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機種一覧や圧電ポンプの用途例をご紹介!
当カタログは、日東工器が取り扱う『圧電ポンプシリーズ』をご紹介しています。
圧電ポンプとは、圧電振動子(バイモルフ・ユニモルフ)の変位動作を動力源とし、
多彩な接液部材との組み合わせにより様々な薬品、液体の吸引・搬送に対応する製品です。
機種一覧をはじめ、原理・構造、仕様・耐薬品適正表などを掲載しております。
【掲載内容】
■圧電ポンプとは
■圧電ポンプ用途例
■バイモルポンプ・ユニモルポンプ機種一覧
■各種別売品
■仕様・耐薬品適正表
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 【用途例】液体の吸引・搬送に|圧電ポンプ「バイモルポンプ/ユニモルポンプ」 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 事例紹介 |
| ファイルサイズ | 2.7Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 日東工器株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
Page1
H1
L04
圧電ポンプ
バイモルポンプ/ユニモルポンプ
圧電ポンプシリーズ シリーズ カタログ
「薬品」「液体」の吸引・搬送用途に。
PIEZOELECTRIC-DRIVEN SYSTEM
BIMOR PUMP
SERIES
BPS-215i / BPS-235G
BPH-214i / BPH-214D / BPH-214E / BPH-214G
BPH-414i / BPH-414D / BPH-414E / BPH-414G
BPH-474G / BPH-474P
BPHS-414i /BPHS-414E / BPHS-414G
BPHS-474G / BPHS-474P
BPF-465P
PIEZOELECTRIC-DRIVEN SYSTEM
UNIMOR PUMP
SERIES
UPSA-112E / UPSA-112G
リニア製品
動画サイト
Page2
P01
圧電ポンプ 圧電振動子(バイモルフ・ユニモルフ)の変位動作を
とは 動力源とし、多彩な接液部材との組み合わせにより
様々な薬品、液体の吸引・搬送に対応するポンプです。
バイモルポンプ
圧電ポンプは に分類されます。
い ユニモルポンプ
ろ 機種一覧 バイモルポンプ構造イメージ
い 掲載ページ 型 式 掲載ページ 型 式
BPS-215i BPHS-414i 吐出口 吸入口
BPS-235G バイモル BPHS-414E
ろ ポンプ BPHS-414G 傘型弁 ハウジング
BPH-214i (P.5) BPHS-474G
BPH-214D BPHS-474P Oリング Oリング(上板)
な BPH-214E ユニモル ハウジング
バイモル BPH-214G ポンプ UPSA-112E (中板)
ポンプ BPH-414i (P.5) UPSA-112G
分 (P.4) BPH-414D
BPH-414E 別売品 FCD-12
BPH-414G 駆動電源
BPH-474G (P.5) FCA-100
野 BPH-474P 別売品 バイモルフ 接液シート 弾性体 ハウジング
ED30-12V
インバータ 振動子 モールド (底板)
で BPF-465P (P.5) ED30-24V
液 流量と自吸力 ※表記は、電源周波数60Hzにおいて25℃の水を使用した性能です。50Hzでは流量が20%減少します。
体 BPHS-414i
700 BPHS-414E
を BPHS-414G
BPHS-474G
BPHS-474P
BPH-414G
コ 600
ン 500 BPH-214i
ト BPH-214D
BPH-214E
BPH-414i
ロ BPH-414D
400
BPH-414E
ー UPSA-112E
UPSA-112G
ル 300 BPH-474G
BPH-214G BPH-474P
BPF-465P
! 200
BPS-235G
100 BPS-215i
0 2 4 6 8 10 12 14
自 吸 力 [kPa]
1
流 量 [mL/min]
Page3
p02
原理・構造
< バイモルフ振動子 > < バイモルフ振動子 > < ユニモルフ振動子 >
2枚の圧電素子の内部に弾性金属板を貼り 圧電素子 圧電素子
合わせた構造をしています。
< ユニモルフ振動子 > 弾性金属板(シム) 弾性金属板(シム)
