分離形多チャンネル流量センサコントローラＦＳＵ

Page 1:配管抵抗の影響を受けませんA. S. OUTS.W.OUTch1 2 3 4PSUA. S. OUTS.W.OUTch1 2 3 4PSURS232C圧力センサが検出できないワーク吸着検出を流量センサが検出します。1台のコントローラで4点同時検出A. S. OUTS.W.OUTch1 2 3 4PSUA. S. OUTS.W.OUTch1 2 3 4PSURS232C出力モードセンサヘッドは流量レンジにより3種類パソコンとの接続が可能●流量設定、流量値取込み、基準流量設定がパソコンで行なえます。●− 500〜500mR/min（ANR）、 − 3〜3R/min（ANR）、 0〜10R/min（ANR） タイプの3種類を用意しました。●配管抵抗の影響を受けないため、流量センサヘッド取付け位置の制限がありません。流量センサ圧力センサφ1.8チューブを用いた測定結果※弊社試験規格による。測定点20.12R/min−95kPa測定点10.11R/min−78kPa100mm 2000mm 100mm測定点1ノズル穴径0.1mm測定点2真空源−98kPaSW出力L（R/min）L1L2 応差ONt大気開放 真空弁ON ワーク吸着 真空破壊SW出力L（R/min）L2L1応差ΔL基準流量取込ONt大気開放 真空弁ON ワーク吸着 真空破壊SW出力L（R/min）L1L2応差応差ONt大気開放 真空弁ON ワーク吸着 真空破壊 ●ウィンドコンパレータモード 2・一度設定されたL1は再度基準流量の取込が行なわれるまで変更されないモード。 ●ウィンドコンパレータモード 3・設定されたL1は、スイッチ出力OFFと同時に消去されるため毎回基準流量の取込を行ないL1を設定するモード。 流量変動の激しい場合に有効です。 ウィンドコンパレータモード3を使用する際には、RS232C等により、外部から基準流量の取込を行なってください。■ウィンドコンパレータモード 4・L1、L2を任意に設定するモード。■ウィンドコンパレータモード 2、3・ΔL設定と基準流量の取込によりL1を自動 設 定するモード。（L1 ＝基準流量−ΔL）■ウィンドコンパレータモード 1・L1、L2を任意に設定するモード ただし、流量増加時にはスイッチ出力がONになりません。FSU16362015_05

Page 2:危 険安全上のご注意（分離形多チャンネル流量センサコントローラ）●製品の作動中は付帯する機構（配線用コネクタの着脱、センサヘッドの取り付けまたは位置決め等）の調整作業を行わないでください。異常作動によって、ケガをする可能性があります。警 告●動力線・高圧線との並行配線や同一配線管はしないでください。 分離形多チャンネル流量センサコントローラが、ノイズで誤動作することがあります。●配線の極性を間違えないように注意して配線してください。 間違えますと分離形多チャンネル流量センサコントローラを破損させる原因になります。下記は分離形多チャンネル流量センサコントローラ固有の「安全上のご注意」です。下記以外の「安全上のご注意」につきましては総合パーソナルカタログの前付を必ずお読みください。注 意●当該製品には、必ず指定のセンサヘッドを使用してください。 指定以外のものを使用されますと誤作動の原因となります。●分離形多チャンネル流量センサコントローラおよびセンサヘッドは取り扱いの際に叩いたり落としたり、ぶつけたりしして過大な衝撃（490m／s2以上）を加えないようにしてください。破損していなくても、内部が破損し誤作動する可能性があります。●負荷を短絡させないでください。 負荷短絡の状態で、センサ出力をオンさせますと、過電流により分離形多チャンネル流量センサコントローラが破損する可能性があります。 負荷短絡の例：センサ出力の出力リード線を直接電源に接続する。●センサヘッドへ継手を取付ける際の締付けトルクは2.5N・mとしてください。また、センサヘッドを固定する場合はM3のねじを使用し、取付けトルクは0.6N・mとしてください。 締付けトルクを超えて締付けた場合、センサヘッド等が破損する可能性があります。 センサヘッドとコントローラは、必ず電源を切った状態で接続してください。電源が入った状態でセンサヘッドを接続しますとサージ電圧等により、コントローラが誤作動する可能性があります。一般注意事項1.電源に市販のスイッチングレギュレータを使用する場合には、必ずフレームグランド（F.G.）端子を接地してください。2.センサ取り付け部周辺にノイズ発生源となる機器（スイッチングレギュレータ、インバータモータなど）を使用する場合は、機器のフレームグランド（F.G.）端子を必ず接地してください。3.配線終了後、結線に誤りがないか確認してください。配線1.センサヘッドは、非腐食性気体用です。液体や腐食性気体には使用しないでください。2.電源入力は、定格を超えないよう電源変動を確認してください。3.電源投入時の過渡的状態（0.5s）を避けて使用してください。4.針先などの鋭利なものでキー操作はしないでください。5.ウィンドコンパレータモード2にて基準流量取り込みを繰り返し行う様なことをしますと短期間で保証回数を超える可能性があります。その時は、ウィンドコンパレータモード3を使用してください。6.ウィンドコンパレータモード3で使用する場合には、FSU-S-Dを使用してください。その他取扱い要領と注意事項16372015_05

