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超低摩擦ミニチュアスライド MSQシリーズ

製品カタログ

航空宇宙や半導体製造、検査アプリケーションでの真空環境下でも優れた直動案内性能を提供

ドイツ航空宇宙センターでも採用。超高真空下でのアプリケーションで高い実績のあるミニチュアスライドは以下の特長があります。

ケージずれ防止機構によりケージクリープ現象を防止し長期間にわたり安定した性能を発揮
ゴシックアーチプロファイル採用により高負荷容量に対応。
独自設計により最大速度3m/sと最大加速度300m/s2に対応
真空環境対応

このカタログについて

ドキュメント名 超低摩擦ミニチュアスライド MSQシリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.1Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 日本シュネーベルガー株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

Page1

ミニスライドMSQ

宇宙や半導体製造など真空 アプリケーション対応 ミニスライドMSQ 過酷な環境でも優れた信頼性により先端技術を支える シュネーベルガーのミニチュアスライド
Page2

Foliennummer 2

宇宙や半導体などの真空アプリケーションで高い実績  DLR(ドイツ航空宇宙センター)で採用  NASA仕様真空用潤滑剤採用 (NyeTorr™)  真空度は10-9 Paまで対応  Nye Torr6350EL、Braycote 600EF対応可能 用途実績  半導体製造検査装置用  火星探索機Rover用 製品特長  ケージコントロール機構によりケージクリープ現象を防止 高加速での使用や垂直方向の設置、連続駆動であっても常にケージが 中心に位置し、長期にわたり安定した性能を発揮  ゴシックアーチプロファイル採用 V型プロファイルに比べ最大15倍の負荷容量に対応。全体の質量を抑え ながら剛性の高い構造を実現  高速、高加速度での動作に対応 独自設計とケージセンタリング機構の採用により、最先端技術の要求を 満たし、最大速度3m/sと最大加速度300m/s2を実現  真空環境対応 超高真空環境に対応し、航空宇宙や半導体製造などの分野で高い実績 ケージ素材選択により真空度10-9 mbar対応 製品仕様 項目 単位 記号 MSQ7シリーズ MSQ9シリーズ MSQ12シリーズMSQ15シリーズ システム高さ mm 8 10 13 16 システム幅 mm 17 20 27 32 レール幅 mm 7 9 12 15 ストローク mm 28 ~ 58 32 ~ 66 45 ~ 70 66 ~ 102 システム長さ mm 30 ~ 70 40 ~ 80 50 ~100 70 ~ 130 ベアリング径 mm 1 1 1.5 2 静的負荷容量 N C0 1193 ~ 2864 1432 ~ 3341 2685 ~ 7518 4773 ~ 11456 動的負荷容量 N C100 609 ~ 1124 692 ~ 1252 1427 ~ 2934 2611 ~ 4820 静的横方向モーメント荷重 Nm M0Q 5.1 ~12.3 7.6 ~17.7 18.9 ~ 53.0 42.5 ~102.0 静的縦方向モーメント荷重 Nm M0L 5.0 ~21.8 6.7 ~ 28.7 15.7 ~ 90.1 36.7 ~ 166.6 動的横方向モーメント荷重 Nm MQ 2.6 ~ 4.8 3.7 ~ 6.6 10.1 ~ 20.7 23.2 ~ 42.9 動的縦方向モーメント荷重 Nm ML 2.5 ~ 8.5 3.8 ~ 10.7 8.3 ~ 35.1 20.1 ~ 70.1 重さ g 24.5 ~ 56.3 45.6 ~ 90.3 103.9 ~ 206.5 216.2 ~ 399.5 ※シリーズ個々の詳細仕様は当社カタログ「MINI-X」を参照下さい。 日本シュネーベルガー株式会社 〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-20-5 TEL 03-6435-7474 FAX 03-6435-7475 salesjapan@schneeberger.com www.schneeberger.com 40.4049/01/1020/JP/STO/SRO/Subject to technical changes