1枚の圧電素子と弾性金属板とを貼り合わせ
縮む
た構造をしています。 縮む
伸びる
伸びる 伸びる
縮む
※金属板(シム):セラミックを貼り付ける構造物。
バイモルフ・ユニモルフとも円状で、電圧印加時はお椀状に変形します。
AC電源
+ ・バイモルフ・ユニモルフとも、交流電源(AC)の印
加時はお椀状に歪み、その極性変化によって凹凸
0 を繰り返します。
・電源の振幅回数(50Hz=50回/sec 60Hz=60回
/sec)の制御によって、吐出量の調節が可能です。
-
よくある質問 流量調整方法
●圧電ポンプの耐久性について 圧電ポンプは、下記3種類の方法によって流量を調整することができます。
ポンプの寿命は、接液部材と流す液体との
適合性が大きく影響します。実機にて長時 ①吐出口または配管を絞る方法 圧力ー流量特性
600
間運転し、液体に対する部材の適合性を 吐出口を絞ると吐出圧力が上
確認することをお勧めします。通水運転で 500
がり、流量は直線的に減少し
あれば連続70ヶ月の実績があります。 ます。吐出口が閉鎖状態に 400
●流体の粘度について なっても振動子の振幅が減少 300
社内テストにおいて、粘度30mPa・sにて するだけで、モーター駆動ポ 200
流量は半減しています。潤滑油等の粘性流 ンプのように焼損することは 100
体は、温度により粘度が大きく変わります ありません。
ので、考慮の上ご使用ください。 0 10 20 30 40
圧 力[kPa]
●自吸力とは・・・液体を吸い上げる力
25℃の水を10cm吸い上げる力=1kPa ②駆動電圧を下げる方法 電圧ー流量特性
600 50
●吐出圧とは・・・液体を加圧する力 流量・吐出圧は電圧の降下と
500
25℃の水を3m押し出す力=30kPa ともに直線的に減少します。 40
400 流 量
圧電素子の厚さが耐電圧近 吐出圧 30
くで設計されているので、定 300
20
格電圧以上かけないでくだ 200
さい。 100 10
0
0 20 40 60 80 100
全揚程 電 圧[V]
吐出揚程
吸引揚程 ③駆動周波数を可変する方法 周波数ー流量特性
700 50
流量は周波数とともに変化し 600
40
圧電ポンプ ますが、吐出圧は一定です。 500
吐出圧の影響を受けずに流量 400 30
を変えるのに効果的です。最
300
大流量は型式により異なりま 流 量 20
200 吐出圧
バイモルポンプの吐出圧は、吸引揚程ゼロの時の すが、約100~120Hzで発生 10
測定値ですので、吐出圧=全揚程 となります。 100
します。
0
0 20 40 60 80 100 120
周波数[Hz]
2
流 量[mL/min] 流 量[mL/min] 流 量[mL/min]
吐出圧[kPa] 吐出圧[kPa]
Page4
p03
圧電ポンプ用途例 BIMOR PUMP
UNIMOR PUMP
圧電ポンプは、吸引・吐出・圧送などの圧力を利用した装置・機器などに組み込まれています。 PIEZOELECTRIC-DRIVEN SYSTEM
液体 ●小型・軽量 吸引 ●有害な薬液に触らず安全
搬送 水を供給し、研磨ディスクの目詰まりを防止 回収 負圧により有害な液体に触れることなく回収
( 容器に保管する)
BPS-235G バイモル
ポンプ BPS-235G バイモル
[ディスク研磨装置] ポンプ [薬液試験機]
空気 ●小型で定量供給が可能、機器搭載が容易 液体 ●小型で定量供給が可能、機器搭載が容易
加圧 水溶性切削液を圧送、環状刃物先端へ
一定量吐出 吸引・吐出 洗剤を吸引し、ノズル先端に供給
UPSA-112E ユニモル
ポンプ BPS-215i バイモル
[穴あけ機アトラ] ポンプ [食器洗浄機]
吸引 ●小型・静音、調整が容易 吸引 ●小型で微量の液体供給が可能
分析 作業時に発生する煙を吸引し周囲への発散、
人の吸引を防止 供給 微量の溶剤を定期的に供給
[レーザースモーク
BPH-214D, 414E バイモル BPS-215i バイモル
ポンプ 吸引機(医療関連)] ポンプ [ディスペンサー]
3
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P04
バイモルポンプ・ユニモルポンプ機種一覧 BIMOR PUMP
UNIMOR PUMP
仕様および耐薬品適応表はp.6に掲載しています。詳しくは「リニア製品総合カタログ」をご覧ください。 PIEZOELECTRIC-DRIVEN SYSTEM
BPS type
取 付 寸 法 図 (mm)
LONG OIL EASY!