Page 3:センサヘッドFSU-□-□は納入時、センサヘッド本体とミニクランプコネクタ（オス）が未接続になっていますので、下記に従って接続してください。1.コネクタのカバー（リード線挿入部）がコネクタ本体より浮き上がっている事を確認してください。 本体と水平になっているものは使用できません。2.センサヘッドのケーブルを必要な長さに合わせて切ります。 端面より50mmケーブルの外被を取り外し、リード線を出します。この時、リード線の絶縁体は取らないでください。3.リード線をコネクタカバー部の穴へ表に従って挿入してください。リード線は奧まで確実に挿入されているか半透明のカバー上部より確認してください。（挿入は約 9mm） 接続を間違えると電源投入時センサヘッドおよびコントローラを破損しますのでご注意ください。4.リード線がコネクタより外れないように注意しながらプライヤー等のハンドツールでカバーとコネクタ本体を挟んでカバーをコネクタ本体に押し込んでください。 圧接力は980.7N以下にしてください。 コネクタ本体とカバーが水平になれば接続終了です。5.センサヘッド中継ケーブルPSUK-□のミニクランプコネクタ（オス、メス）も同様に処理してください。6.再度配線が正しいか確認してください。センサヘッド・コネクタ接続要領センサヘッドおよび電源・SW・通信ケーブルの取付けはロックレバーの位置を図のように合わせ、コントローラ側コネクタにロックが掛かるまで挿入してください。取外しはロックレバーを十分に押し下げて、コネクタを持って引き抜いてください。この時、リード線には無理な力を掛けないよう注意してください。43214-センサヘッド用コネクタ電源・SW・通信ケーブル用コネクタ1chPSUW-□-□FS-□2ch 3ch4ch電源・SW・通信ケーブルセンサヘッドロックレバーロックレバーフタセンサヘッド側コネクタセンサヘッドおよび電源・SW・通信ケーブルの取付け、取外しパネルマウント用パーツ・前面保護カバーの取付取付ブラケットは付属の六角穴付ボルト（M2.6×0.45 長さ5mm)でセンサコントローラ背面の取付穴に取り付けてください。締付トルクは、0.32N･mとしてください。2-M2.6×0.45深さ6（取付用ねじ穴）取付ブラケットPSU-BR六角穴付ボルト（取付ブラケット付属）ブラケットの取付取付ブラケットは付属の（M2.6×0.45長さ5mmローラ背面の取付穴に締付トルク9.83N･cm（ください。ブラケットの取付取扱い要領と注意事項パネル板取付け具本体前面保護カバー（別売）パ具取力※取 ド ダ別セ分離形多チャンネル流量センサコントローラ取付けホルダーパネル取付け具本体の溝部 ホ溝取付 ･ 配線50mm50mmコネクタ側 No.1234リード線色センサヘッド茶線センサヘッド黒線センサヘッド青線お客様にて準備AWG 24-26（0.14-0.3sq）絶縁体外径：φ0.8-1.0mm基準流量取込 センサヘッド青青黒黒茶茶①パネル穴の前面から取付け具本体を挿入する。②取付け具本体の後方からセンサコントローラを挿入する。③②の状態の後方から取付けホルダーを取付け具本体の溝にかけながら挿入する。④別売の前面 保護カバーをセットする。※取り外す場合は取付けの逆の手順でドライバー等を使用し、取付けホルダーを外してください。信号名センサヘッド電源（＋）センサヘッド電圧出力センサヘッド電源（0V）基準流量取込センサヘッド1234PLC等7.センサヘッド本体には、センサヘッド側コネクタを接続します。 センサヘッドのフタを開いてコネクタを接続後、フタを閉めてください。16382015_05

