ガス分析向け質量分析計

GAS ANALYSIS Mass Spectrometers for Gas Analysis ガス分析向け質量分析計

MASS SPECTROMETERS Systems for Gas Analysis Applications ガス分析用途向け質量分析計 Hiden Analytical社はppbから100％のダイナミックレンジを持つガス種および蒸気成分のリ アルタイム分析において、安定性、感度、応答性を追求したさまざまなガス分析システムを 提供しています。 当社は35年以上にわたり四重極質量計搭載のガス分析システムを設計および開発してき ました。高精度な機器開発を通じて分析再現性を高める一方で、世界規模のサービスとア プリケーションサポートネットワークを提供することで定評があります。 Hiden Analytical製のガス分析システムは下記に例を挙げるガス種および蒸気種のリアル タイム分析を可能にします：アンモニア、アルゴン、ブタン、二酸化炭素、一酸化炭素、塩 素、重水素、重水素化合物、エタノール、フルオロカーボン、ヘリウム、炭化水素、水素、塩 化水素、硫化水素、クリプトン、メタン、メタノール、ネオン、一酸化窒素、窒素、酸素、プロ パン、プロペン、硫黄酸化物、VOC、水、キセノン　など 四重極質量分析研究の進歩により、下記に例を挙げる制御用フィールドアクシステクノロ ジーが搭載されるようになりました。 X複雑なスペクトル向けに簡略化されたソフトイオナイゼーションモード： イオン化およびイオ ン抽出パラメーターの精密制御により、電子エネルギーを臨界範囲0.4 eVから150 eVまで正 確に調整することができます。 Xトリプルフィルターテクノロジー：ピークテールを減らし、高感度分析を可能にします。 B | Mass Spectrometers for Gas Analysis

コンテンツ ガス分析システム ガス分析装置 モデルQGA – ガス質量分析計 モデルHPR-20 R&D – 研修開発向けガス質量分析計 モデルExQ コンパクトガス質量分析計–一般研究用途向け モデルQGA - ガス質量分析計 ガスサンプルインレットオプション 圧力・温度ガスサンプリングオプション 研究開発向けシステム モデルHPR-20 EGA – TGA-MSの発生ガス分析用ガス分析システム モデルHPR-20 TMS – 高速イベントガス分析用のトランジェントMS モデルHPR-20 EGA - プロフェッショナル向けシステム – モデルHPR-20 DLS, モデルHPR-20 EPIC, モデルHPR-20 S1000 TGA-MSの発生ガス分析 用ガス分析システム モデルHPR-20 マルチストリームシステム – マルチストリームガス分析向け モデルHPR-40 DSA – 溶存ガス種分析用の透過膜インレット質量分析計 モデルHPR-40 DEMS – 差動電子化学質量分析用 モデルHPR-60 MBMS – イオンおよびラジカル分析用の分子線サンプリング質量分析計 モデルHPR-70 – 低量ディスクリートサンプル分析用のバッチインレットガス分析システム モデルHPR-90 – 自動穿通機能付き電球ガス分析システム モデルHPR-40 DEMS システム アプリケーション ソフトウェア – QGA プロフェッショナル, EGAsoftとMASsoft プロフェッショナル Mass Spectrometers for Gas Analysis | 1