小型・軽量 静寂 長寿命 オイルレス構造 交流(AC駆動)各種薬液可 持運び容易
吐出側 取付穴
ノズル部 φ3.1(L=5)
外径:φ4(抜止φ5)
流路(内径):φ2
平行電線
VFF0.3mm²
L=1m
13.4 吸入側
30
21.3
BPS-215i 36
※ハウジング材質により、多少寸法が異なります。現品を確認の上、取付けてください。
BPH type
取 付 寸 法 図 (mm)
LONG OIL EASY!
小型・軽量 静寂 長寿命 オイルレス構造 交流(AC駆動)各種薬液可 持運び容易
ノズル部 取付穴(段付き)
竹の子(外径)φ9 φ7.5-φ4.3(L=7)
流 路(内径)φ6
IN OUT
BPHS-414i/E/G φ12.5
平行電線
VFF0.75mm2
24 14 L=1m 23
62
3 74
BPH-474G/P
※ハウジング材質により、多少寸法が異なります。現品を確認の上、取付けてください。
BPF type
取 付 寸 法 図 (mm)
LONG OIL EASY!
小型・軽量 静寂 長寿命 オイルレス構造 交流(AC駆動)各種薬液可 持運び容易 ノズル部
Rc1/8テーパねじ 取付穴(段付き)
8 タッピング加工 φ8.2-φ4.3(L=14)
チューブフィッティング
ニチアス製「MC-6-1」
適用チューブ外径φ6
IN OUT
平行電線 14
VFF0.75mm2
L=1m
30 (26) 26
2 5 61
78
BPF-465P
※ハウジング材質により、多少寸法が異なります。現品を確認の上、取付けてください。
4
33
28
13 13
30
36
61 52
78 68
Page6
P05
BPHS type
取 付 寸 法 図 (mm)
LONG OIL EASY!
小型・軽量 静寂 長寿命 オイルレス構造 交流(AC駆動)各種薬液可 持運び容易 取付穴(段付き)
ノズル部 φ7.5-φ4.3(L=7)
竹の子(外径)φ9
流 路(内径)φ6
IN OUT
φ12.5
BPHS-414i/E/G 平行電線
31 14 VFF0.75mm2
L=1m 23
62
3 74
BPHS-474G/P
※ハウジング材質により、多少寸法が異なります。現品を確認の上、取付けてください。
UPSA type
取 付 寸 法 図 (mm)
LONG OIL EASY!