Page 4:設定要領注 意■各部の名称と機能 名称 内容① LED表示部（赤色） 検出流量値および設定内容、エラー内容を表示② スイッチ出力表示灯（赤色） スイッチ出力ON時点灯③ オートスキャン表示灯（緑色） 現在LED流量表示しているチャンネル部点灯④ UPキー（ ） 設定値等UP時使用⑤ DOWNキー（ ） 設定値等DOWN時使用⑥ モードキー（ ） 各種設定時使用1.センサヘッド、電源・SW・通信ケーブルに誤配線がありますとコントローラ、センサヘッド共に破壊されますので電源投入前に必ずご確認ください。2.設定しました条件はEEPROMに書き込まれ記憶保持されます。EEPROMには寿命があり、書き込み保証回数は10万回までですのでご注意ください。3.ウィンドコンパレータモード2にて基準流量取り込みを繰り返し行う様なことをしますと短期間でEEPROMの書き込み保証回数を超える可能性があります。その場合には、ウィンドコンパレータモード3を使用してください。4.説明文中ではウィンドコンパレータモード1を記号：CO1、ウィンドコンパレータモード2を記号：CO2、ウィンドコンパレータモード3を記号：CO3、ウィンドコンパレータモード4を記号：CO4と呼びます。■設定準備・ センサヘッドにコネクタを接続してください。 （1638ページ「センサヘッドコネクタの接続要領」を参照してください。）・ コントローラにセンサヘッド（1〜4個）と電源・SW・通信ケーブルを接続してください。 （1638ページ「センサヘッドおよび電源・SW・通信ケーブルの取付け、取外し」を参照してください。）■設定手順ウィンドコンパレータモード1（CO1）ウィンドコンパレータモード4（CO4）A. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSU図1図1A. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSU③⑤ ⑥②①④③⑤ ⑥②①④出力モード設定各チャンネルごとにCO1、CO2、CO3、CO4の設定を行ないます。応差設定各チャンネルごとに応差の設定を行ないます。センサヘッド選択各チャンネルごとに使用するセンサヘッドの設定を行ないます。L1, L2の設定各チャンネルごとにL1、L2の設定を行ないます。各種機能設定各チャンネルごとに機能の設定を行ないます。（機能一覧参照）検出設定を完了し検出開始します。ウィンドコンパレータモード2（CO2）ウィンドコンパレータモード3（CO3）ΔL, L2の設定各チャンネルごとにΔL、L2の設定を行ないます。基準流量の取込み各チャンネルごとに基準流量の取込みを行ないます。コントローラ内にて、自動的にL1が作られます。L1＝基準流量−ΔL出荷時設定（1ch〜4ch）センサヘッドタイプ：±3［R/min］タイプ出力モード ：ウィンドコンパレータモード1応差 ：0.02［R/min］L1レベル ：2.00［R/min］L2レベル ：1.00［R/min］16392015_05

Page 5:■設定・電源（電源電圧DC24V）を投入しますと自動的に検出モードになります。・LED表示部には選択チャンネルの流量が表示されます。（選択チャンネルはA.S.OUT部LED（緑）が点灯 図2）・SW.OUT部LED（赤）はスイッチ出力ON時に点灯します。・選択チャンネルは キーまたは キーを押すことにより切換えます。・ 表示がでた場合は選択されたチャンネルのセンサヘッドが未接続か、断線です。・断線の場合は電源を切りセンサヘッドを交換してください。対応するチャンネルのPIN（センサヘッド用コネクタ4ピン）を『Lレベル』にする。（0.5V以下、10ms以上）チャンネル ：1ch ：2ch ：3ch ：4chA. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSUA. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSUA. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSUFSUA. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSUA. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSUA. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSU図2 図3図6図5図8図9：ON点の設定：OFF点の設定チャンネル ：1ch ：2ch ：3ch ：4chA. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSU図121図③⑤ ⑥②①④ 検出モード以下の手順により各チャンネル毎に使用するセンサヘッドの設定を行なってください。注：SE2およびSE4は使用できません。 センサヘッドの選択●ウィンドコンパレータモード2、3における基準流量取込方法本体キー操作による方法RS232Cによる方法汎用I/O入力による方法操作方法については1641ページ参照RS232Cコマンドについては1643ページ参照下図参照●機能一覧（操作の詳細は各操作方法を参照）機能流量表示L1（ΔL）/L2点設定応差設定基準流量取込モード選択センサヘッドタイプ設定ゼロリセット流量表示オートスキャンスイッチ出力反転（モード4のみ有効）ピークホールドボトムホールド流量表示消去出力モード確認センサヘッドタイプ確認ON（ΔL）/OFF点確認基準流量−ΔL/OFF点確認スイッチ出力状態表示バージョン表示●汎用I/O入力による基準流量取込方法24V0.5V以下SW PIN-110ms以上立上りエッジで取り込まれます1234：PIN流量センサヘッド分離形多チャンネル流量センサコントローラSW PIN-1汎用I/O入力による基準流量取込を行わない場合は、P INはオープン（注：P INは24Vでプルアップされています）注：信号入力のGNDを分離形多チャンネルセンサコントローラのGNDと共通にしてください。1234：PIN1ch4ch主回路注：信号入力のGNDを分離形多チャンネルセンサコントローラのGNDと共通にしてください。立上りエッジで取り込まれます1234：PIN流量センサヘッド分離形多チャンネル流量センサコントローラSW PIN-1汎用I/O入力による基準流量取込を行わない場合は、P INはオープン（注：P INは24Vでプルアップされています）注：信号入力のGNDを分離形多チャンネルセンサコントローラのGNDと共通にしてください。1234：PIN1ch4ch主回路注：信号入力のGNDを分離形多チャンネルセンサコントローラのGNDと共通にしてください。 本体ボタン操作○○○○○○○○○○○○××××××シリアル通信コマンド（-Dのみ）@A@PRE@HYS@P@MODE@TYPE@B@AS@INV@PHL@BHL@DIS@MD@TP@C@E（モード2, 3のみ有効）@SW@VER 汎用I/O入力による基準流量取込を行なわない場合は、PINには何も接続しないでください。（注：PINは24Vでプルアップされています）注：信号入力のGNDを分離形多チャンネル流量センサコントローラのGNDと共通にしてください。手順12345本体操作（同時押し）7セグ表示 備考 or でチャンネル選択 or でセンサヘッド選択センサヘッド決定［センサヘッドの選択］SE1：− 3.00〜3.00：±3RタイプSE2：使用不可SE3：− 500〜500：±500mRタイプSE4：使用不可SE5：0.00〜10.00：10Rタイプ以下の手順により各チャンネル毎に出力モードの設定を行なってください。 出力モードの選択手順123457セグ表示 備考 or でチャンネル選択 or で出力モード選択出力モード決定［出力モードの選択］CO1：ウィンドコンパレータモード1CO2：ウィンドコンパレータモード2CO3：ウィンドコンパレータモード3CO4：ウィンドコンパレータモード4本体操作（同時押し）設定要領16402015_05

