.70 18.20 0.8 1 1820 16.90 25.48 1.03 1 M3 M4 9 4.5 10 5.5 8 10.5 7 18 2210 20.80 30.94 1.26 1 2730 26.00 38.22 1.49 3 3120 29.90 43.68 1.72 3 3510 33.80 49.14 1.95 4 注文例:1 x 低摩擦テーブル NK 3-105 又は 1 x 低摩擦テーブル NK 3-105-B • 13

型式 寸法(mm) A B Dw H L L1 L2L3 L4 L5 'L6 L7 b b1b 2b B3 3 'b4 D 1 NK 6-110 60 110 1X50 – 16.5 NK 6-160 95 160 2X50 1X50 24 NK 6-210 130 210 3X50 2X50 31.5 NK 6-260 45 100 6 165 260 4X50 50 3X50 30 39 55 10 64 26 60 92 50 11 7 NK 6-310 200 310 5X50 4X50 46.5 NK 6-360 235 360 6X50 5X50 54 NK 6-410 265 410 7X50 6X50 64 NK 9-210 130 210 1X100 – 27 NK 9-310 60 145 9 180 310 2X100 100 1X100 55 52 105 55 98 46 90 135 80 15 9 NK 9-410 350 410 3X100 2X100 17 NK 9-510 450 510 4X100 3X100 17 * 特殊モデル B のみ • 14

テーブル下部の標準取付け穴の位置 d2 3 H 午前1時 午前2時 N 11 S T X C/C100 ML Nm MQ in Nm 重量 Fig N (kg) 3710 57.24 83.48 3.07 1 5830 95.40 131.18 4.46 1 7420 124.02 166.95 5.85 3 M4 M6 13 6 15 8 15 15 16 12 31 9540 162.18 214.65 7.24 3 11660 200.34 262.35 8.63 3 13250 228.96 298.13 10.02 4 15370 267.12 345.83 11.41 4 11700 291.20 421.20 11.8 1 M4 M8 16 7 20 11 20 22 21 14.5 44 18200 473.20 655.20 17.3 1 20800 546.00 748.80 22.8 3 24700 655.20 889.20 28.3 3 注文例:1 x NK型テーブル 6-160 又は1 x NK型テーブル 6-160-B • 15

3.6 アクセサリー カバー (–A) 上からの塵埃の侵入を防ぎます。 サイズ 1 2 3 6 9 M 2 3 4 6 11.5 • 16

KL型テー4ブ ルNK L型超低摩擦テーブル 4.1 NKL型超低摩擦テーブル – 1軸モデル – アルミ製部品を使った軽量設計 – 4サイズ – ローラーケージ付 – 長さ：25～410mm – ストローク：10~280 mm – FORMULA-Sケージずれ防止機構により高加速下でも使用可能 4.2 材質 アルミニウム 4.3 標準モデル NKL型超低摩擦テーブルは、同一長さの上部および底部構造体とR型リニアベアリングから 構成されています。全てのサイズがAC型ローラーケージとGB型エンドピースが装備され、垂 直・水平いずれの向きにも取付けることができます。上部および下部には、標準取付け穴が 設けられています。予圧用セットスクリューの反対側の上部および底部側面は基準面として 使用できます。標準品のストローク限界は上部セッション2本のネジと底部構造体1本のネジ で行われます。これらのネジは、運動方向への小さな衝撃にしか耐えられないため、大きな 力や衝撃に対するストッパーとしては使用しないでください。 FORMULA-Sケージコントロールオプションを選択した場合は、これらのネジは不要です。 4.4 特注モデル ボールケージ タイプ AK (-AK) 塵埃による影響が小さくなります。 ローラーケージ タイプ AA-RF、KBN、KBS (フォーミュラ-S) 当社製品カタログ「リニアベアリングと循環ユニット」記載のさまざまなケージのオプションを ご選択いただけます。 ケージアシスト機能(-KS) 高ダイナミックと全ての組付け方向き、サイズ3とサイズ6用。 • 17 NKL型超低摩擦テーブル

4.5 仕様 型式 寸法(mm) A B Dw L L L1L2 L3 L4 L5 L L6 L7 b1 b2 b B3 d 2 NKL 1-25 10 25 1X10 – 3.0 NKL 1-35 18 35 2X10 1X10 4.5 NKL 1-45 25 45 3X10 2X10 6 NKL 1-55 13 30 1.5 32 55 4X10 10 3X10 7.5 7.5 12.5 3.5 18.4 8.6 22 10 4.1 NKL 1-65 40 65 5X10 4X10 8.5 NKL 1-75 45 75 6X10 5X10 11 NKL 1-85 50 85 7X10 6X10 13.5 NKL 2-35 18 35 1X15 – 3 NKL 2-50 30 50 2X15 1X15 4.5 NKL 2-65 40 65 3X15 2X15 7 NKL 2-80 21 40 2 50 80 4X15 15 3X15 10 9.5 17.5 5 25 11 30 15 6 NKL 2-95 60 95 5X15 4X15 12 NKL 2-110 70 110 6X15 5X15 14.5 NKL 2-125 80 125 7X15 6X15 17 • 18

テーブル下部の標準取付け穴の位置 d1 d2 H 午前1 午前 S T X C/C100 ML Nm MQ in 重量 Fig 時 2時 N Nm (kg) 。 250 1.20 1.69 0.04 1 350 1.80 2.36 0.05 1 450 2.40 3.04 0.06 1 2.55 M2 4.1 1.6 – 4 4.5 4 8.5 550 3.00 3.71 0.075 2 650 3.60 4.39 0.09 2 750 4.20 5.06 0.105 2 900 5.10 6.08 0.12 2 425 2.72 3.83 0.11 1 595 4.08 5.36 0.15 1 850 6.12 7.65 0.19 1 3.5 M3 6.7 3.2 – 6 8 5 12 1020 7.48 9.18 0.23 2 1275 9.52 11.48 0.27 2 1445 10.88 13.01 0.31 2 1700 12.92 15.30 0.35 2 注文例: 1xNKL型テーブル 2-65 • 19

型式 寸法(mm) A B Dw L L 11L 2 L L33 L4 L5 L6 L7b b b1 b2 NKL 3-55 30 55 1X25 – 5.5 NKL 3-80 45 80 2X25 1X25 10.5 NKL 3-105 60 105 3X25 2X25 15.5 NKL 3-130 75 130 4X25 3X25 20.5 NKL 3-155 25 60 3 90 155 5X25 25 4X25 15 25.5 27.5 10 39 17 40 NKL 3-180 105 180 6X25 5X25 30.5 NKL 3-205 130 205 7X25 6X25 30.5 NKL 3-230 155 230 8X25 7X25 30.5 NKL 3-255 180 255 9X25 8X25 30.5 NKL 6-110 60 110 1X50 – 16 NKL 6-160 95 160 2X50 1X50 23.5 NKL 6-210 130 210 3X50 2X50 31 NKL 6-260 40 100 6 165 260 4X50 50 3X50 30 38.5 55 10 64 26 60 NKL 6-310 200 310 5X50 4X50 46 NKL 6-360 265 360 6X50 5X50 38.5 NKL 6-410 280 410 7X50 6X50 56 • 20