14 30
小型・軽量 静寂 長寿命 オイルレス構造 交流(AC駆動)各種薬液可 持運び容易 6.9 吐出側 ノズル部
外径φ4(抜止φ5)
流路(内径)φ2
7
7.5
0.05mm2
UPSA-112E UPSA-112G L=55mm 吸入側
取付穴φ3.1(L=4)
各種別売品
ポンプ駆動電源 仕 様
型 式 入力電圧 出力電圧 出力周波数 外観寸法(mm) 質量(g)
FCD-12 DC12V
AC100V AC100V W100×L190×H47
10~120Hz
FCA-100 または (固定) (突起部を除く) 約700
AC200V
FCD-12 FCA-100
●10Hz~120Hzまで出力周波数を可変できる装置です。
圧電ポンプ (通常50Hz地域では、振動子は1分間に50回動きます)
接 続 例 全機種 ●振動子の動きをコントロールし、流量を可変できます。
●圧電ポンプ全機種に使用できます。
AC 100V
FCD-12/FCA-100
DC駆動用インバータ 仕 様
型 式 入力電圧 定格時間 外観寸法(mm) 対応機種
ED30-12V DC12V/24V プ
ED30-24V 選択 連 続 W94×L101×H45 圧電ポン
全機種
ED30-12V
ED30-24V ●直流(DC)電源から擬似正弦波を作り出すDC-ACインバータです。
●この基板により、直流(DC)電源で圧電ポンプが使用できます。
接 続 例 DC 12V
DC 24V 圧電ポンプ
全機種
ED30
5
28
62
□35.5
30
52
68
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p06
仕様・耐薬品適正表 BIMOR PUMP
UNIMOR PUMP
PIEZOELECTRIC-DRIVEN SYSTEM
バイモルポンプ
※1 ※1
型 式 駆動電圧 消費電流 自吸力 流量 吐出圧 使用部材 質量 ※2 ※2
耐薬品適正例 耐薬品不適正例
(AC・V)(mA)(kPa)(mL/min)(kPa)ハウジング 接液シート 逆止弁 "O"リング (g)
BPS BPS-215i 100 3 3 36 20 PP PP ブチルゴム 30 エタノール、希塩酸、炭酸ナトリウム、 キシレン、鉱油、四塩化炭素、トリクレン、
ベンズアルデヒド、ホルマリン トルエン、ベンゼン
type BPS-235G 100 3 1.5 36 20 POM PTFE フッ素ゴム 30 エタノール、キシレン、シリコーン油、 アンモニア水、塩酸、過酸化水素、
灯油、トルエン、ベンゼン 次亜塩素酸ナトリウム、硝酸、硫酸
BPH-214i 100 15 8 350 18 PP PP ブチルゴム 130 エタノール、希塩酸、炭酸ナトリウム、 キシレン、鉱油、四塩化炭素、トリクレン、
ベンズアルデヒド、ホルマリン トルエン、ベンゼン
BPH-214D 100 15 8 350 18 PP PP ジメチルシリコンゴム 130 アンモニア水、エタノール、 苛性ソーダ、四塩化炭素、シリコーン油、
次亜塩素酸ナトリウム、メタノール トリクレン、トルエン、ベンゼン
BPH-214E 100 15 8 350 18 PP PP エチレンプロピレンゴム 130 アンモニア水、エタノール、希塩酸、 キシレン、鉱油、四塩化炭素、トリクレン、
苛性カリ、苛性ソーダ、メタノール トルエン、ベンゼン
G 100 15 7 350 17 PP PTFE フッ素ゴム 130 エタノール、過酸化水素、鉱油、 アセトン、アンモニア水、氷酢酸、フッ酸、
BPH-214 次亜塩素酸ナトリウム ホルマリン
BPH BPH-414i 100 30 12 500 35 PP PP ブチルゴム 140 エタノール、希塩酸、炭酸ナトリウム、 キシレン、鉱油、四塩化炭素、トリクレン、
type ベンズアルデヒド、ホルマリン トルエン、ベンゼン
BPH-414D 100 30 12 500 35 PP PP ジメチルシリコンゴム 140 アンモニア水、エタノール、 苛性ソーダ、四塩化炭素、シリコーン油、
次亜塩素酸ナトリウム、メタノール トリクレン、トルエン、ベンゼン
BPH-414E 100 30 12 500 35 PP PP エチレンプロピレンゴム 140 アンモニア水、エタノール、希塩酸、 キシレン、鉱油、四塩化炭素、トリクレン、
苛性カリ、苛性ソーダ、メタノール トルエン、ベンゼン
100 30 10 450 32 PP PTFE フッ素ゴム 140 エタノール、過酸化水素、鉱油、 アセトン、アンモニア水、氷酢酸、フッ酸、
BPH-414G 次亜塩素酸ナトリウム ホルマリン
100 30 10 400 35 PPS PTFE フッ素ゴム 170 エタノール、キシレン、四塩化炭素、 アセトン、アンモニア水、クロロスルホン酸、