モデルQGA Quantitative Gas Analyser ガス分析向け質量分析計 Hiden Analytical社のモデルQGAガス分析システムは、大気圧付 近の複数のガス種と蒸気成分の連続分析を実施します。 10kPaから200kPaまでサンプリングするHiden Alalytical社のクオー ツキャピラリー(QIC)サンプリングインターフェイスが標準搭載され ています。 耐久温度200℃のフレキシブルなQIC (2 m) キャピラ リーインレットは、水や有機蒸気を含むほとんどのガスや蒸気に対 して300ミリ秒未満での高速応答に対応します。 モデルQGAシステムの質量範囲は200amu（オプションで300amuも 可）で、検出能力は100％から100億分の1未満です。 モデルQGAシステムは、高性能スクロールポンプを含む一連の補 自動質量スペクトラム計算 助ポンプに接続することができます。取り回しを考慮し、QGAは最 大10 mのフォアラインで動作します。 プロット機能付きグラフ・表データ モデルQGA - ベンチトップガス質量分析計 特徴: テンプレートファイルからのシンプルな分析セットアップ リアルタイムでのグラフデータおよび表データ表示 バックグラウンド補正による自動キャリブレーション 200 m/zもしくは300m/zまでの分子質量範囲 外部スクロールポンプ 生データまたは％及びppmでのOPC対応データ収集 定量出力 正確なフラグメンテーションパターン測定用のインテリ ジェントスキャン機能を備えたガス/蒸気質量スペクトル ライブラリ 重複スペクトルの自動減算 2 | Mass Spectrometers for Gas Analysis

モデルHPR-20 R&D for Advanced Research 研究開発向けガス質量分析計 Hiden Analytical社のモデルHPR-20R＆D分析システムは、発生ガ スと蒸気成分分析用の卓上型質量分析計です。トリプルフィルター 質量分析計が含まれており、スペクトル干渉の影響を受けやすい5 ppbの検出限界で、分解能とアバンダンス感度を向上しています。 モデルHPR-20 R＆Dは、外部機器に接続するためのインター フェースを多数備えており、ガス・蒸気成分の連続サンプリングに 加熱されたクオーツキャピラリー（QIC）を使用します。 バッキングおよびバイパスポンピングは、高性能スクロールポンプ で行われます。ガスサンプリングは継続的に行われ、ユーザーは毎 分1 ml～毎分15 mlの範囲でガスサンプル流量を調整できます。 モデルHPR-20 R&D 低濃度アンモニア、一酸化窒素、および酸素のパーセント（2％）濃度での同時測 1000 ppm NO2でのNO検出限界（挿入図：1000 ppm NO2での12 ppm NOの検出の拡 定 大）。 一次軸はm / z 30の分圧を表し、二次軸はm / z 64の分圧を表します 特徴: トリプルフィルター質量分析計 質量範囲オプション：200、300、または510 m/z アバンダンス感度の向上 5 ppbまで検出 APSI-MSソフトイオン化モード Mass Spectrometers for Gas Analysis | 3

モデルExQ COMPACT GAS ANALYSER for less demanding applications 一般研究用途向けコンパクト質量分析計 Hiden　Analytical社のモデルEQPは、大気圧に近い圧力でのガス 種・蒸気成分の連続分析向けに開発されています。低圧から高圧 まで、オプションで最大3MPaまでのサンプリング挿入インレットを用 意しています。 この装置は卓上システムとしてご利用いただくか、 または積載用19インチラックをご用意することも可能です。 10kPa～200kPaのサンプリングをするクオーツキャピラリー(QIC)が システムに含まれています。 耐久温度200℃のQICフレキシブル キャピラリーインレット (2m)は、水や有機蒸気を含む一般的なガス 種や蒸気成分に対して300ミリ秒未満での高速応答分析を実施し ます。 ExQ – コンパクトガス質量分析計 モデルExQシステムには、サンプルバイパスとUHVフォアラインポ ンプを組み合わせた内部透過ポンプが含まれています。 モデル ExQシステムの質量範囲は200 m/z（300 m/zオプション）で、検出 能力は100％から100億分の1未満です。 モデルExQRM – 積載ラック付きガス質量分析計 特徴: 定量データ出力とデータエクスポート機能 ガス濃度変化への300 ms応答時間 インテリジェントスキャン機能でフラグメンテーションパターン を測定し、ガス/蒸気質量スペクトルライブラリに記録 重複スペクトルの自動減算 APSI-MSソフトイオン化モード 加熱インレットで蒸気成分への高速応答(低デッドボリューム) 4 | Mass Spectrometers for Gas Analysis