Page 6:以下の手順により各チャンネル毎に応差の変更を行なう事ができます。 応差の設定手順123457セグ表示 備考 or でチャンネル選択 or で応差設定応差決定［応差の選択］HYS1：1chHYS2：2chHYS3：3chHYS4：4ch・チャタリング防止のため応差は2diNit以上に設定の事以下の手順により各チャンネル毎にしきい値の設定を行なってください。 しきい値の設定（L1（ΔL）/L2の設定）手順123457セグ表示 ＊＊＊備考 or でチャンネル選択 or でしきい値設定しきい値決定［しきい値の設定］11：1ch_L1/ΔL12：1ch_L221：2ch_L1/ΔL22：2ch_L231：3ch_L1/ΔL32：3ch_L241：4ch_L1/ΔL42：4ch_L2ウィンドコンパレータモード2または3を使用する場合には、以下の手順により基準流量の取込を行なう事ができます。 基準流量の取込（ウィンドコンパレータモード2、3の場合）手順12347セグ表示 備考 or でチャンネル選択基準流量取込［基準流量の取込］REF1：1chREF2：2chREF3：3chREF4：4ch以下の手順により流量表示を消灯する事ができます。 流量表示の消灯手順12345本体操作（同時押し）（同時押し）7セグ表示 ＊＊＊備考7セグLED消灯7セグLED再点灯以下の手順により流量表示がオートスキャンモードになります。オートスキャンモードはキーロック機能も兼ねているため、オートスキャン解除以外のキー操作はできません。注：電源をOFFにするとオートスキャンモードは解除されます。 流量表示のオートスキャン手順12345本体操作（同時押し）（同時押し）7セグ表示 備考オートスキャン開始オートスキャン停止以下の手順により各チャンネル毎にスイッチ出力を反転させる事ができます。注：ウィンドコンパレータモード４以外では使用できません。 スイッチ出力の反転（ウィンドコンパレータモード4のみに有効）手順12345本体操作（同時押し）7セグ表示 備考 or でチャンネル選択 or で設定出力モード決定［スイッチ出力の反転］S-0：非反転（A接点）S-1：反転（B接点）本体操作（同時押し）本体操作本体操作（同時押し）16412015_05

Page 7:設定要領以下の手順により各チャンネル毎にゼロ点補正を行なう事ができます。注： 電源をOFFにするとゼロ点は解除されます。 ゼロ点補正（ゼロリセット）手順123456本体操作（同時押し）7セグ表示 備考 or でチャンネル選択ゼロ点補正［ゼロ点補正］b-1：1chb-2：2chb-3：3chb-4：4ch以下の手順により流量表示をピークホールドまたはボトムホールドさせる事ができます。ホールド中に表示チャンネルを切り換える事が可能です。注：電源をOFFにするとピークホールドまたはボトムホールドは解除されます。 ピークホールドとボトムホールドを同時に行なう事はできません。 ピークホールド、ボトムホールド手順1234567ピークホールド（同時押し）（同時押し）7セグ表示 備考ホールドスタートホールド解除ボトムホールド（同時押し）（同時押し）7セグ表示 エラー表示表示（nは該当チャンネル）（nは該当チャンネル）エラー解除断線時は電源を切りセンサヘッドを交換する。エラー内容を修正後モードキー を1秒以上長押しする。エラー内容選択されたチャンネルのセンサヘッドが未接続または断線している。ウィンドコンパレータモード2および3において、しきい値が計測範囲外に設定されている。センサ入力（AN0〜AN3）に過電圧（5V以上）が印加されている。スイッチ出力に過電流が流れている。nn16422015_05

