モデルQGAガス質量分析計

HIDEN ANALYTICAL社 QGA Quantitative Gas Analyser A compact bench-top system for real-time gas and vapour analysis モデルQGAガス質量分析計 ガス種・蒸気種のリアルタイム分析向けのコンパクト卓上分析装置

Detailed product information / introduction 製品紹介 触媒研究 環境ガス分析 発酵オフガス分析 ダイナミックレンジ– 100 ppb ～ 100% 複数ガス種のリアルタイム分析用に開発されたコンパクトな卓上ガス分析装置 導入例: 特徴： XXガス反応研究 XX複数ガス種・蒸気種分析– mass範囲 200 am/z (300 m/zオプション) XX触媒研究 XX連続サンプリング用の加熱キャピラリーインレット(2m長) XXガスサンプル流量: 16 atm cc / min (標準) XX反応速度研究 : 1atm cc / min (オプション) XXTPD/TPR/TPO XX高感度：～100 ppb XXガス濃度変化に対し応答時間300 ms未満で検出 XXサーマル質量分析 XX高速データ収集: 最大毎秒650測定回数 XXN2/CO2混合ガス内の低量CO分析向けのCO検出器オプション XXガス純度分析/汚染調査 XXソフトイオン化モードによる低質量数種スペクトルフラグメンテーション XXプロセス特性評価 　　　と取得データ分析 XXサンプリング用, 追加装備オプションラインアップ XX発酵オフガス分析 XX発生ガス分析用のTGAカスタムインターフェース XX環境ガス分析 XX燃焼研究 XXCVD/MOCVD instruments for evolved gas analysis TGA-MS Inlet

Software ソフトウェア QGA MASsoft Professional Professional – 概要 メインスクリーン 自動 質量スペクトラム トレンド分析 分析セットアップ (MID セットアップ) QGA Professional MASsoft Professional QGAプロフェッショナル マスソフト プロフェッショナル 質量範囲0.1 ppm～100％濃度で最大32種のガス種・蒸気種の ﾏｽｿﾌﾄﾌﾌﾟﾛﾌｪｯｼﾅﾙは質量分析計の各種設定、分析 連続リアルタイム定量分析を実施して頂けます。分析用途に データ管理、外部デバイス接続を制御するマルチレ 合わせてご利用頂けるソフトウェアパッケージとなっています。 ベルソフトウェアパッケージです。 特徴 – QGA プロフェッショナルソフトウェア 特徴 – MASsoft プロフェッショナルソフトウェア XXバックグラウンド補正付き自動キャリブレーション XXプロファイル、バー、および複数イオン検出（MID）モード XX重複スペクトルの自動添削 XX複雑な混合物のソフトイオン化 (質量分析計イオン化エネルギー制御) XX最大32ガス種の定量分析 XXﾗｲﾌﾞﾗﾘ検索機能(質量ピーク×10が保存可能なｽﾍﾟｸﾄﾗﾑﾗｲﾌﾞﾗﾘ) XXNIST MSデータベースへのアクセスと未知種分析データの保存 XX外部入力からの自動分析開始トリガー XX外部データ分析ソフトウェアへの互換性（例： Excel、Origin) XXグラフ上ｘ軸には時間または外部入力から温度表示を利用可能 XX外部デバイス制御 （例： MFC、ガス切り替え/サンプリングバルブ、PIDコントローラー ) XXパーセンテージまたはppm値での出力データ XX重複スペクトルの自動添削 XXスキャンテンプレートでの迅速なスキャンセッティング XXユーザー指定のアラーム機能