GAS SAMPLING INLET OPTIONS Pressure and Temperature Gas Sampling Options 圧縮・温度管理ガスサンプリング用インレットオプション Hiden Analytical社は、ガス質量分析計向けにさまざまなインレットオプションを 提供しています。 キャピラリーインレットは大気圧周辺でのガスサンプリング を目的に開発されています。 オプションで3MPaまでのガスと蒸気成分向けの 高圧サンプリングキャピラリーや、100 Paまでの低圧サンプリング用キャピラ リーも提供しています。また、特定の研究開発条件向けに高温用QICインレッ トも用意しています。その他のオプションとして、延長用加熱キャピラリー、加 熱マルチストリームインレット、反応炉サンプリング用のホットゾーンアダプター （TGA-MSなど）をラインアップしています。 ツインキャピラリーQICイン レット–高速切り替えバルブを 備えたデュアルキャピラリシ ステム プロテウス40ウェイおよび80 way ロータリーバルブ マイクロフローキャピラリーインレット。 サンプリング HT / HPインレット（200°Cで最大3MPa） レート毎秒12 µl。 シングルまたはマルチキャピラリー インレットオプション 特徴: 高温キャピラリーインレット 高圧/高温サンプラー 低圧キャピラリー マイクロフローキャピラリーインレット 延長用加熱キャピラリー ホットゾーンインレット マルチストリームセレクター-8、16、20、40、80 way 高真空残留ガス分析用のフレキシブルなRGAインレット Mass Spectrometers for Gas Analysis | 5

モデルHPR-20 EGA for Evolved Gas Analysis in TGA-MS TGA-MSでの発生ガス分析 Hiden Analytical社のモデルHPR-20 EGAガス質量分析計は、熱重 量分析装置（TGA）からの発生ガスおよび蒸気成分の連続分析用 に開発されています。TGAインターフェイスは、あらゆるTGA機器 で使用することができます。 TGAインターフェースはサンプル再入 用の反応炉インレットが搭載されており、発生ガス/蒸気成分の効 率的な分析の為、TGA反応炉に近接して搭載されています。 外部システム用に、3MPaまでの高圧熱重量分析装置からの直接 サンプリングなど、特別な要件に合わせてインターフェイスを設計 することも可能です。 モデルHPR-20 EGA 通常TGA インレット TGA-MS プロット 一般的なTGA装置向けに、高速応答で低デッドボリュームのイン ターフェイスが提供されています。 各インターフェイスは、TGAメー カーと共同でカスタム設計しており、必要に応じて、TGAのアウト レットとMSキャピラリーインレットの間に専用クランプとインライン加 特徴: 熱フィルターを取り付ける事が可能です。 H2, Heなどの軽いガス用の強化ポンピング 脱着ガスおよび蒸気成分に対する非テーリング応答用の 加熱インレット クラッキングパターンを簡素化するためのイオン化エネル ギーパラメータの制御 低デッドボリュームインターフェイス用の特定メーカーTGA システムへのカスタマイズ EGAsoftを使用した効率的なデータ収集 質量範囲オプション200または300 m/z 6 | Mass Spectrometers for Gas Analysis