Page 8:@PRE 機 能：各チャンネルのON/OFF点を設定します。 送信例：@PRE11−3.00c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type @PRE11：チャンネル１、L1/ΔLの設定 @PRE12：チャンネル１、L2の設定 @PRE21：チャンネル2、L1/ΔLの設定 @PRE22：チャンネル2、L2の設定 @PRE31：チャンネル3、L1/ΔLの設定 @PRE32：チャンネル3、L2の設定 @PRE41：チャンネル4、L1/ΔLの設定 @PRE42：チャンネル4、L2の設定 @PRE 1 1  1：1CH 2：2CH 3：3CH 4：4CH＊＊＊＊1：L1/ΔL2：L2●通信コマンド詳細コマンド一覧表 注：“”はスペースを示す。@A 機 能：現在の流量値（１ch〜４ch）を呼び出します。 送信例：@Ac/rl/f 応答例：1＝−3.00c/rl/f 2＝ 3.00c/rl/f c/rl/f ← センサヘッド未接続の場合 4＝0.00c/rl/f c/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type@HYS 機 能：各チャンネルのヒステリシス幅（応差）を設定します。 送信例：@HYS110.02c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type @HYS11：チャンネル１、ヒステリシス幅設定 @HYS21：チャンネル2、ヒステリシス幅設定 @HYS31：チャンネル3、ヒステリシス幅設定 @HYS41：チャンネル4、ヒステリシス幅設定 @HYS 1 1 1：1CH2：2CH3：3CH4：4CH＊＊＊1を必ず入力信号名称DC24V0VOUT1OUT2OUT3OUT40VRXDTXDRTSCTSコントローラ側パソコン側D-SUB25ピンの場合 D-SUB9ピンの場合ピン番号1234567891011信号名称D.GTXDRXDRTSCTSDSRDCDDTRピン番号723456820シリアル通信ケーブル電源・スイッチ出力ケーブル信号名称DC24V0VOUT1OUT2OUT3OUT40VRXDTXDRTSCTSコントローラ側パソコン側ピン番号1234567891011信号名称D.GDCDRXDTXDDTRDSRRTSCTSピン番号51234678シリアル通信ケーブル電源・スイッチ出力ケーブル信号名称DC24V0VOUT1OUT2OUT3OUT40VRXDTXDRSTCTSコントローラ側パソコン側ピン番号1234567891011信号名称D.GDCDRXDTXDDTRDSRRTSCTSPinNo.ピン番号51234678信号名称D.GTXDRXDRTSCTSDSRDCDDTRピン番号723456820電源・スイッチ出力ケーブルD-SUB9ピンの場合称信号名称DC24V0VOUT1OUT2OUT3OUT40VRXDTXDRTSCTSコントローラ側パソコン側ピン番号1234567891011信号名称D.GDCDRXDTXDDTRDSRRTSCTSピン番号51234678シリアル通信ケーブル電源・スイッチ出力ケーブル●通信ケーブル仕様・接続パソコンとの通信●ハードウェアおよび動作環境 本体：PC-98シリーズ（PC-98LTは除く）及び互換機 DOS/V機 OS ：Windows95以上●ソフトウェアおよび動作環境 ハイパーターミナル、Tera Term等のWindows用ターミナル エミュレータ使用●通信パラメータボーレート 9600［ボー］ストップビット長 1［ビット］パリティ指定 奇数［ODD］パリティチェック ありデータビット長 8［ビット］通信方法 全2重リターンキー送信処理 CRコード・LFコード通信16432015_05

Page 9:通信●通信コマンド詳細@P 機 能：出力モードでウィンドコンパレータモード2、3を選択した場合の基準流量取込 送信例：@P1c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type @P1：チャンネル1の基準値設定 @P2：チャンネル2の基準値設定 @P3：チャンネル3の基準値設定 @P4：チャンネル4の基準値設定@MODE 機 能：各チャンネルの出力モードを設定します。 送信例：@MODE11c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type @MODE 111：1CH2：2CH3：3CH4：4CH1：ウィンドコンパレータモード12：ウィンドコンパレータモード23：ウィンドコンパレータモード34：ウィンドコンパレータモード4@SW 機 能：各チャンネルのスイッチ出力を表示します。 送信例：@SWc/rl/f 応答例：1010c/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type@TYPE 機 能：各チャンネルのセンサヘッド種類を設定します。 送信例：@TYPE11c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type @T Y P E 111：1CH2：2CH3：3CH4：4CH1：−3.00〜3.002：使用不可3：−500〜5004：使用不可5：0.00〜10.00@INV（ウィンドコンパレータモード4のみに有効） 機 能：SW出力の反転・非反転を設定します。 送信例：@INV10c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type @I N V 101：1CH2：2CH3：3CH4：4CH0：非反転1：反転@P 1 1：1CH 2：2CH 3：3CH 4：4CH@C 機 能：各チャンネルのL1（ΔL）およびL2点を表示します。 送信例：@C1c/rl/f 応答例：1.00c/rl/f ←L1（ΔL） 0.50c/rl/f ←L2 c/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type@C 1 1：1CH 2：2CH 3：3CH 4：4CH●通信コマンド詳細@B 機 能：各チャンネルをゼロ点補正します。 送信例：@B1c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type@B 1 1：1CH 2：2CH 3：3CH 4：4CH 1 0 1 0 1 2 3 4 chchchch1：スイッチ出力ON0：スイッチ出力OFF@MD 機 能：各チャンネルの出力モードを表示します。 送信例：@MDc/rl/f 応答例：1231c/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type 1 2 3 1 1 2 3 4 chchchch1：ウィンドコンパレータモード12：ウィンドコンパレータモード23：ウィンドコンパレータモード34：ウィンドコンパレータモード4@TP 機 能：各チャンネルのセンサヘッドタイプを表示します。 送信例：@TPc/rl/f 応答例：1135c/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type 1 1 3 5 1 2 3 4 chchchch1：−3.00〜3.002：使用不可3：−500〜5004：使用不可5：0.00〜10.0016442015_05

