高精度エアベアリング平坦回転ステージ A-63xシリーズ

PIglide RL エアベアリング平坦回転ステージ Friction-free, Motorized A-63x  モーションプラットフォーム直径： 150mm、200mm、300mm、350mm  ロープロファイル  偏心率および平面度 < 100 nm  マグネットプリロードによる静止時で のセルフロックオプション 製品概要 PIglide RLシリーズのダイレクトドライブ式 薄型回転ステージは、最高の精度と薄型デザインを両立させていま す。様々なオプションを組み合わせることで、ポイントツーポイントのインデキシングや等速スキャンに最適な ソリューションを実現します。RLステージは、優れた移動精度、平面度、wobble性能を備えています。 3相トルクモータ  ブラシレス  スロットレス  低コギングトルク アブソリュートエンコーダ（オプション) アブソリュートエンコーダは明確な位置情報を提供するため、位置を即座に把握することができます。これによ りスイッチオン時にリファレンス動作をする必要がないため、作業効率と安全性が向上します。 アクセサリーとオプション  インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ  真空フィードスルー  マグネットプリロードによる停止時セルフロック  ご要望に応じて開口部を提供  PIglideフィルターとエア供給キット  単軸または多軸のモーションコントローラとサーボドライブ  多軸/カスタマイズセットアップ  振動低減のグラナイトベースプレートとシステム 応用分野 光学アライメント、ウェーハ検査、ウェーハアライメント、計測技術、検査システム、キャリブレーション、ス キャニング。摩擦のない動きのおかげでパーティクルが発生しないため、PIglideステージはクリーンルームでの 使用に最適です。 01.04.2020

Specifications Motion A-634 A-635 A-637 A-638 Unit Tole- rance Travel range unlimited, unlimited, unlimited, unlimited, > 360° > 360° > 360° > 360° Motion platform diameter 150 200 300 350 mm Eccentricity (1) 200 150 100 100 nm Max. Flatness (1) 75 75 50 50 nm Max. Wobble (1) 2 2 1 1 μrad Max. Mechanical properties A-634 A-635 A-637 A-638 Unit Tole- rance Load capacity, axial (2) 190 320 600 1200 N Max. Load capacity, radial (2) 40 80 150 200 N Max. Load torque, M (2) X,Y 4.5 12 50 130 Nm Max. Moment of inertia 6640 23400 119610 152080 kg·mm² Moved mass 1.9 3.6 7.6 10.4 kg Overall mass 4.6 7.5 17 23 kg Guide type Air bearing, Air bearing, Air bearing, Air bearing, magnetic preload magnetic preload magnetic preload magnetic preload Drive properties A-634 A-635, A-637, A-638 Unit Tole- rance Drive type Torque motor, 3-phase, Torque motor, 3-phase, brushless, ironless, slotless brushless, ironless, slotless Intermediate circuit voltage 48, nominal 48, nominal 80, max. 80, max. V DC Peak current 6.9 13.9 A Max. Nominal current 2.3 4.5 A Max. Peak torque 4.7 8.5 Nm Max. Nominal torque 1.6 2.8 Nm Max. Torque constant 0.59 0.66 Nm/A Typ. Resistance phase-phase 6.7 4.5 Ω Typ. Inductance phase-phase 0.9 0.6 mH Typ. Back EMF phase-phase 71 80 V/kRPM Typ. 01.04.2020

Positioning A-63x.A100 A-63x.B100 Integrated sensor Incremental angle-measuring system Absolute angle-measuring system Sensor signal Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C A-634: 23600 Lines/revolution A-635: 31488 A-637: 55040 – A-638: 31488 Velocity (3) 500 rpm max. 500 rpm max. A-634: 0.06 µrad (4) A-635: 0.05 µrad (4) Sensor resolution 0.0015 µrad A-637: 0.03 µrad (4) A-638: 0.05 µrad (4) Bidirectional repeatability ± 4 µrad ± 4 µrad Accuracy, with error compensation (5) ± 8 µrad ± 8 µrad Reference switch 1 / revolution, differential pulse over one sensor signal period, 1 V peak-peak – Miscellaneous A-63x Operating pressure (6) 75 to 85 psi (515 to 585 kPa) Air consumption < 2 SCFM (56 SLPM) Clean (filtered to 1.0 μm or better) - ISO 8573-1 Class 1 Air quality Oil free - ISO 8573-1 Class 1 Dry (-15 °C dew point) - ISO 8573-1 Class 3 Materials Hardcoat aluminum, stainless steel mounting hardware (1) Dependent on the quality of the underlying surface, the payload, orientation, and forces that act on the stage from the outside. Please contact PI for application-specific parameters. The specified values are static (no rotary motion during measuring) and without load. (2) The loads listed assume a supply pressure of 550 kPa (80 psi). Please contact PI if other pressures are required. (3) May be limited by the payload, payload imbalance, controller or drive. (4) Assumes 4096x interpolation. Contact PI for the use of other factors. (5) The specified values are based on error compensation controlled by the controller. The stage must be ordered with an A-8xx series controller from PI to reach these values. Accuracy values assume short-term duration and do not consider the long-term effects of thermal drift on the stage. (6) To protect the stage against damage, it is recommended to connect an air pressure sensor to the Motion-Stop input of the controller. Ask about customized versions. 01.04.2020

Drawings / Images A-634.x100, dimensions in mm 01.04.2020

A-635.x100 , dimensions in mm 01.04.2020

A-637.x100, dimensions in mm 01.04.2020

A-638.x100, dimensions in mm Ordering Information A-634.A100 PIglide RL rotation stage, air bearing, 150 mm motion platform diameter, low height, angle measuring system with sin/cos signal transmission, slotless, brushless 3-phase torque motor A-634.B100 PIglide RL rotation stage, air bearing, 150 mm motion platform diameter, low height, absolute angle-measuring system with BiSS-C signal transmission, slotless, brushless 3-phase torque motor A-635.A100 PIglide RL rotation stage, air bearing, 200 mm motion platform diameter, low height, angle measuring system with sin/cos signal transmission, slotless, brushless 3-phase torque motor 01.04.2020

A-635.B100 PIglide RL rotation stage, air bearing, 200 mm motion platform diameter, low height, absolute angle-measuring system with BiSS-C signal transmission, slotless, brushless 3-phase torque motor A-637.A100 PIglide RL rotation stage, air bearing, 300 mm motion platform diameter, low height, angle measuring system with sin/cos signal transmission, slotless, brushless 3-phase torque motor A-637.B100 PIglide RL rotation stage, air bearing, 300 mm motion platform diameter, low height, absolute angle-measuring system with BiSS-C signal transmission, slotless, brushless 3-phase torque motor A-638.A100 PIglide RL rotation stage, air bearing, 350 mm motion platform diameter, low height, angle measuring system with sin/cos signal transmission, slotless, brushless 3-phase torque motor A-638.B100 PIglide RL rotation stage, air bearing, 350 mm motion platform diameter, low height, absolute angle-measuring system with BiSS-C signal transmission, slotless, brushless 3-phase torque motor 01.04.2020