モデルHPR-20 TMS Transient MS for Fast Event Gas Analysis 高速イベントガス分析用のトランジェントMS Hiden Analytical社のモデルHPR-20 TMS Transient MSは、大気圧に 近い圧力でのガス種および蒸気成分の高速イベント分析用に設計さ れています。 高速ガススイッチングに適応するMSは、Hiden AnalyticalのサンプリングインターフェイスにQICキャピラリー(0.9 m)を 備えています。 200℃で動作可能なインレットは、ガス成分の変化に 対応して150ミリ秒未満の応答時間で分析を実施し、さらに5桁での 応答時間を100ミリ秒未満としています。 QICインレットは、Hiden Analytical社のパルスイオンカウント（PIC）デジ タルMSに直接接続されており、7桁のダイナミックレンジで最大毎秒 500データポイントの測定速度を持っています。サブppmから低％の濃 度範囲のガスおよび蒸気成分の測定での高速データ収集に適してい モデルHPR-20 TMS transient MS QIC インレット ます。 HPR-20 transient MS データ - <100 msで5ディケイド以上の応答 高速ガスパルス分析 Kr SCR SCR + H2 H2 特徴: H2 H2 0.9 mの高速応答QICキャピラリー/150 ms応答時間 15N 15 2 NO 15NO Kr 15N2 高速イオン源と高速応答を可能にするポンピング構造 1000 1050 1100 1130 1131 1132 1133 1134 デジタルPIC検出器-7ディケイドのダイナミックレンジ Time (s) Time (s) <100 msで低ppmから高％レベルまで検出可能 高速スキャン速度、過渡解析用500 m/z毎秒 300ºCの触媒上でSCR（オクタンを含むNOx）供給ストリームの0.72％のH2を切り替 えたときの15N2、15NO、H2、および Kr の質量分析計の応答 (J. P. Breen, R. Burch, C. Hardacre, C. J. Hill and C. Rioche, J. Catal., 2007, 246, 1-9). Mass Spectrometers for Gas Analysis | 7 MS Signal (Counts/s) MS Signal (Counts/s)

モデルHPR-20 RANGE for Specialist Applications 専門家向け質量分析計 Hiden Analytical社のモデルHPR-20ガス分析システムは、大気圧付 モデルHPR-20 DLS 近のガス種と蒸気成分を連続的に分析するように設計されており、 モデルHPR-20DLSは水素同位体および軽ガス向け超高分解能分 高圧から30バールまでの直接サンプリングを要する仕様向けに差 析および感度分析に適応し、20 mmのQポール直径を持つモデル し替え用インレットシステム(オプション)が用意されています。 DLS-20トリプルフィルター四重極質量分析計を装備しています。 耐久温度200°のQICサンプリングインターフェースは、水蒸気を含 モデルDLS-20には、ユーザー切り替え可能な分解能モードがあり、 むほとんどのガス種および蒸気成分に対して300ミリ秒未満の高速 四重極質量分析計をデュアル四重極安定領域（ゾーンIおよびH）で 応答での分析を実施します。 動作させ、20 amu（ゾーンH）から最大200 amu（ゾーンI）まで広域な 質量範囲で超高分解能分析を実現します。 モデルHPR-20 EPIC 電子衝撃/電子付着イオナイゼーションモード モデルHPR-20 EPICにはトリプルフィルター質量分析計が含まれて おり、高性能パルスイオン電子マルチプライヤー検出器を備え、正イ オンおよび負イオン検出機能が搭載されています。 質量分析は、電 子衝撃イオナイゼーションと出現電位ソフトイオナイゼーション （APSI-MS）で実施されます。 当システムには、ソフトウェアで選択可能な分析モードがあります。 電子付着質量分析モード（EA-MS）では、電子付着によって内部イ オナイザー内で形成された負イオンを分析します。 電子付着モード は、電気陰性種の分析に対応し、たとえばプラズマプロセスから安 定ラジカルの親分子を特定します。 モデルHPR-20 S1000 モデルHPR-20 S1000には、デュアルファラデーとパルスイオンカウ ンティング電子マルチプライヤー検出器が搭載された、トリプルフィ ルター四重極質量分析計が含まれています。3Fシリーズに見られる 1000 m/zの質量範囲を持ち、検出能力は5ppb未満となっています。 ドライスクロールポンプは、サンプルバイパスとUHVフォアラインポン プを効率化する為に含まれています。これにより、ヘリウムキャリア モデルHPR-20 DLS レイアウト図面 ガスといった高濃度軽質量ガスで最適な分析パフォーマンスを発揮 します。 特徴: 高質量範囲 超高解像度 電子付着イオナイゼーションによるマイナスイオン 検出機能 8 | Mass Spectrometers for Gas Analysis

