【カタログ】波面収差を瞬時に計測　高速波面センサPWSシリーズ

⼲渉計では困難な波⾯収差計測の解決ツール ⾼速波⾯センサシリーズ 波⾯収差を瞬時に計測 フルサイズ波⾯センサ ⼩型波⾯センサ 計測ソフトウェア PWS-1000 PWS-500 WFS2 概要 光源や光学素⼦の収差をリアルタイムに計測する Shack-Hartmann ⽅式の波⾯センサです。 Zernike 多項式（最⼤ 36 項）、Seidel 収差係数、総合波⾯収差（PV、Rms）を計測します。 ⼲渉縞、位相分布（2D/3D)、点像強度分布、強度分布等をグラフィック表⽰します。 豊富なラインアップからお客様の⽤途に最適なセンサをご提案します。 特⻑ ・ダイナミックレンジが広く、⼲渉計では困難な⼤きな収差が計測できます。 ・可⼲渉性の影響を受けないため、様々な波⻑や光源（LD、LED 等）での計測ができます。 ・⼩型、軽量なので様々な機器へ組み込んで使⽤できます。 ・振動や温度の影響を受けにくいので、⽣産⼯程でも安定した計測ができます。 ・ハートマノグラム画像データよりオフライン解析を実⾏できます。 ・ユーザ任意の判定値設定により合否判定できます。 応⽤事例 ・各種 LD、LED 光源の波⾯収差計測システム 実施例）レーザ加⼯光学系 ・組レンズ、単レンズ、その他光学素⼦の透過波⾯収差計測システム 実施例）撮像光学系、照明光学系 ・鏡⾯体（球⾯、平⾯）の反射波⾯収差計測システム

⾼速波⾯センサラインアップ基本仕様 型式 PWS-500 PWS-1000 名称 1/3インチ（⼩型） 1/1.8インチ（標準） 1インチ フルサイズ 特⻑ 低コスト 標準性能 ⾼ダイナミック ⼤⼝径・⾼分解能 測定波⻑※1 400～800 nm（～1100 nm※ 2) 測定有効径　 φ 2.0～3.5mm φ 2.0～5.1mm φ 4.0～9.8mm φ 2.0～24 .0mm 標準レンズアレイ数 H×V 30× 23 45× 34 41× 32 214 × 160 標準レンズアレイピッチ 150 μm 150 μm 300 μm 150 μm 標準レンズアレイ焦点距離 12mm 12mm 4mm 12mm ダイナミックレンジ(Sa3)※3 6λ Coef . 8λ Coef . 103λ Coef . 41λ Coef . 測定精度(3σ )※4 ＜1/100λ Rms 測定再現性(3σ )※4 ＜1/500λ Rms ＜1/500λ Rms ＜1/300λ Rms ＜1/200λ Rms 最大データ更新速度※5 20Hz 18Hz 30Hz 6Hz 通信インターフェース USB3.0 動作温度範囲 15～30℃ 寸法W×D×H (mm ) 29× 75× 29 46× 68× 37 62× 62× 80 62× 68× 80 ※1：測定光源毎にリファレンスの取得が必要です。なお、375nm/405nm/650nm/780nm の基準光源による校正オプションを選択できます。 ※2：オプションにて対応 ※3：波⻑ 650nm、最⼤測定有効径時の単⼀収差のみに適⽤。なお、測定有効径や他収差成分の影響を受けます。 ※4：被測定光の光量分布、波⾯収差の絶対値、測定環境等の影響を受けます。 ※5：ご使⽤されるパソコンのスペックによって影響を受けます。 システム構成図 USB3.0 ケーブル AC アダプタ USB ドングル ※PWS-500 では使⽤しません。 市販パソコン ソフトウェアライセンス ※製品には含まれません。 ⾼速波⾯センサ 計測ソフトウェア WFS2 特記事項 ・SDK（Software Development Kit）オプションにより、お客様独⾃のアプリケーションを構築できます。 Windows10 対応 ( ⽇本語、英語対応 ) DirectX End-User Runtime がインストールされている必要があります。 Microsoft Visual C++2008（⽇本語版）の開発環境にて動作確認を⾏っております。 ・波⾯センサを搭載したシステムも得意としておりますので、お気軽にご相談ください。 ・カスタムレンズアレイ対応により、お客様のご要望に応じたセンサを提案します。 レンズアレイピッチ：100μm 〜 300μm レンズピッチ⼩：⾼分解能計測向け / レンズピッチ⼤：⾼ダイナミックレンジ計測向け レンズアレイ焦点距離：f4mm 〜 f12mm 短焦点距離：⾼ダイナミックレンジ計測向け / ⻑焦点距離：⾼分解能計測向け 2019.4.1000