BPH-474G シリコーン油、トリクレン 氷酢酸、フッ酸、ホルマリン
74P 100 30 10 400 35 PPS PTFE ※3 ※3
パーフロ パ ーフロ,FEP 170
エタノール、クロロホルム、氷酢酸、 クロロスルホン酸、フッ素油、フロンR-112、
BPH-4 ベンゼン、メチルエチルケトン フロンR-113
エタノール、王水、オゾン、
BPF ※3 ※3
type BPF-465P 100 30 10 400 35 PFA PTFE パーフロ パーフロ,FEP 350 四塩化炭素、濃硝酸、濃硫酸、 フッ素油、フロンR-112、フロンR-113
発煙硫酸
BPHS-414i 100 30 12 700 35 PP PP ブチルゴム 150 エタノール、希塩酸、炭酸ナトリウム、 キシレン、鉱油、四塩化炭素、トリクレン、
ベンズアルデヒド、ホルマリン トルエン、ベンゼン
100 30 12 700 35 PP PP アンモニア水、エタ
BPHS-414E エチレンプロピレンゴム 150 ノール、希塩酸、 キシレン、鉱油、四塩化炭素、トリクレン、
苛性カリ、苛性ソーダ、メタノール トルエン、ベンゼン
BPHS
type BPHS-414G 100 30 12 700 35 PP PTFE フッ素ゴム 150 エタノール、過酸化水素、鉱油、 アセトン、アンモニア水、氷酢酸、フッ酸、
次亜塩素酸ナトリウム ホルマリン
BPHS-474G 100 30 10 500 35 PPS PTFE フッ素ゴム 180 エタノール、キシレン、四塩化炭素、 アセトン、アンモニア水、クロロスルホン酸、
シリコーン油、トリクレン 氷酢酸、フッ酸、ホルマリン
※3 ※3
BPHS-474P 100 30 10 500 35 PPS PTFE パーフロ パーフロ
FEP 180 エタノール、クロロホルム、氷酢酸、 クロロスルホン酸、フッ素油、
ベンゼン、メチルエチルケトン フロンR-112、フロンR-113
※1)表記は電源周波数60Hzにおいて、25℃の水を使用した性能です。50Hzでは流量が20%減少します。液体が低温になると逆止弁が硬化し流量と自吸力が低下します。
特にフッ素ゴムは、5℃において流量が半減しますので余裕をもった選定をお願いします。粘性の高い液体は流量が低下します。実機による確認をお願いします。
※2)耐薬品適正は参考です。ご使用に当たっては使用条件下での確認をお願いします。
※3)パーフロはダイキン工業(株)の商品名です。
ユニモルポンプ
※1 ※1
式 駆動電圧 消費電流 自吸力 流量 吐出圧 使用部材 質量 ※2 ※2
型
(AC・V)(mA)(kPa)(mL/min)(kPa) 耐薬品適正例 耐薬品不適正例
ハウジング 接液シート 逆止弁 "O"リング (g)
UPSA-112E 100 3 3 36 15 PP PTFE エチレンプロピレンゴム 13.3 アンモニア水、エタノール、希塩酸、 キシレン、鉱油、四塩化炭素、トリクレン、
UPSA 苛性カリ、苛性ソーダ、メタノール トルエン、ベンゼン
type UPSA-112G 100 3 3 36 15 PP PTFE フッ素ゴム 13.3 過酸化水素、エタノール、鉱油、 アセトン、アンモニア水、氷酢酸、フッ酸、
次亜塩素酸ナトリウム ホルマリン
※1)表記は電源周波数60Hz において、25℃の水を使用した性能です。50Hzでは流量が20%減少します。
液体が低温になると逆止弁が硬化し流量と自吸力が低下します。
特にフッ素ゴムは、5℃において流量が半減しますので余裕をもった選定をお願いします。
粘性の高い液体は流量が低下します。実機による確認をお願いします。
※2)耐薬品適性は参考です。ご使用に当たっては使用条件下での確認をお願いします。
正しい取付け方法 推奨しません
●平坦な側面に取付けてください。 吐出口 ●取付け方向、吐出口、吸込口の
BPS type 向きによっては、十分な性能が
得られないことがあります。
吐出口が上、吸込口が下に
なるよう取付けてください。 IN OUT
BPH,BPHS,BPF type 例)底面などへ取付けた場合、性能が
IN/OUT表示が正しい向きに 吸込口 低下することがあります。
なるよう取付けてください。 BPS type BPH,BPHS,BPF type
6
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H4
リニア駆動フリーピストン
コンプレッサ/真空ポンプ/液体ポンプ デジタルカタログ
本社・研究所/東日本支社/東京支店 ■海外の日東工器グループ
〒146-8555 東京都大田区仲池上2-9-4
Tel:03-3755-1111(大代表) Fax:03-3754-4131 NITTO KOHKI U.S.A., INC.