モデルHPR-20 MULTI-STREAM SYSTEMS Gas Analysis Systems for Multi-stream Analysis マルチストリーム分析向けガス質量分析計 マルチストリームサンプリングは2つのモデルで提供 されています: 実験室規模のマルチストリームバルブ。最大8つのサン プルラインのMSVシリーズ　(他に2ch, 4chあり） 最大80のサンプルラインのプロセス分析用マルチス トリームプロテウスバルブ(他に20ch, 40chあり） サンプリングシステムは、全てのラインで連続フロー仕様となってお り、最小限のサンプルパージ時間で分析サンプルを供給します。 ま た、QICキャピラリーインレットとの接続に対応しています。 ストリームごとに自動でデータを収集して表示することができます。 ストリームの切り替え、データの取得、フラッシュのタイミングに関し 8ライン-マルチストリームバルブ ては、ソフトウェアでユーザー調整が可能です。 S7 S6 S8 COMMON OUTLET SELECTED STREAM OUTLET S5 S1 S4 S2 S3 プロテウスマルチストリームセレクター 発酵オフガス専用システム: モデルQIC BioStream モデルQIC BioStreamには、OPCサーバーテクノロジー、OUR（酸素 摂取率）計算機能、CER（二酸化炭素呼気率）、RQ（呼吸商)といっ たプロセス分析ソフトウェアが含まれています。別途オプションに は、主要な発酵パラメーターの正確な分析用に、指定サンプルスト リーム用の一体型フローメーターがあります。OPCサーバーテクノ ロジーは、マルチストリーム上の複数ガス種の濃度データ転送を、 各ストリームの派生パラメーターと共に実施します。 モデルQIC BioStream-C - 卓上システム モデルQIC BioStreamモデル- 小型カート Mass Spectrometers for Gas Analysis | 9

モデルHPR-40 DSA for Dissolved Species Analysis 溶存ガス種分析用の透過膜インレット質量分析計 Hiden Analytical社のモデルHPR-40 DSA透過膜インレット質量分析 計（MIMS）は、溶解ガス/発生ガスのリアルタイム定量分析とモニタ リングのためのコンパクトな卓上ガス質量分析計です。 当システムは、サブppb（10億分の1）レベルの分析機能を備えてお り、サンプル量が少ないガス分析アプリケーションや、低濃度レベ ルの検出が必要な環境分析に適しています。 幅広い使用例に対 応する為、交換可能な透過膜プローブを多数取り揃えています。 モデルHPR-40 DSA インレットプローブでは、溶解ガス/蒸気分子が高精度四重極質量 分析計のイオンソースに通過できる構造のガス透過膜を使用して います。 手動遮断弁はサンプリング制御を司り、電磁安全弁は、透過膜が 故障した場合に作動し、質量分析計と真空システムを保護します。 キューベットインレット- バ 酵素反応速度プローブ-酵素反応速度研究 イオ燃料開発に適応 用のリアルタイム質量分析 交換可能な透過膜インレットプローブタイプ 特徴: 質量範囲200 m/z（300 m/z オプション）の溶存種の分析 10億分の1検出レベル 高精度で安定した種比測定（例：海洋脱窒研究） 土壌コア分析 発酵プロセス分析 河口、河川または貯水池の地下水の水質分析 無菌湖でのシュードモナ 汚染研究 ス・スタッツェリのコハク酸 塩と硝酸塩補填による脱窒 メタン生産管理 JR Firth and C Edwards 微生物学/酵素活性研究環境 2000 Journal of Applied Microbiology 88 853-859 リアルタイムモニタリング 10 | Mass Spectrometers for Gas Analysis

