超低摩擦ミニチュアスライド　MSQシリーズ

宇宙や半導体製造など真空 アプリケーション対応 ミニスライドMSQ 過酷な環境でも優れた信頼性により先端技術を支える シュネーベルガーのミニチュアスライド

宇宙や半導体などの真空アプリケーションで高い実績  DLR(ドイツ航空宇宙センター)で採用  NASA仕様真空用潤滑剤採用 (NyeTorr™)  真空度は10-9 Paまで対応  Nye Torr6350EL、Braycote 600EF対応可能 用途実績  半導体製造検査装置用  火星探索機Rover用 製品特長  ケージコントロール機構によりケージクリープ現象を防止 高加速での使用や垂直方向の設置、連続駆動であっても常にケージが 中心に位置し、長期にわたり安定した性能を発揮  ゴシックアーチプロファイル採用 V型プロファイルに比べ最大15倍の負荷容量に対応。全体の質量を抑え ながら剛性の高い構造を実現  高速、高加速度での動作に対応 独自設計とケージセンタリング機構の採用により、最先端技術の要求を 満たし、最大速度3m/sと最大加速度300m/s2を実現  真空環境対応 超高真空環境に対応し、航空宇宙や半導体製造などの分野で高い実績 ケージ素材選択により真空度10-9 mbar対応 製品仕様 項目 単位 記号 MSQ7シリーズ MSQ9シリーズ MSQ12シリーズMSQ15シリーズ システム高さ mm 8 10 13 16 システム幅 mm 17 20 27 32 レール幅 mm 7 9 12 15 ストローク mm 28 ～ 58 32 ～ 66 45 ～ 70 66 ～ 102 システム長さ mm 30 ～ 70 40 ～ 80 50 ～100 70 ～ 130 ベアリング径 mm 1 1 1.5 2 静的負荷容量 N C0 1193 ～ 2864 1432 ～ 3341 2685 ～ 7518 4773 ～ 11456 動的負荷容量 N C100 609 ～ 1124 692 ～ 1252 1427 ～ 2934 2611 ～ 4820 静的横方向モーメント荷重 Nm M0Q 5.1 ～12.3 7.6 ～17.7 18.9 ～ 53.0 42.5 ～102.0 静的縦方向モーメント荷重 Nm M0L 5.0 ～21.8 6.7 ～ 28.7 15.7 ～ 90.1 36.7 ～ 166.6 動的横方向モーメント荷重 Nm MQ 2.6 ～ 4.8 3.7 ～ 6.6 10.1 ～ 20.7 23.2 ～ 42.9 動的縦方向モーメント荷重 Nm ML 2.5 ～ 8.5 3.8 ～ 10.7 8.3 ～ 35.1 20.1 ～ 70.1 重さ g 24.5 ～ 56.3 45.6 ～ 90.3 103.9 ～ 206.5 216.2 ～ 399.5 ※シリーズ個々の詳細仕様は当社カタログ「MINI-X」を参照下さい。 日本シュネーベルガー株式会社 〒105-0001 東京都港区虎ノ門3-20-5 TEL 03-6435-7474 FAX 03-6435-7475 salesjapan@schneeberger.com www.schneeberger.com 40.4049/01/1020/JP/STO/SRO/Subject to technical changes