対物レンズフォーカス用ボイスコイルPIFOC V-308

LMP - レーザー微細加工 LMP - レーザーアブレーション ウェーハ検査 荷重補正機能付きハイダイナミクス対物レンズ駆動 W W W. P I . W S

V-308 ボイスコイル PIFOCの紹介 汎用性の高いZ軸ポジショナー 高い生産性、高速かつ高い信頼性 ゲノムシーケンスから多光子蛍光顕微鏡、深部組織検 2光子または3光子蛍光顕微鏡法 査、レーザー材料加工、ウェーハ検査、研究用磁気ピ ンセットまで、顕微鏡や産業界の数多くのアプリケー ションでは、大きな移動範囲、高い動特性、精度を備 えた垂直方向の位置決めシステムが求められていま す。新しいボイスコイルPIFOC「V-308」では、これら の要求をすべて満たす磁気ダイレクトドライブベース のソリューションを提供します。 このステージは、特別に開発されたC-414コントローラ （画像参照）で、実績のあるPIMicroMoveユーザーイ ンターフェースを使って操作することができます。ま た、複数のACSコントローラ、すなわちSPiiPlusコント ローラとNPMpmドライバ/アンプを組み合わせて、よ 深部組織多光子蛍光顕微鏡 り高いダイナミクスを実現することもできます。 主な特徴 ゲノムシーケンス お客様のアプリケーションに最適なパフォーマンス ハイダイナミクス 柔軟な使用方法と取り付け ユーザー調整可能な重量力補償：～1kg ユーザー調整可能なトラベルレンジ/ストップ：1mm～7mm 加速度：8m/s² 対物レンズを簡単に交換できるアダプターリング 最大速度: 200 mm/s 光学プレートにドライブを取り付けるためのアダ ステップ＆静定時間 : <15 ms プタープレート @100 nm and 250 nm; ±15 nm 水平または垂直に設置できる対物レンズホルダー 高精度動作 コンパクトなデザインと実績のある精密部品 最小 ステップサイズ： 10 nm デジタルスライドスキャン 双方向再現性: 25 nm (100 nm時) コンパクトな外形寸法。87×77×30mm（H/W/D） ポジションノイズ： 3 nm アンチクリープシステム付きクロスローラベアリング 信頼性の高いボイスコイルモーター 実績のある PIOne リニアエンコーダ W W W. P I . W S

V-308 ボイスコイル PIFOCの紹介 主な特徴 汎用性の高いZ軸ポジショナー 高い生産性、高速かつ高い信頼性 豊富な 短いデータ取得時間/高速スキャンによる高い生産性 アクセサリー 2光子または3光子蛍光顕微鏡法 正確な動作と位置決めによる信頼性の高いパフォーマンス ユーザーが調整可能な重量補償により、停電時にもサンプル/ ワークの高い安全性 対物レンズ取り付け用ア ダプターリング 自由度のある使い方 簡易に組み込み 短納期対応 エンジニアとアプリケーションの専門家によるサポート 長期保証を標準装備 光学台やプレートに取り 深部組織多光子蛍光顕微鏡 付けるためのアダプター プレート 対物レンズを垂直または 水平に取り付けるための ホルダー ゲノムシーケンス お客様のアプリケーションに最適なパフォーマンス ハイダイナミクス 柔軟な使用方法と取り付け ユーザー調整可能な重量力補償：～1kg ユーザー調整可能なトラベルレンジ/ストップ：1mm～7mm 高精度動作 コンパクトなデザインと実績のある精密部品 デジタルスライドスキャン M O T I O N | P O S I T I O N I N G

