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【カタログ】ナノうねり計測ユニット/レンズユニット波面計測システム LUCAS

製品カタログ

安定したリアルタイム波面計測を自由な構成で実現できます

【特長】
◆LUCAS-NUK
 安定したリアルタイムうねり計測を低価格で実現したシステムです。
 高さの計測範囲が広く、白色干渉計では一度に計測が困難なうねりを計測できます。
 小型・軽量で様々な機器への組み込んで使用できます。
 リアルタイム[0.1sec(max)]なうねり計測ができます。
◆LUCAS
 レンズユニットの検査・調整システムです。
 ダイナミックレンジが広く干渉計では困難な大きな収差も計測できます。
 ベースユニットには、波面センサに加え、オートコリメータや計測光として使用できるレーザ光源、調整を容易にするアライメントカメラを内蔵しています。
 必要に応じて各種アクセサリ(ビームエキスパンダ、集光レンズ、参照球面など)を選択できます。

【使用例】
◆LUCAS-NUK
 半導体ウェーハのうねり計測
 平面基板上の金属薄膜のうねり計測
 金属表面やガラス表面のうねり計測
 ハードディスク表面のうねり計測
◆LUCAS
 非球面レンズや凹凸レンズの検査
 レンズユニットや光学デバイスの調整
 平面物の反射、透過波面の検査

このカタログについて

ドキュメント名 【カタログ】ナノうねり計測ユニット/レンズユニット波面計測システム LUCAS
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 574.3Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 パルステック工業株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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LUCAS Lens Unit Check and Adjustment System 安定したリアルタイム波⾯計測を⾃由な構成で実現 LUCASベースユニット LUCAS横型システム例 LUCAS縦型システム例 ■ 概要 Shack-Hartmann⽅式波⾯センサを使⽤した、レンズユニットの検査・調整システムです。 ⾼速性と安定性を活かし、タクトが要求される⽣産ラインへの導⼊に適しています。 お客様のご要望に応じて必要な機能を⾃由に選択できるセミオーダータイプの装置です。 ■ 特⻑ ・ダイナミックレンジが広く、⼲渉計では困難な⼤きな収差も計測できます。 ・⾼速演算処理により30Hz(max)のリアルタイム波⾯収差計測が可能です。 ・計測⽤光源はお客様の要望に応じてカスタム対応できます。(マルチ波⻑対応可能) ・振動や温度の影響を受けにくいので、⽣産⼯程でも安定した計測ができます。 ・量産⼯程向けの機能・操作性を考慮した波⾯計測ソフトウェアWFS2を提供できます。 ■ 応⽤事例 ・⾮球⾯レンズ、凸凹レンズの検査 ・レンズユニット・光学デバイスの調整 ・平⾯物の反射および透過波⾯検査
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■ LUCAS仕様例 レンズ評価⽤システム 項⽬ 仕様 測定項⽬ 総合波⾯収差 (PV, Rms)、Zernike多項式係数(最⼤ 36項)、Seidel収差係数 測定精度(Rms)※1 λ/100以下(3σ) 測定再現性(Rms)※2 λ/300以下(3σ) 測定収差範囲(Seidel Sa3)※3 50λ Coeff. 被験レンズ測定有効径 φ4〜 9.8mm ※エキスパンダーオプションにて変更可 被験レンズ測定最⼤ NA 0.85 最⼤測定更新速度※4  30Hz 測定光源波⻑ 635nm±10nm ※レーザオプションにて変更可 ⾼速波⾯センサ PWS-1000 1インチサイズ(パルステック⼯業製) 搭載波⾯センサ ※その他のモデルにも変更可能です。 制御・解析ソフトウェア WFS2(パルステック⼯業製) ※1:波⾯センサ単体における弊社所有の⼲渉計との⽐較結果となります。 ※2:20回の平均化データを 10回取得した結果となります。 ※3:計算値であり、他の収差がある場合は異なった結果となることがあります。 ※4:ご使⽤されるパソコンのスペックによって影響を受けます。 3軸ステージ(X,Y,Z) 参照球⾯ ソフトウェアWFS2画⾯ 635nmピグテール光源 被験レンズ LDコントローラ 2軸ステージ(θx,θy) LUCASベースユニット 電源ケーブル アライメントモニタ 電源ケーブル ケーブル(アライメントモニタ) (アライメントモニタ⽤) 電源ケーブル USB3.0ケーブル USBキー アライメントカメラ PWS-1000 PC LUCASシステムブロック図例 LUCAS外観 ■ LUCASオプション お客様のご要望に応じて最適なシステムを提案いたします。 ・光源波⻑:375nm~ 1060nmより選択できます。(375nm, 405nm, 450nm, 473nm, 488nm, 520nm, 635nm, 660nm, 785nm, 850nm, 980nm, 1060nm, etc) ・波⾯センサ:当社波⾯センサ製品からお客様のご要望に応じて最適な機種を提案します。 ・被験物配置:縦置き、横置きご希望の配置を対応します。※被験物の保持⽅法については別途お打合せが必要です。 ・被験物光束径:被験物の光束径に応じて、最適な測定光源径、倍率光学系、波⾯センサを提案します。 ・ソフトウェア機能:お客様の⼯程で必要な機能等を標準ソフトウェアにプラグインとして機能追加できます。 その他ご不明な点等ありましたらお気軽にご相談ください。 2019.4.1000