コンパクトデジタルピエゾコントローラー

コンパクトでコスト効果のデジタルピエゾコントローラー 静電容量型センサー用、1軸、モニタリング機能付き E-709.1C1L  アプリケーションに最適化なダイナミ クス動作向けの多くコンフィグレー ションオプション  デバイス温度のアクティブ制御  大きな安全性とモニタリング機能  リニアリティエラー︓最大 0.01 % コストパフォーマンスに優れた高性能コントローラー 静電容量式センサーを用いたピエゾベースの単軸ナノポジショニングシステム向け。出力電圧︓-30～ 130V。ダイナミックなアプリケーションに最適なアンプとセンサー評価。デジタルリニアライズ機能 搭載。デジタルサーボコントローラは、オプションでプロファイルジェネレータやポジションフィード フォワード制御と組み合わせることができます。ウェーブジェネレーター。データレコーダ。オートゼ ロ。トリガーI/O。PI社のIDチップを全てサポート。機能ブロックによるコンパクト設計でOEMタイプ 向けも容易 温度管理 アクティブな温度制御により、センサーエレクトロニクスの高い位置安定性を実現。さまざまな動作条 件に対応可能。電源を入れてから10分以内に温度が安定。ウォームアップ期間が短いため、連続運転 が不要で、必要なエネルギーも減ることで、ナノポジショニングシステムのライフタイムを延ばせま す。 安全性とモニタリング機能 アンプとセンサーの電子機器の過熱保護 短絡防止機能 。継続にハードウェアベースの電圧、電流など の入出力値および内部温度の連続測定。静的・動的評価のための高周波測定。特定のクエリと値の記録 により、リモート診断が可能。 インターフェース PI General Command Set（GCS）を介したコマンド用のUSBおよびRS-232/RS-485。位置の指定と 照会のためのリアルタイムSPIインターフェース。 位置指定や現在地の問い合わせが可能。高帯域のアナログ制御入力またはセンサー入力。センサーモニ ターや外部アンプ制御用のアナログ出力機能。アナログ出力 差動入出力およびSPIインターフェースに より、サーボサイクルの同期が可能。 ソフトウェアインターフェース 豊富なソフトウェアに対応︓NI LabVIEW, C, C++, MATLAB, Pythonなど. µManager、MetaMorph に対応。 PIMikroMove ユーザーソフトウェア 03.09.2020

Application fields  多光子顕微鏡、共焦点顕微鏡  3-D イメージング  スクリーニング  オートフォーカスシステム  表面分析  ウェハ―検査 E-709.1C1L Function Digital controller for single-axis piezo nanopositioning systems Axes 1 Processor DSP 32-bit floating point, 200 MHz Supported functionality Wave generator, data recorder, autozero, trigger I/O (short-circuit proof), ID chip (short-circuit proof), temperature management for sensor electronics and amplifier Servo controller and sensor E-709.1C1L Controller type PID, 2 notch filters, profile generator for velocity and acceleration (trapezoidal profile), position feedforward control Sampling rate control 20 kHz, externally synchronizable (100 kHz/SPI LDAT) Sampling rate sensor 20 kHz Sensor type Capacitive Linearization 4th order polynomials Sensor bandwidth (-3 dB) 6.7 kHz Sensor resolution 19-bit Warm-up phase after switching on <10 min (at 20 °C ambient temperature and 55 °C target temperature) Amplifier E-709.1C1L Output voltage -30 V to 130 V Peak current (< 40 ms) 200 mA Average output current, typical 100 mA Peak power* 28 W Average output power* 14 W Current limitation Short-circuit proof Resolution DAC 24-bit Interfaces and operation E-709.1C1L USB 2.0: Mini B Communication interfaces RS-232: D-sub 9 (m) or RS-485: HD D-sub 26 (f) SPI: DisplayPort Piezo / sensor connector D-sub special 7W2 Analog input SMB; -10 to 10 V (configurable) Analog output SMB; -10 to 10 V (configurable) 03.09.2020

Interfaces and operation E-709.1C1L HD D-sub 26 (f) 4 multipurpose digital inputs (TTL, programmable) 4 multipurpose digital outputs (TTL, programmable) I/O connector 1 servo cycle output (TTL) 1 reset input (TTL) 1 differential input and 1 differential output for the external synchronization of the servo cycle (100 kHz) Differential lines RxD and TxD for RS-485 Command set PI General Command Set (GCS) User software PIMikroMove Application programming interfaces API for C / C++ / C# / VB.NET / MATLAB / Python, drivers for NI LabVIEW; supported by MATLAB, MetaMorph, µManager, Andor iQ On-board recording of temperature, input and output voltages, and current consumption of different Monitoring components Recording with 20 kHz and 15-bit resolution Query by GCS command and recording by data recorder Display and indicators Status LED, ON-target/overflow LED Miscellaneous E-709.1C1L Operating temperature range 5 to 40 °C Dimensions 160 mm × 104 mm × 44 mm Mass 415 g Operating voltage 24 V DC (in the scope of delivery: external power adapter) Max. power consumption 40 W * At a nominal peak-peak voltage of 140 V. Ask about customized versions. Drawings / Images E-709.1C1L: dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point. 03.09.2020

E-709.1C1L: Operating limits (open loop) with various piezo loads, capacitance values in µF Ordering Information E-709.1C1L Digital piezo controller, 1 axis, -30 to 130 V, capacitive sensor, monitoring functionality, benchtop device 03.09.2020