モデルHPR-40 DEMS for Differential Electrochemical Mass Spectrometer 電気化学分析用ガス質量分析計 Hiden Analytical社のモデルHPR-40 DEMSは、電気化学で溶存種 を分析する卓上型、またはモバイルカート取り付け型の質量分析 計です。 システムはモジュール式でオプションの付け替えが可能 です。当システムには、マテリアル/触媒研究（セルタイプA）および 電気化学反応研究（セルタイプB）向けに設計された2つの差分電 気化学質量分析「DEMS」セルインレットが含まれています。 既存のセル・反応炉からのオンライン電気化学MS（OEMS）が必要 な使用例向けに、さまざまなインレットオプションを用意しており、発 生オフガスと溶存種分析にご利用頂けます。モデルHPR-40 DEMS の質量範囲は200 m/z（オプションで300 m/z可）で、サブppm検出 レベルとなっています。 モデルHPR-40 DEMS セル タイプ A セル タイプB 特徴: コンパクトな卓上質量分析計 質量スキャン、および複数種の時間/強度傾向モニタリング DEMSセルなど、ユーザー設定可能なモジュール式システム 高速応答（<1秒）のナノポーラス電解質/MSインターフェイス マイクロフローインレットを備えたDEMSオフガス分析キャピ ラリーサンプリングオプション 質量範囲：200 m/z (標準)/ 300 m/z (オプション) Mass Spectrometers for Gas Analysis | 11

モデルHPR-60 MBMS for Ion and Radical Analysis イオンおよびラジカル分析用の分子線サンプリング質量分析計 Hiden Analytical社のモデルHPR-60分子ビーム質量分析計は、反応性ガス 気相中間体を分析する為のコンパクトなスキマーインレットMSです。 ラジ カルは、多段差動ポンプスキマーインレットを介してサンプリングされ、MS イオンソースに送られます。他のガス種との相互作用は最小限に抑えら れ、イオン衝突がありません。 カスタマイズ可能なインレットは、大気圧プ ラズマを含む反応炉システムへの接続を可能にします。 スキマーシステムは、トリプルフィルター質量分析計と組み合わせて、超高 速応答と高精度のサンプリングシステムを提供します。 プラズマ化学、大気圧プラズマ分析 モデルHPR-60 MBMS モデル図 触媒反応炉 反応速度分析 過渡現象研究 大気誘電体バリア放電からの水和クラスターイオン モデルHPR-60 MBMS 特徴： 大気圧でのプラズマ分析、分子ビームサンプリング + veおよび-veイオン分析 ユーザー交換可能なスキマーコーン（傾斜取り付け可） 電気陰性ラジカル研究のための電子付着イオナイゼー ションモード 室温で噴霧されたエタノール中のInCl3のエアロゾルのインジウム含有画分の質量ス ラジカル分析用APSI-MSソフトイオナイゼーションモード ペクトル。 最下列は、エアロゾル発生前のチャンバー内のバックグラウンド測定。 中央 スペクトルは、エアロゾルがオンの時の記録。上部スペクトルは、室温に保たれた 質量範囲オプション：300、510、または1000 m/z チューブに2分間スプレーした後の測定。 エネルギー範囲オプション：100 eVまたは1000 eV S Gledhill et al. 2011 Thin Solid Films 519 6413-6419 12 | Mass Spectrometers for Gas Analysis