Page 10:50ms MAX.2ms MAX.52ms MAX.5ms MAX.2ms MAX.7ms MAX.@A 送信時@P、@PRE、@MODE 送信時@P1 c/rl/f※ c/rl/f：EnterキーOK c/rl/f送信受信@A c/rl/f送信受信@E 機 能： 各チャンネルのL1 ＝基準流量−ΔLおよびL2を表示します。 送信例： @E1c/rl/f 応答例： 1.00c/rl/f ←L1 ＝基準流量−ΔL 0.50c/rl/f ←L2 c/rl/f 応答例： NGc/rl/f 21：illeNal type@E1 1：1CH 2：2CH 3：3CH 4：4CH@DIS 機 能：本体LEDを消灯（LOCK）します。 送信例：@DIS1c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type@DIS1 1：消灯 0：点灯@AS 機 能：オートスキャン機能のON/OFFを設定します。 送信例：@AS1c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type@AS1 1：ON 0：OFF@PHL 機 能：ピークホールド機能のON/OFFを設定します。 送信例：@PHL1c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type@PHL1 1：ON 0：OFF@BHL 機 能：ボトムホールド機能のON/OFFを設定します。 送信例：@BHL1c/rl/f 応答例：OKc/rl/f 応答例：NGc/rl/f 21：illeNal type@BHL1 1：ON 0：OFF16452015_05

Page 11:ファイル−プロパティで左の画面が開くので「接続方法」を設定する。「モデムの設定」をクリックする。図2のようにボーレート等を設定する。設定が終了したらＯＫをクリックする。図1で「設定」のタグをクリックすると図3が表示されるので、「ASCII設定」のボタンをクリックする。図4のように設定しOKをクリックする。図3にもどります。再度OKをクリックする。●通信設定設定方法（ハイパーターミナル使用時）通信図1図2内部回路図・配線仕様（外部接続例）Tr4Tr1Tr3Tr2外部接続例内部回路（茶）SW4（黒）0V（青）0V（茶）RXD（黒）TXDRTSCTS（黄）SW3（緑）SW2（白）（赤）＋Vリード線の色負荷負荷ZD2ZD3ZD1DDC24V±10％＋−SW1負荷ZD4負荷分離形多チャンネルセンサコントローラ（茶）＋V（青）0V（黒）アナログ電圧出力基準流量取込基準流量取込基準流量取込基準流量取込センサヘッド1ch主 回 路センサ（茶）＋V（青）0V（黒）アナログ電圧出力センサヘッド2ch主 回 路センサ（茶）＋V（青）0V（黒）アナログ電圧出力センサヘッド3ch主 回 路センサ（茶）＋V（青）0V（黒）アナログ電圧出力センサヘッド4ch主 回 路センサ主 回 路パソコン1231231234444123電源・スイッチ出力ケーブルシリアル通信ケーブル注注：電源・SW・通信ケーブルPSUW-□-Dのみあります。内部回路図・外部接続例注：ケーブル延長時にはケーブルの抵抗により電圧が低下しますので注意してください。 記号 D ：電源逆接保護用ダイオード ZD1〜ZD4：サージ電圧吸収用ツェナーダイオード Tr1〜Tr4 ：NPN出力トランジスタ図3図4ビット／秒（B）データビット（D）パリティ（P）ストップビット（S）フロー制御（F）： 9600： 8： 奇数： 1： Xon/Xoff16462015_05

Page 12:仕様形式●分離形多チャンネル流量センサコントローラ項目電源センサ入力SW出力表示設定方式一般電源電圧センサヘッド供給電圧消費電流対応センサヘッド接続可能センサ数入力電圧範囲最大入力電圧出力点数出力方式応答性負荷電圧負荷電流内部降下電圧出力モードスイッチ出力反転応差流量表示スイッチ出力表示（SW.OUT）流量表示チャンネル指示（A.S.OUT）本体部キー操作外部設定（オプション）注2使用温度範囲耐ノイズ耐電圧絶縁抵抗耐振動耐衝撃材質質量FSUDC24V±10％DC24V±10％注1100mA MAX.（センサへの供給電流含まず）定格流量・−500〜500mR/min（ANR）タイプ・−3〜3R/min（ANR）タイプ・0〜10R/min（ANR）タイプ1〜4DC1.0〜5.0V5.3V MAX.4点NPNオープンコレクタ3msDC30V MAX.50mA MAX.0.3V MAX./負荷電流5mA時ウィンドコンパレータモード 1 ウィンドコンパレータモード 3ウィンドコンパレータモード 2 ウィンドコンパレータモード 4ウィンドコンパレータモード 4のみ対応可変（2diNit以上で任意に設定可能）7セグメントLED、3桁表示ON時赤色LED点灯流量表示チャンネル緑色LED点灯：UP、 ：DOWN、 ：MODERS232Cによる−10〜50℃ 保存時−20〜80℃（結露、氷結なき事）IEC61000-4-4電源ライン：1KV（レベル2）センサ入力信号ライン：1KV（レベル3）AC500V 1分間DC500Vメガにて100MΩ以上88.3m/s2（複振幅1.5mm 10〜55Hz）490m/s2（非繰返し）ケース：PBT45g（ケーブル除く）注1：コントローラの電源電圧に対し、センサヘッドの供給電圧は0.5V MAX.下がります。 2：FSU-S-D-□-□のみとなります。コネクタ形式日本圧着端子製造（株）製B11B-XASK-1住友スリーエム（株）製37104-3101項 目電源データ入出力データ入力スイッチ出力RS232C注仕 様 1Pin：24V（赤） 2Pin：0V（黒） 3Pin：SW1（白） 4Pin：SW2（緑） 5Pin：SW3（黄） 6Pin：SW4（茶） 7Pin：0V（青） 8Pin：RXD（茶） 9Pin：TXD（黒）10Pin：N.C11Pin：N.C 1Pin：＋ V（茶） 2Pin：センサ出力（黒） 3Pin：0V（青） 4Pin：PIN配線仕様注：FSU-S-D-□-□のみとなります。16472015_05