V-308 ボイスコイル PIFOCの紹介 Microscopy Applications 汎用性の高いZ軸ポジショナー 高い生産性、高速かつ高い信頼性 2光子または3光子蛍光顕微鏡法 2光子または3光子蛍光顕微鏡法では、2つの光子（場合によっては3 つの光子）が組織深部の赤外領域で可視蛍光を励起します。赤外光 を2光子または3光子蛍光顕微鏡では、2つの光子（場合によっては3 つ利用することで、より深い浸透性が得られるため、それぞれ大き な移動範囲が必要となります。例えば、細胞の器官や代謝過程など を調べることができます。 深部組織多光子蛍光顕微鏡 Deep Tissue Multi-photon Fluorescence Microscopyは、2光子蛍光 顕微鏡のサブタイプです。ここでは、厚さ6mmのZスタックが作成 され、それに対応してZ軸ポジショナーに要求する移動範囲も大きく なっています。このタイプの顕微鏡は、例えば、脳内のニューロン の相互接続を示すコネクトームの研究に 応用できます。一般的に、 倒立共焦点顕微鏡には、最大800gの質量を持つ特殊な対物レンズが 使用されます。 ゲノムシーケンス お客様のアプリケーションに最適なパフォーマンス ゲノム解析に欠かせないのが、いわゆる「スクエンシング・バイ・ シンセシス」という方法です。この方法では、蛍光マーカーを付け たヌクレオチドを一本のDNAに徐々に組み込んでいくことで、「合 成」を行います。塩基対の組み換えが起きた場合、4つの異なる塩基 ハイダイナミクス 柔軟な使用方法と取り付け ユーザー調整可能な重量力補償：～1kg ユーザー調整可能なトラベルレンジ/ストップ：1mm～7mm 対の組み合わせごとに、特徴的な蛍光色のシグナル（'occurrence'） が発生されます。これらのシグナルは顕微鏡で検出されます。信号 は弱く、また非常に短命であるため、検出とイメージングのプロセ スは非常に高速でなければならない。そのためには、レンズの被写 界深度内で、光軸に沿って発生する高さに対物レンズを正確に合わ せなければなりません。ここで必要な移動範囲は最大5mmです。 高精度動作 コンパクトなデザインと実績のある精密部品 デジタルスライドスキャン このアプリケーションは、主に日常的な検査で得られる組織サンプ ルのスキャンを広く自動化することにより、デジタルサンプル画像 を作成・実現するものです。これにより、世界中の専門家による画 像解析が可能となり、サンプルを何度も顕微鏡にかける必要がなく なります。例えば、治療後の経過観察にも重要です。 必要とされる移動範囲は1～2mmと他のアプリケーションほど大き くはありませんが、フォーカス時の高いダイナミクスが非常に重要 です。 M O T I OWN W |W .PPOI S. WI TSI O N I N G

Industrial Applications LMP - レーザー微細加工 太陽電池、電子デバイス、医療用マイクロエレメントなどの 製造に使用されるレーザー微細加工プロセスの多くは、高強 度と微細な形状を得るために小さな焦点が必要です。V-308 は、焦点の高さをナノメートル単位で制御することで、高品 質なレーザー微細加工を可能にします。不規則なワーク表面 であっても、V-308は必要な焦点高さに応じてフォーカス光学 系を素早く補正し、品質の低下を防ぎます。補正には、プリ キャラクタリゼーションや高速オートフォーカスセンサーを 使用することによって、狭い焦点深度が要求される工程での 大量生産が可能になります。 LMP - レーザーアブレーション シリコンやサファイアなどのエンジニアリング・セラミック スの表面をレーザーでアブレーションするには、材料除去と 限られたダメージにする正確な制御になる小さな集光点を確 保するため、狭い焦点深度が必要です。レーザースポットは フルエンス（単位面積当たりに照射されるエネルギー）を定 義し、アブレーションの閾値を制御するためにはその調節が 必要です。材料が除去されると、加工される表面と現在の焦 点位置の間の距離が変化します。V-308では、焦点位置を調 整することで、材料の深さを正確にコントロールすることが でき、さらに、加工効率やフィーチャ内の側壁の品質を最適 化することもできます。 ウェーハ検査 半導体材料やプロセスの進歩で、半導体デバイスの高集積 化・高密度化が進むにつれ、臨界欠陥サイズは小さくなって きています。ウェーハ表面のトポロジーに影響を与える要因 は2つあります。IC製造時に発生する表面張力と、表面の粗さ です。高品質な表面画像を迅速に得るために、欠陥検査ツー ルは高解像度かつ高速な検査速度で動作する必要がありま す。そのためには、正確で高速なオートフォーカス能力が重 要です。V-308では、焦点深度を維持するための高速かつ正確 荷重補正機能付きハイダイナミクス対物レンズ駆動 な補正が可能で、また、移動範囲が広いため、粗動ステージ を追加する必要がないという利点もあります。 W W W. P I . W S