モデルHPR-70 for Discrete Low Volume Sample Analysis 低量ディスクリートサンプル用ガス分析システム コンパクトなモデルHPR-70はバッチインレットガス分析システム で、ディスクリートガスサンプルの分析に適しています。自動バッ チインレットを使用して、大気圧またはそれに近い少量のガスを サンプリングします。 膨張とそれに伴う圧力降下の後、高感度四 重極質量分析計(500 m/z)でガス分析を実施します。 ガス混合物中の微量成分のほとんどは、ppmレベルで測定するこ とができます。 埋立地などの環境モニタリング 核ガス分析 ヘッドスペース測定 燃料電池分析 モデルHPR-70 バッチインレット 地質サンプル HPR-70 バッチインレット サンプリング図 特徴: デュアルコンパウンドターボポンプとドライバッキングポンプ 自動投与、拡張、正確なサンプリング 静電容量マノメーターによる全サンプル圧力測定 オプションのアリコート充填装置 1リットルのサンプル容器 1 mlインレット容器 オプションのキャリブレーションライン Mass Spectrometers for Gas Analysis | 13

モデルHPR-90 for Light Bulb Gas Analysis 電球ガス質量分析計 モデルHPR-90の自動パッケージクラッキング分析システムは、電球など の密閉容積内のガスを分析するために設計されたシステムです。 モデ ルHPR-90システムは、自動車の小さな電球から蛍光灯などでの分析を 実施する為に、装置をカスタム設計して提供することができます。 当システムは、バルブ貫通ユニット、UHVマニホールドとサンプリングシ ステム、トリプルフィルター四重極質量分析計などの必要機器をすべて 積載カートに搭載しています。 充填ガス分析 品質管理研究 密閉体積分析 自動データレポート形式 モデルHPR-90 自動パッケージ穿通分析システム 電球付きモデルHPR-90キャリア 特徴: Hiden Analytical社 HAL 3F / 301トリプルフィルター四重極質 量分析計搭載 交換可能な穿通機能付きチャンバー キャリブレーションガスインレットを含む自動リークバルブ付き 自動インレット 1kPa密閉パッケージで10 ppm未満の高感度 データはサンプル電球シリアル番号と照合可能 1000 m/zまでの質量範囲オプション 自動データレポート形式 14 | Mass Spectrometers for Gas Analysis

QGA PROFESSIONAL SOFTWARE for Quantitative Gas and Vapour Analysis ガス種と蒸気成分の定量分析ソフトウェア QGA Professionalソフトウェアは、ガス種と蒸気成分の特定用途向 け定量ソフトウェアパッケージで、0.1ppmから100％の範囲のガス 種濃度で、最大32種のリアルタイム連続分析を実施できます。この ソフトウェアは、シングルストリームモードまたはマルチストリーム モードで使用でき、最大80ストリームのマルチストリームガスセレク ションバルブを利用できます。 当ソフトウェアは、クラッキングパターンと相対感度（RS）測定用の 使いやすいキャリブレーションルーチンを搭載しています。分析処 理は、シンプルなテンプレート設定ルーチンで実行され、自動重複 スペクトル削除機能と補正係数決定により、定量データを出力しま す。 COアナライザーなどの出力を外部デバイス入力に引き込むこ とで、様々なガス分析に対応することができます。 QGA PROFESSIONAL メインスクリーン QGA PROFESSIONAL 自動質量スペクトル分析セットアップ QGA PROFESSIONAL プロットコントロールを備えたグラフィカルデータと表形式データ 特徴: 最大32ガス種の定量ガス分析 インテリジェントライブラリスキャン機能を備えた10ピークスペ クトルライブラリ バックグラウンド補正付きのコンポーネントガスキャリブレー ション 外部入力からの自動分析トリガー 複数ガス種の入力、温度、圧力の読み取り x軸は時間または温度などの外部入力を表示 Mass Spectrometers for Gas Analysis | 15