Page 13:仕様流量センサヘッド 流量-出力特性表項目計測対象気体計測流量レンジ応答性出力信号使用温度範囲保存温度範囲使用・保存湿度範囲使用圧力範囲耐圧出力電圧精度標準流量特性再現性圧力特性温度特性電源電圧許容電圧変動範囲出力安定時間消費電流耐電圧絶縁抵抗接続形式材質取付け姿勢取付け条件直管長耐振動性質量電気接続（専用コネクタ接続）FS-R05空気/窒素、ただし検出流体が塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まないこと。および乾燥気体であること。ダスト、およびミスト（オイルミスト）を含まない清浄気体であること。− 500〜＋ 500mR/min20℃、1atmの体積流量換算値5ms以下（ステップ状の流量変化に対する95％応答）DC1〜5V（ノンリニア特性）、許容負荷抵抗 10kΩ以上0〜50℃（周囲温度、計測流体温度ともに）− 10〜60℃10〜80％ RH（ただし結露無きこと）− 100〜＋ 200kPa（ただし圧力特性保証範囲は− 70〜＋ 200kPa）300kPa±5％ FS MAX.0.0R/min：3.00±0.20V0.1R/min：3.77±0.20V0.3R/min：4.53±0.20V0.5R/min：5.00±0.20V±2％ FS MAX.計測時の温度、圧力は同条件とする±0.01％ FS/kPa − 70〜＋ 200kPaの圧力範囲において0.0R/min：±0.1％ FS/℃0.3R/min：±0.15％ FS/℃DC24V（センサコントローラから供給）DC21.6〜26.4Vの範囲にてDC24Vの時の出力値に対して±2％ FS以下注2最終到達電圧（流量）の±5％ FS以内に収まるまでに要する時間：瞬時 最終到達電圧（流量）の±1％ FS以内に収まるまでに要する時間：10s以内12mA MAX.外部コネクタ全端子—ボディ間：AC500V—1分間、またはAC600V—1秒間外部コネクタ全端子—ボディ間：50MΩ（DC500Vメガー）M5めねじ（黄銅製インサーション）、締め付けトルクは2.5N・m以下とすること接ガス部：PPS樹脂（流路本体）、セラミック（基板）、黄銅（接続部）カバー部：PC樹脂（ポリカーボネート）カバー部が下向きになる方向を除く本器の取付穴使用時は、M3のビスを使用し、締め付けトルクは0.6N・m以下とすること。また本器の上流側には10μm以上の粒径のダスト・ミストを捕捉できるフィルタを設置すること。上流・下流側ともに不要10〜55Hz、複振幅1.5mm、XYZ各方向2時間9g専用コネクタ付きケーブル流量センサヘッド側：日本圧着端子製造（株）製 SM03B-SRSS-G-TB相手側：同 SHR-03V-S-B（ハウジング）、SSH-003GA-P0.2（コンタクト）FS-100〜＋10R/min±5％FS MAX.0.0R/min：1.00±0.20V3.0R/min：3.89±0.15V5.0R/min：4.46±0.15V10.0R/min：5.00±0.20V±6％FS MAX.±0.01％FS/kPa（0〜＋200kPa）±0.03％FS/kPa（−70〜0kPa）0.0R/min：±0.1％FS/℃5.0R/min：±0.2％FS/℃形式●流量センサヘッド注1：表記の％FSは、出力電圧の4V（1-5V）をフルスケールとします。 2：計測レンジ上限流量付近では流量安定後に最大で±1％FS（流量安定から500秒後のドリフト量）出力変化が生じることがあります。FS-R3−3〜＋3R/min±5％FS MAX.0.0R/min：3.00±0.15V0.5R/min：3.88±0.15V1.5R/min：4.49±0.15V3.0R/min：5.00±0.20V±3.5％FS MAX.±0.01％FS/kPa0.0R/min：±0.1％FS/℃1.5R/min：±0.15％FS/℃流量-出力特性0.00.51.01.52.02.53.03.54.04.55.0−500−400−300−200−100 0 100 200 300 400 500流量 mR/min（ANR）出力（V）流量-出力特性0.00.51.01.52.02.53.03.54.04.55.0−3.0−2.5−2.0−1.5−1.0−0.5 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0流量 R/min（ANR）出力（V）流量-出力特性0.00.51.01.52.02.53.03.54.04.55.00.0 1.0 2.0 3.0 4.0 5.0 6.0 7.0 8.0 9.0 10.0出力（V）流量 R/min（ANR）●FS-R05 ●FS-R3 ●FS-1016482015_05

