ステンレスレギュレータRS

Page 1:エアオペレートバルブステンレスレギュレータ高圧用N2レギュレータ高圧N2ライン純水・溶剤タンク使用例 表示記号作動原理・内部構造クリーンルーム内での高感度な圧力バランス制御●液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス圧力制御、ブロー圧力制御、クリーンエア、ガスの圧力制御など、耐食性を必要とする食品関連、ノングリス、ノンオイルを必要とするラインに最適。●コンタミネーション管理された製造工程。●調圧ハンドルにプッシュ・ロック機構を採用。●平面取付けを容易にする取付ベースがオプション。●接ガス部はSUS316およびフッ素樹脂、フッ素ゴムを使用。●圧力計のオプション設定。●純水、溶剤圧送ライン※本回路は原理回路であり、推奨回路ではありません。また、使用ガスはN2に限られるものではありません。※このほかエアブロー、パージガスによる液面制御、一般回路による耐食性向上、ノングリス・ノンオイルを必要とする回路に使用可能です。●リリーフ●ノンリリーフ調圧ノブ（ハンドル）スプリングシートアジャスティングスクリューリングナット本体リリーフ穴ボンネットダイヤフラム密閉フタ調圧スプリングパッキン（Oリング）調圧バルブアッセンブリIN（1次側）OUT（2次側）バルブ戻りスプリング軸受クリーン度クリーンルーム外 クリーンルーム外クリーンルーム作業工程 組立て 検査 2重包装（取付ベース添付）出荷圧力計梱包注部品の粗洗浄特殊洗浄液による部品の完全脱脂10000（洗浄室）10000（組立室）100（ベンチ）パスBOX パスBOX注：圧力計はクリーンルーム外での1重包装になります。備考：図はリリーフ仕様。主要部材質名 称本体調圧ノブ（ハンドル）ボンネットダイヤフラム調圧スプリングパッキン調圧バルブアッセンブリ密閉フタ軸受バルブ戻りスプリングアジャスティングスクリュースプリングシートプラグ（添付）リングナット取付ベース（オプション）材 質SUS316樹脂（ABS）樹脂（PBT）フッ素ゴム（FKM）またはフッ素ゴム（FKM）にフッ素樹脂（PTFE）ライニングピアノ線（亜鉛めっき）フッ素ゴム（FKM）SUS316＋フッ素ゴム（FKM）またはSUS316＋フッ素ゴム（FKM）＋フッ素樹脂（PTFE）ライニングSUS316フッ素樹脂（PTFE）SUS316黄銅（ニッケルめっき）黄銅（ニッケルめっき）SUS316軟鋼（ニッケルめっき）SPCC（ニッケルめっき）14642014_10

Page 2:ダイヤフラム式M5×0.8, Rc1/8, Rc1/40.91.55〜600.228（本体, プラグ, 六角ナット含む）平面取付用ベース（質量0.035kg）寸法図（mm）注文記号仕様項目使用流体作動方式配管接続口径圧力設定範囲最高使用圧力耐圧使用温度範囲質量オプション形式MPaMPaMPa℃kgバルブ・ダイヤフラム接ガス材質圧力計取付ベースRS10□RS1000.05〜0.7G1：標準仕様（1MPa）RS1100.05〜0.7G1：標準仕様（1MPa）RS1010.05〜0.25G3：低圧仕様（0.3MPa）RS1110.05〜0.25G3：低圧仕様（0.3MPa）RS11□フッ素ゴムのみ（FKM）空気, N2, CO2, He, Arフッ素ゴム（FKM）,またはフッ素樹脂（PTFE）空気, N2, O2, CO2, He, Arステンレスレギュレータリリーフ・ノンリリーフ仕様0：リリーフ式1：ノンリリーフ式圧力設定範囲0：標準仕様（0.05〜0.7MPa）1：低圧仕様（0.05〜0.25MPa）配管接続口径M5：M5×0.801 ：Rc1/802 ：Rc1/4ゴム部接ガス材質無記入：フッ素ゴム（FKM） TF：フッ素樹脂（PTFE）注1圧力計注2無記入：なし G1：標準仕様（1MPa） G3：低圧仕様（0.3MPa）取付ベース無記入：なし B：取付ベース付φ42.5236.334（58.5）4556273437969.6(MAX.)ロック時67.6(MIN.)3014.5IN OUTOUT2-Rc1/4 M24×1.5取付ベース圧力計接続口（プラグ1個添付）2-φ5.5（取付穴）M5: 2-M5×0.801 : 2-Rc1/802 : 2-Rc1/4M5:1401:1902:19M5:2101:1902:192121ININリングナット二面幅2-M3×0.5 深さ5注1：-TFはノンリリーフ式のみ適応。 2：本体の圧力設定範囲により標準または低圧の圧力計を選択してください。RS1 - - - -備考：ステンレスレギュレータをパネルなどに取り付ける場合の取付穴はφ24.5です。 板厚：MAX.314652014_10