M O T I O N | P O S I T I O N I N G LMP - レーザー微細加工 Headquarters ACS Motion Control PI Subsidiaries LMP - レーザーアブレーション GERMANY ISRAEL USA (East) & CANADA USA (West) & MEXICO Physik Instrumente (PI) ACS Motion Control Ltd. PI (Physik Instrumente) L.P. PI (Physik Instrumente) L.P. GmbH & Co. KG Ramat Gabriel Industrial Park Auburn, MA 01501 Irvine, CA 92620 Auf der Roemerstrasse 1 1 Hataasia St. www.pi-usa.us www.pi-usa.us 76228 Karlsruhe Migdal HaEmek, 2307037 Phone +49 721 4846-0 POB 984 USA (San Francisco Bay Area) UK & IRELAND Fax +49 721 4846-1019 Phone +972-4-6546440 PI (Physik Instrumente) L.P. P I (Physik Instrumente) Ltd. info@pi.ws Fax +972-4-6546443 Sausalito, CA 94965 Cranfield, Bedford www.pi.ws info@acsmotioncontrol.com www.pi-usa.us www.physikinstrumente.co.uk www.acsmotioncontrol.com PI miCos GmbH ITALY NETHERLANDS Freiburger Strasse 30 79427 Eschbach Physik Instrumente (PI) S. r. l. PI Benelux B.V. Phone +49 7634 5057-0 Bresso Sint-Oedenrode Fax +49 7634 5057-99 www.pionline.it www.pi.ws/benelux info@pimicos.com www.pi.ws FRANCE SPAIN PI France SAS Micos Iberia S.L. PI Ceramic GmbH Aix-en-Provence Vilanova i la Geltrú Lindenstrasse www.pi.ws www.pimicos.es 07589 Lederhose Phone +49 36604 882-0 JAPAN ウェーハ検査 Fax +49 36604 882-4109 info@piceramic.com PI Japan Co., Ltd. PI Japan Co., Ltd. www.piceramic.com Tokyo Osaka www.pi-japan.jp www.pi-japan.jp CHINA © Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Physik Instrumente Physik Instrumente All contents, including texts, graphics, data etc., as well as their layout, (PI Shanghai) Co., Ltd. (PI Shanghai) Co., Ltd. are subject to copyright and other protective laws. Any copying, modi- Shanghai Beijing fication or redistribution in whole or in parts is subject to a written www.pi-china.cn www.pi-china.cn permission of PI. SOUTHEAST ASIA TAIWAN Although the information in this document has been compiled with 荷重補正機能付きハイダイナミクス対物レンズ駆動 the greatest care, errors cannot be ruled out completely. Therefore, PI (Physik Instrumente) Physik Instrumente (PI) we cannot guarantee for the information being complete, correct and Singapore LLP Taiwan Ltd. up to date. Illustrations may differ from the original and are not Singapore Taipei binding. PI reserves the right to supplement or change the information www.pi-singapore.sg www.pi-taiwan.com.tw provided without prior notice. For ID / MY / PH / SG / TH / VNM KOREA PI Korea Ltd. Seoul Follow us on: www.pikorea.co.kr W W W. P I . W S BRO76E V-308 Voice Coil PIFOC 03/2021 0.0. Subject to change without notice. © Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG 2021