低摩擦ミニチュアスライド　MSシリーズ

宇宙や半導体製造など真空 アプリケーション対応 ミニスライドMS 過酷な環境でも優れた信頼性により先端技術を支える シュネーベルガーのミニチュアスライド

宇宙や半導体などの真空アプリケーションで高い実績  DLR(ドイツ航空宇宙センター)で採用  NASA仕様真空用潤滑剤採用 (NyeTorr™)  真空度は10-9 Paまで対応  Nye Torr6350EL、Braycote 600EF対応可能 用途実績  半導体製造検査装置用  火星探索機Rover用 製品特長  ケージセンタリング機構によりケージクリープ現象を防止 高加速での使用や垂直方向の設置、連続駆動であっても常にケージが 中心に位置し、長期にわたり安定した性能を発揮  ゴシックアーチプロファイル採用 V型プロファイルに比べ最大15倍の負荷容量に対応。全体の質量を抑え ながら剛性の高い構造を実現  高速、高加速度での動作に対応 独自設計とケージセンタリング機構の採用により、最先端技術の要求を 満たし、最大速度1m/sと最大加速度50m/s2を実現  真空環境対応 超高真空環境に対応し、航空宇宙や半導体製造などの分野で高い実績 ケージ素材選により真空度10-9 mbar対応 製品仕様 MS4 MS5 項目 単位 記号 -10.6 -15.12 -20.15 -25.22 -15.8 -20.13 -30.20 -40.31 -50.42 システム高さ mm 4 6 システム幅 mm 7 10 レール幅 mm 4 5 ストローク mm 6 12 15 22 8 13 20 31 42 システム長さ mm 10 15 20 25 15 20 30 40 50 ベアリング径 mm 1 1.5 静的負荷容量 N C0 277 347 485 555 780 936 1404 1716 2028 動的負荷容量 N C100 207 242 307 337 568 645 857 987 1109 静的横方向モーメント荷重 Nm M0Q 0.60 0.75 1.04 1.19 2.18 2.62 3.93 4.80 5.68 静的縦方向モーメント荷重 Nm M0L 0.40 0.61 1.13 1.46 1.76 2.40 5.15 7.55 10.4 動的横方向モーメント荷重 Nm MQ 0.45 0.52 0.66 0.72 1.59 1.81 2.40 2.76 3.11 動的縦方向モーメント荷重 Nm ML 0.30 0.42 0.72 0.88 1.25 1.66 3.14 4.34 5.69 重さ g 1.7 2.6 3.4 4.3 5.4 7.3 11.0 14.8 18.6 日本シュネーベルガー株式会社 〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-20-5 TEL 03-6435-7474 FAX 03-6435-7475 salesjapan@schneeberger.com www.schneeberger.com 40.4048/01/1020/JP/STO/SRO/Subject to technical changes