BA11シリーズ

Page 1:No.P350- ②コガネイブランド全製品RoHS指令対応コガネイブランド全製品RoHS指令対応静電気除去●除電性能UP、小形化を実現●小流量タイプノズル、シリコン放電針を用意●幅350～3100mmバータイプの新シリーズ登場2014_10

Page 2:●❶静電気除去除電時間、大きさ、ともに従来品比約30％の向上を実現！除電性能の長期安定、長期清掃不要を実現。パネル名称と機能POWER LED ：電源が正常に投入されている時に緑LEDが点灯します。RUN LED ：正常運転時に緑LEDが点灯します。ALARM LED ：放電針等の本体高電圧部で放電異常が起こった場合や、本体回路の異常（過電流）が起こった場合に赤LEDが点灯します。CLEANING LED：TIME SELECTORで設定した積算運転時間を過ぎると黄色LEDが点灯します。TIMER RESET SWで解除するまで点灯します。TIMER RESET SW：CLEANING LEDの点灯解除および積算連続時間をリセットするボタンです。TIME SELECTOR ：CLEANING LEDを点灯させる積算連続時間を設定するセレクターです。用途により二種類のノズルを選択できます。エア消費量の低減を実現（※小流量タイプノズルを使用した場合）全域均一安定除電が可能清掃時間の目安をお知らせするクリーニングタイマー機能異常放電・スパークを検知する安全機能●高速除電用：標準流量タイプノズル独自のノズル形状によりエア消費量の大幅低減（標準流量タイプに比べ40％削減）を可能にしました。また、ノズルは容易に脱着可能で、メンテナンス性に優れています。常に大量の正負イオンを除電エリア全体に均一に供給しますので、エリアによる除電の差が非常に少なく、繊細な除電を必要とする電子デバイスなどの使用に最適です。予め設定した時間になるとLEDが点灯することで、放電針の清掃時期をお知らせします。イオナイザーの放電針短絡時などの高圧異常放電を検知して、自動的に高圧の印加を遮断する安全機能です。●低エア消費用：小流量タイプノズルイメージ図 放電針の交換イメージイメージ図 イメージ図RUN LEDCLEANING LEDTIME SELECTORPOWER LED ALARM LED TIMER RESET SW名 称 機 能イメージ図 イメージ図2014_10

Page 3:●❷除電特性グラフ除電範囲使用例 消費エア流量と除電時間液晶パネルの搬送時、パネル全面を均一かつ確実に除電できます。ウェーハのカセットへの搬 送時、ウェーハ全体をバランス良く確実に除電できます。仕様注1：連続正常運転1時間毎に運転時間が積算されます。連続通電が1時間未満での使用では積算しません。 2：エア供給圧力0.5MPa時の値です。また、消費流量は配管条件により異なりますので参考値としてください。 3：取付ブラケット、中間ブラケット含まず。備考：イオンバランス、除電時間の測定は弊社測定条件で測定しています。詳細についてはお問い合わせください。00.20.40.60.810.10.30.50.70.90 20 40 60 80 100消費エア流量（ℓ/min）除電時間（秒）除電時間（秒）測定距離：300（mm）DTY-BA11-350（標準流量タイプ）DTY-BA11-350-A（小流量タイプ）00.40.60.80.21.01.21.41.61.82.00 20 40 60 80 100消費エア流量（ℓ/min）測定距離：300（mm）DTY-BA01-350DTY-BA11-350（標準流量タイプ）DTY-BA11-350-A（小流量タイプ）0123456780 200 400 600 800 1000測定距離 （mm）除電時間（秒）DTY-BA11-350-□DTY-BA11-350（印加圧力0.1MPa）DTY-BA11-350-A（印加圧力0.1MPa）DTY-BA11-350（印加圧力0.3MPa）DTY-BA11-350-A（印加圧力0.3MPa）DTY-BA11-350（印加圧力0.5MPa）DTY-BA11-350-A（印加圧力0.5MPa）DTY-BA01-350（印加圧力0.1MPa）10020030040050060070080090010000∼2秒イオナイザー2∼4秒エア供給圧力：0.3MPa除電範囲は参考値です。4∼6秒6∼8秒8∼10秒100100 200200(mm)除電時間ご使用になる前に Catalog No.R0003 イオナイザーの「安全上のご注意」および取扱説明書を必ずお読みください。注意項目 形式 DTY-BA11-350DTY-BA11-600DTY-BA11-850DTY-BA11-1100DTY-BA11-1350DTY-BA11-1600DTY-BA11-1850DTY-BA11-2100DTY-BA11-2350DTY-BA11-2600DTY-BA11-2850DTY-BA11-3100入力電源 DC24V±5%消費電流 mA 150出力電圧 kV ±10表示LEDPOWER（緑） 電源投入時に点灯RUN（緑） 正常運転時に点灯ALARM（赤） 放電異常、回路異常（過電流）時に点灯（RUN LED消灯）CLEANING（黄） クリーニングタイマー 設定時間到達時点灯電源安全回路 ALARM LED点灯時接点出力（b接点、DC24V 50mA MAX）クリーニングタイマー設定時間注1100〜10000時間内で設定可能（9段階）イオンバランス V ±30以内（測定距離300mm、エア供給圧力0.3MPa）除電時間 秒 0.7以内（測定距離300mm、エア供給圧力0.3MPa）オゾン発生量 ppm 0.002以下（測定距離50mm、エア供給圧力0.2MPa）設置距離 mm 50以上使用流体 空気（水分・油分を除去した清浄な空気）エア圧力使用範囲 MPa 0.01〜0.5消費エア流量注2ℓ /min（ANR）標準流量タイプ 95 180 255 325 365 395 625 690 750 810 850 885小流量タイプ（-A） 55 95 145 190 235 275 375 425 475 515 560 600質量注3g 450 650 860 1060 1260 1470 1670 1880 2080 2290 2500 2710放電針ノズル数（ピッチ50mm） 個 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60使用環境 室内0〜40℃、15〜85% RH（結露なきこと）付属品 電源信号ケーブル（3m）、取付ブラケット（2個）、中間ブラケット（添付数は下表による）、放電針ノズル脱着用工具中間ブラケット添付数 個 — — — 1 1 2 2 3 3 4 4 4注1：測定方法は、20pF、□150mmのチャージドプレートモニタを使用し、弊社測定条件で測定しています。 2：除電時間は、±1000Vから±100Vまでの減衰時間です。 3：本体中央部の除電特性です。注1：測定方法は、20pF、□150mmのチャージドプレートモニタを使用し、弊社測定条件で測定しています。 2：除電時間は、±1000Vから±100Vまでの減衰時間です。 3：本体中央部の除電特性です。注1：測定方法は、20pF、□150mmのチャージドプレートモニタを使用し、弊社測定条件で測定しています。 2：除電時間は、±1000Vから±100Vまでの減衰時間です。 3：DTY-BA11-850を使用、長手方向中央位置での除電範囲です。2014_10