EGAsoft SOFTWARE for Evolved Gas Analysis 発生ガス分析用ソフトウェア EGAソフトウェアは発生ガス測定時のデータ取得と分析のために開発 されています。 熱重量分析装置（TGA）デバイスからの発生ガス分析 をシンプルに行うよう設計された当ソフトウェアは、設定項目を最小限 に抑え、初心者ユーザーでも容易に利用可能です。バースキャンデー タの3Dグラフにより、ガス種の物質分解から成分傾向を簡単に特定で き、マルチイオン検出（MID）モードでは、時間/温度に対する脱着傾向 を表示することができます。 Hiden Analyticalは、さまざまなTGAメーカーと協力して、ファイルエクス ポート機能とソフトウェア互換性を保持しています。NISTエクスポート機 能を使用して特定不能種を識別することもできます。 データ取得機能に加えて、当ソフトウェアは、ピーク積分や複数のガウ EGAsoft 3D　バーモード スピークによるピークデコンボリューションなど、いくつかの分析処理機 能も備えています。 データの平滑化と変則データポイントの削除機能 も利用できます。 TGA-MS 温度プログラム脱着（TPD） 熱分解 EGAsoft MID ビュー 特徴: バーデータ傾向を識別する3Dバースキャンビュー TGA / STAメーカーのソフトウェアインポートフォーマット に対応する自動エクスポート機能 MIDモードでの自動スペクトルデコンボリューション ピーク積分とデータ分析ルーチン MSデータ取得ファイルの自動シーケンス(オートサンプ ラーなどに対応) EGAsoft 2D バーモード 外部入力用の自動スタート/ストップおよび温度入力 イオンナイゼーションエネルギー制御による複雑な混合 物のイオン化 16 | Mass Spectrometers for Gas Analysis

MASsoft PROFESSIONAL Control Software 管理ソフトウェア Hiden Analytical社の製品は、MASsoftプロフェッショナル質量分析 計制御ソフトウェアが付属しています。 MASsoftプロフェッショナル は、質量分析計パラメーターの設定制御と、外部デバイス接続に おける複雑なデータ処理を可能にするマルチレベルソフトウェア パッケージです。 シングルキースタート機能を備えたクイックスタートタブを利用する ことで、初心者ユーザーが即座にデータ収集を開始することができ ます また、スキャンテンプレートを利用することで、以前の実験からのス キャンをすばやく設定することができます。 MASsoft PROFESSIONAL トレンド分析（MID）の設定 ユーザーが指定したアラーム機能（メッセージ送信と出力ドライブ 機能を備えたステータス表示を含む）は、プロセス環境を更に向上 させます。 MASsoft PROFESSIONAL スキャンギャラリー 特徴: イオン化エネルギー制御による複雑な混合物のソフトイオナイ MASsoft PROFESSIONAL 概要図 ゼーション 未知種データをNIST MSデータベースにエクスポート 外部データ分析ソフトウェア連携（例： Excel、Origin) 外部デバイス制御（例： MFC、ガス切り替え/サンプリングバル ブ、ファーネスPIDコントローラー) パーセンテージまたはppmファイルでのデータ出力 重複ピークのリアルタイム減算 Mass Spectrometers for Gas Analysis | 17

ハイデンの四重極質量分析計システムは、様々な用途 で利用されています。 ガス分析 反応ガス流量の経過測定 触媒分析と熱解析 分子ビーム研究 溶解対象計測針 発酵、環境、生態学的研究 表面分析 UHV TPD SIMS イオンビームエッチングの終点検出 Hiden Analytical Ltd. 元素イメージング – 3D マッピング 420 Europa Boulevard Warrington WA5 7UN England プラズマ分析 T +44 [0] 1925 445 225 F +44 [0] 1925 416 518 プラズマ因子の特性 E info@hiden.co.uk エッチングと堆積プロセスの運動学的研究 W www.HidenAnalytical.com 中性種とラジカル種分析 真空分析 プロセスガスの分圧測定と制御 スパッタリング反応制御 真空分析 真空コーティング行程観察 イノベーションサイエンス株式会社 〒213-0012 神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1 KSP東棟 210 TEL: (044)982-3152 FAX: (044)982-3153 Email: info@innovation-science.co.jp Web: http://www.innovation-science.co.jp/ TECHNICAL DATA SHEET 187/4