Page 14:注文記号寸法図（mm）7.830 52.652-M2.6×0.45深さ627.6325.340404桁LED圧力表示モードボタンLED（赤）A. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSULED（緑）DOWNボタンUPボタン4-オートスキャンチャンネル表示灯4-スイッチ出力表示灯（取付用ねじ穴）4-センサヘッド用コネクタ電源・SW・通信ケーブル用コネクタ35.41ch2ch3ch4ch配線ラベル4 : PIN3 : 0V2 : 1−5V1 : ＋V4TUO3TUO2TUO11110 12V０3TUO45678DXR9DXTSTRSTCSENSORV０VDC241ch2ch3ch4ch配線ラベル拡大図●FSU-S-□FSU S分離形多チャンネル流量センサコントローラアディショナルパーツ（別売部品）取付けブラケット●PSU-BR取付けパーツ無記入：なし B：取付けブラケット付 P：パネルマウント用パーツ付前面保護カバー 注1無記入：前面保護カバーなし C：前面保護カバー付注1：前面保護カバーはパネルマウント用パーツを選定した場合のみ選定ができます。 前面保護カバーのみでは分離形多チャンネル流量センサコントローラには取り付けできません。 2：FSU-Sの場合は、3L、5Lのみ選択可能。 FSU-S-Dの場合は、3LD、5LDのみ選択可能。 3：分離形多チャンネル流量センサコントローラを使用するには、センサヘッドFS-□が必要となります。別途ご注文ください。注1：FSU-Sのみに使用できます。 2：FSU-S-Dのみに使用できます。パネルマウント用パーツ前面保護カバー通信機能(RS232C)無記入：なし D：あり流量レンジ R05：− 500〜500mR/min（ANR） R3：− 3〜3R/min（ANR） 10：0〜10R/min（ANR）流量センサヘッド●PM100●KB100ミニクランプワイヤーマウントプラグ●PSU-M電源・SW・通信ケーブルセンサヘッド中継ケーブル流量センサヘッド●FS ●PSUK ●PSUW通信ケーブル無記入：なし注1 D：あり注2ケーブル長さ3L：3000mm5L：5000mmケーブル長さ3L：3000mm5L：5000mm電源・SW・通信ケーブル（添付）注2無記入：なし 3L：長さ3000mm通信ケーブルなし 5L：長さ5000mm通信ケーブルなし 3LD：長さ3000mm通信ケーブル付 5LD：長さ5000mm通信ケーブル付16492015_05

Page 15:10.532.5175.35.25 5.255.35.711.2 10.22-M5×0.8流入ポート 2-φ3.1取付穴フタ コネクタ接続口センサヘッド側コネクタ12.415.614.95.95Pin 12000±204 3 2 1●FS-□（L）Pin 1514.915.612.45.94321（20）φ2.6（20）123413.523.413.415.8106.4Pin 1ミニクランプワイヤーマウントプラグミニクランプワイヤーマウントソケット●PSUK-□29.89.5（50）（L）φ3.8（6芯）電源・スイッチ出力ケーブルφ2.6シリアル通信ケーブル注（3芯）7●PSUW-□-□2-φ4.59114.516112-φ2.99.6（7）2473043812.61.6●PSU-BR寸法図（mm）形式PSUK-3LPSUK-5LL30005000形式PSUW- □ -3LPSUW- □ -5LL30005000注：PSUW-D-□のみあります。六角穴付ボルトM2.6×0.45長さ5 2個添付16502015_05

Page 16:484 32.74855.4A. S. OUTS.W.OUTch1 2 3 4FSU● PSU- □ -P（パネルマウント用パーツ装着図）51.251.29.58● KB100707045＋0.6 045＋0.6 0●センサコントローラ取付穴加工寸法注 1：取付板の厚さは 1 〜 3.2mmとしてください。 2：隣接して取付ける場合は、上図の値以上間隔をあけてください。 3：DIN43700 準拠。16512015_05

Page 17:特殊製品のご案内VSRPVV：真空ポートVS：真空供給ポートR：排気ポートP：正圧ポート真空破壊流量調整ニードル流量センサヘッド形式:CRCB-0064W流量センサ搭載の真空バルブユニット（特殊製品）●流量センサ搭載の真空バルブユニット CRCB-0064WVPR流量センサヘッド V：真空ポートR：排気ポートP：正圧ポート真空破壊流量調整ニードル形式:CRCB-0065W流量センサ搭載のマイクロエジェクタ（特殊製品）●流量センサ搭載のマイクロエジェクタ CRCB-0065W注：詳しい仕様、寸法および納期につきましては最寄りの弊社営業所へお問い合わせください。16522015_05