Page 4:DTY-BA1165 AL65L＋（32）L＋（50）L−（34）3.85.2224.24.25.23.84.2221059.8（84）（74）3249.8671414放電針ノズルPOWER LEDRUN LEDALARM LEDCLEANING LED TIMER RESET SWTIME SELECTORクイック継手（両側）1600以下 φ61850以上 φ8取付ブラケット中間ブラケット電源信号用コネクタ注：イオナイザーの電源ON/OFFは、入力電源側（DC＋24V側） で行なってください。主回路回路構成Main CircuitOUTSIDE CIRCUITINSIDE CIRCUITDC24V50mA MAX.DC24V5（緑）GND1（白）ALARM4（黄）ALARM6（黒）0V負荷（LOAD）電源 DC24V3（赤）DC＋24V形 式DTY-BA11-350DTY-BA11-600DTY-BA11-850DTY-BA11-1100DTY-BA11-1350DTY-BA11-1600DTY-BA11-1850DTY-BA11-2100DTY-BA11-2350DTY-BA11-2600DTY-BA11-2850DTY-BA11-3100L350600850110013501600185021002350260028503100A50p×4＝20050p×9＝45050p×14＝70050p×19＝95050p×24＝120050p×29＝145050p×34＝170050p×39＝195050p×44＝220050p×49＝245050p×54＝270050p×59＝2950放電針ノズル数（個）51015202530354045505560中間ブラケット添付数（個）———112233444注文記号DTY - BA11 - - -●本体電源信号ケーブル 本体●オプション（別売）寸法図（mm)製品バリエーション 350：長さ350mm 600：長さ600mm 850：長さ850mm 1100：長さ1100mm 1350：長さ1350mm 1600：長さ1600mm 1850：長さ1850mm 2100：長さ2100mm 2350：長さ2350mm 2600：長さ2600mm 2850：長さ2850mm 3100：長さ3100mm●交換用放電針ノズル（単位：1個）DTY-ZEM-BA11（標準流量、タングステン放電針）DTY-ZEMA-BA11（小流量、タングステン放電針）●ACアダプタDTY-ZPS2●中間ブラケット（単位：1個）DTY-ZBKS-BA11●延長ケーブル（3m）DTY-ZCE3-BA11黄：ALARM白：ALARM緑：GND黒：DC0V赤：DC＋24V赤黒白緑黄3000±50(50)(40)コネクタ AMP 172168-1収縮チューブ AWG22×5c(20)(10)定格入力：AC100〜240V 50/60Hz 0.58A出力：DC24V 1Aケーブル長さ1.5m標準流量タイプ 小流量タイプ電源信号ケーブル注：価格は放電針材質がタングステンの場合です。シリコンの場合はお問い合わせください。ノズルタイプ無記入：標準流量 A ：小流量放電針材質無記入：タングステン SS ：シリコン2010年9月24日 初版 100 BPBP ©KOGANEI CORP. PRINTED IN JAPANURL http://www.koganei.co.jp□本社 □営業本部 □海外営業部184-8533 東京都小金井市緑町3-11-28●このパンフレットは2010年9月現在のものです。●記載されている仕様および外観は、改良のため予告なく変更することがあります。ご了承ください。2014_10