Technical Data 寸法 mm 質量範囲 (m/z): 1-200 / 1-300 m/z 感度: 100% ～ 100 ppb (重複スペクトル影響あり) 測定速度: 最大測定速度,毎秒650ポイント測定 反応時間: 300 ms ソフトウェア: MASsoft ﾌﾟﾛﾌｪｯｼｮﾅﾙ / QGA ﾌﾟﾛﾌｪｯｼｮﾅﾙ　両方含む Windows 8.1/10 互換 寸法 (L x W x H), mm: 585 x 566 x 318 mm 重量, kg: 40 kg (外部スクロールポンプ23 kg) 電源: 100/220/240, 50/60Hz 0.6 KVA / 外部スクロールポンプ0.3 KVA インターフェース: Ethernet LAN (RJ-45)/ USB/ serial (RS-232) 接続 サンプルガス消費レート: 16/8/3.2/0.8 sccm (キャピラリー交換により設定可能) キャピラリー動作温度 (°C)： 最大200℃(標準) 300/350/400/450 ℃　(オプション) 検出器: デュアルファラデー/チャンネルトロンエレクトロンマルチプライヤー アナログ入力: 2ch標準、8x (オプション)/16 bit アナログ出力: 16x (オプション)/14 bit デジタル入力: 8x デジタル出力: 8x, 24V

QIC heated capillary inlet filter (2 µm) 303576 System Confi guration & Options システム概要&オプション アイテム 概要 パーツコード モデルQGAベンチトップガス分析システム： ファラデーマルチプライヤー搭載のモデルHAL 201 RC質量分析計：質 システム 量範囲200 m/z：外部スクロールポンプ込み：QGAﾌﾟﾛﾌｪｯｼｮﾅﾙ＆ 305110 MASsoftﾌﾟﾛﾌｪｯｼｮﾅﾙｿﾌﾄｳｪｱ同梱：QICキャピラリーインレット込み(最大 動作温度200℃) 拡張質量範囲300 m/z 305113 （標準質量範囲200 m/z） オプション&アクセサリー 耐腐食アップグレード 303604 COアナライザー：0-10,000 ppm 303595 QIC加熱キャピラリーインレットフィルター（2 µm） 303576 推奨スペアキット スペアキット XX交換用クォーツキャピラリー ライナー 303147 XX交換用モレキュラーリーク オリフィス XXトリアコートイリジウムツインフィラメント QIC HT 250 高温キャピラリーインレット： 250℃ 303561 QIC HT 450 超高温キャピラリーインレット： 450℃ 303568 LP-SSC　低圧用キャピラリー： 2.5 kPa〜25kPa 303564 ガスインレットオプション VLP-GLC 超低圧サンプリングキャピラリー: 303558 100 Pa〜1000Pa TA-MS用QICインレットアダプター： 発生ガス分析用のTGAカスタムイ 303580-585 ンターフェース　（特注も可能） MSV 8口-マルチストリームバルブ 303688 マルチストリームセレクターマ 20 ch-プロテウスマルチストリームバルブ 303650 ニホールド 40 ch-プロテウスマルチストリームバルブ 303660 80 ch-プロテウスマルチストリームバルブ 303670 ソフトウェアオプション EGAsoft- 発生ガス分析、TA-MSおよびTPD分析用の用途別ソフトウェ 800295 アプログラム モデルQGA - bench-top モデルQGA - external gas analyser scroll pump

QIC heated capillary inlet filter (2 µm) 303576 HIDEN ANALYTICAL社の四重極質量分析計システムは、 様々な用途で利用されています。 ガス分析 反応ガス量の経過測定 触媒分析と熱解析 分子ビーム研究 溶解対象計測プローブ 発酵、環境、生態学的研究 表面分析 UHV TPD SIMS イオンビームエッチングの終点検出 Hiden Analytical Ltd. 元素イメージング – 3D マッピング 420 Europa Boulevard Warrington WA5 7UN England プラズマ分析 T +44 [0] 1925 445 225 F +44 [0] 1925 416 518 プラズマ因子特性、イオンエネルギー解析 E info@hiden.co.uk エッチングと堆積プロセスダイナミクス研究 W analysis of neu www.HidenAnalytical.com 中性種とラジカルtr種al 分an析d radical species 真空分析 プロセスガスの分圧測定と制御 スパッタリング反応制御 真空残留ガス分析 真空コーティング行程観察 イノベーションサイエンス株式会社 〒213-0012 神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1 KSP東棟 210 TEL: (044) 982-3152 FAX: (044) 982-3153 Email: info@innovation-science.co.jp Web: http://www.innovation-science.co.jp/ TDS 191/3