46 Chancellor Drive, Roselle, Illinois 60172, U.S.A. 日東工器チャンネル
西日本支社/大阪第一支店/大阪第二支店 For Pump Tel : +1-630-924-8811 Fax : +1-630-924-0808
〒537-0001 大阪府大阪市東成区深江北2-10-10 For CUPLA Tel : +1-630-924-5959 Fax : +1-630-924-1174
Tel:06-6973-5501(代表) Fax:06-6978-2125 For Tool Tel : +1-630-924-9393 Fax : +1-630-924-0303
中日本支社/名古屋支店 www.nittokohki.com/
〒465-0092 愛知県名古屋市名東区社台3-173-2 NITTO KOHKI EUROPE GMBH
Tel:052-726-9041(代表) Fax:052-772-7745 Gottlieb-Daimler-Str. 10, 71144 Steinenbronn, Germany
札 幌 支 店 〒003-0005 北海道札幌市白石区東札幌五条1-3-10 Tel : +49-7157-989555-0 Fax : +49-7157-989555-40
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Tel:011-823-6346(代表) Fax:011-831-3370
仙 台 支 店 〒984-0015 宮城県仙台市若林区卸町3-2-4 NITTO KOHKI EUROPE GMBH UK Branch
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新 潟 支 店 〒950-0943 新潟県新潟市中央区女池神明3-4-10 Castle Donington, Derbyshire DE74 2UT, United Kingdom
Tel:025-285-6050(代表) Fax:025-285-6053 Tel : +44-1332-653800 Fax : +44-1332-987273
松 本 支 店 〒390-0851 長野県松本市島内4082-7 www.nitto-kohki.eu/
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北関東支店 〒372-0054 群馬県伊勢崎市柳原町76-1 2 Jasmine Building, 22nd Floor, Soi Prasarnmitr(Sukhumvit23),
Tel:0270-25-1957(代表) Fax:0270-25-1935 Sukhumvit Road, North Klongtoey, Wattana, Bangkok 10110, Thailand
埼 玉 支 店 〒331-0812 さいたま市北区宮原町3-215(第一島村ハイツ1F) Tel : +66-2612-7388
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八王子支店 〒192-0046 八王子市明神町1-7-14(ハーヴェストマンション1F) Vietnamese www.nitto-kohki.co.jp/network/vi/
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静 岡 支 店 〒420-0816 静岡県静岡市葵区沓谷6-15-4 14th Floor, Tower 5B, DLF Epitome, DLF Cyber City, Phase 3, Gurugram,
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浜 松 支 店 〒435-0042 静岡県浜松市東区篠ケ瀬町1341 Tel : +91-124-460-7701
Tel:053-462-7301(代表) Fax:053-462-7302 www.nitto-kohki.co.jp/network/
三 河 支 店 〒444-0806 愛知県岡崎市緑丘3-8-7 NITTO KOHKI CO., LTD. Singapore Branch
Tel:0564-71-6750(代表) Fax:0564-53-1668 18, Kaki Bukit Road 3, #02-12, Entrepreneur Business Centre, Singapore 415978
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