V931　ボイスコイル駆動　TipTiltミラーステージ

ハイダイナミックスPIMag®Voice Coil Tip/Tiltプラットフォーム 高速ステアリングミラー V-931  ビームの偏向角度　最大 8°  共通の回転中心を持つ直交する2つのチッ プ/チルト軸  パラレルキネマティクスによる両軸の同 一動特性  コンパクトなデザイン  フレクシャーによる高耐久性と無摩擦  リニアエンコーダによる非接触直接位置 測定 PIMag® voice coil motor ボイスコイルモーターはダイレクトドライブです。ダイレクトドライブでは、カップリング、ドライブ スクリュー、ギアヘッドなどの機械的な伝達要素を使わずに、駆動素子の力を直接、移動する負荷に伝 えます。ボイスコイルドライブは、磁界のエアギャップ内に配置された永久磁石と巻線体で構成されて いる。巻線体に電流が流れると、永久磁石の磁界の中を移動します。軽量で摩擦のない駆動原理によ り、ボイスコイルドライブは、限られた移動範囲で高い動特性と高速性を必要とするアプリケーション に特に適しています。また、ヒステリシスの影響を受けないため、高いスキャン周波数と高精度位置決 めが可能です。 パラレルキネマティクスによるハイダイナミクス多軸動作 パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエーターが共通のプラットフォーム上で 動作します。最小限の質量慣性とすべての軸の同一の設計により、高速でダイナミックであるにも関わ らず精密な動作が可能です。 Application fields  ビーム安定化  衛星通信  画像処理・安定化  レーザー微細加工。レーザーチューニング。レーザースキャニング／大きな偏向角ビームステアリング  試験・検査： AOI（自動光学検査）。非接触プロファイロメトリー。センサーテスト  光学：光学フィルター／スイッチ。オプティカルトラッピング。ラスタースキャン。トラッキング 26.01.2021

Specifications V-931.01 Unit Active axes A (θX), B (θY) Motion and positioning V-931.01 Unit Integrated sensor 4 x optical linear encoder Tip/tilt range ± 35 (± 2°) mrad Minimum incremental motion < 1 µrad Bidirectional repeatability < 2 µrad Reference accuracy ≤ 50 µrad Linearity < 0.2 % Step response < 20 (1) ms 3dB small signal bandwidth ≥ 75 (2) Hz Mechanical properties V-931.01 Unit Resonant frequency, unloaded 29 Hz Cross-axis coupling ≤ 1 % Orthogonality ≥ 89 ° Pivot point (center of rotation) (3) 3.2 mm Max. mirror diameter 25.4 mm Max. payload 20 g Max. moment of inertia around the center axis on back of the mirror mount 1500 g × mm² Miscellaneous V-931.01 Unit Operating temperature range 5 to 40 °C Overall mass (incl. cable and connector) 290 g Mass without cable and connector 135 g Cable length 1 m Sensor/voltage connector D-sub 15 (m) Recommended controllers C-413.2x (1) 44 mrad, 2 % settling band, payload: 1-inch mirror 5 mm thickness (2) 1 mrad, payload: 1-inch mirror 5 mm thickness (3) Gap below platform's mounting surface The specifications apply to 22 °C ±3 °C. The specifications can deviate outside of this range. Ask about customized versions. 26.01.2021

Drawings / Images V-931.01, dimensions in mm V-931.01: Measurement for proving the minimum incremental motion (< 1 µrad) Ordering Information V-931.01 PIMag® tip/tilt platform, voice coil motor, 4° rotation range Mirrors and mirror holders available on request 26.01.2021