Page 3:流量特性圧力特性100000.10.20.30.40.50.6200 300 4002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）000.050.10.150.20.25100 200 300 4002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）100000.10.20.30.40.50.6200 300 4002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）000.050.10.150.20.25100 200 300 4002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）100000.050.10.150.20.25200 300 400 500 600 700 8002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）100000.10.20.30.40.50.6200 300 400 500 600 700 8002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）100000.10.20.30.40.50.6200 300 400 500 600 700 8002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）100000.050.10.150.20.25200 300 400 500 600 700 8002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）100000.10.20.30.40.50.6200 300 400 500 600 700 8002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）100000.10.20.30.40.50.6200 300 400 500 600 700 8002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）100000.050.10.150.20.25200 300 400 500 600 700 8002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）100000.050.10.150.20.25200 300 400 500 600 700 8002次側圧力MPa2次側流量 R/min（ANR）000.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9MPa1次側圧力 MPa000.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.92次側圧力2次側圧力MPa1次側圧力 MPa000.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.92次側圧力MPa1次側圧力 MPa000.20.150.250.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.92次側圧力MPa1次側圧力 MPa0.20.150.250.20.150.250.20.150.25設定点 設定点 設定点 設定点●RS100-M5 ●RS101-M5 ●RS110-M5-TF ●RS111-M5-TF●RS100-01 ●RS101-01 ●RS110-01-TF ●RS111-01-TF●RS100-02 ●RS101-02 ●RS110-02-TF ●RS111-02-TF●RS100 ●RS101 ●RS110-□-TF ●RS111-□-TF備考：グラフは1次側圧力が0.7MPa一定時での流量特性です。14662014_10

Page 4:圧力計仕様圧力計寸法図（mm）項目使用流体配管接続口径圧力表示範囲精度外径最高使用圧力使用温度範囲質量空気, N2, O2, CO2, He, Ar1/4F.S. ±2.5%42.55〜600.091G1S-400〜1.00.93G3S-400〜0.30.25形式RMPammMPa℃kg圧力計材質名 称ケース株ブルドン管透明カバー材 質SPCC（黒色塗料）SUS316SUS316樹脂（PC）（47.5）26.8 20.712φ42.5□14R1/4MPa00.20.4 0.60.81 MPa00.1 0.20.3G□S-40●G1S-40 標準仕様1MPa●G3S-40 低圧仕様0.3MPa圧力計単体注文記号例圧力表示範囲1：標準仕様1MPa3：低圧仕様0.3MPaステンレスレギュレータ使用上の注意事項調圧1.調圧はハンドルを確実に引き出した状態で行ない、右回転（時計回り）させると増圧し、左回転（反時計回り）させると減圧します。2.調圧後は、ハンドルを本体側に押し込んでロックします。取付･配管1.本体の配管接続ポートには、INポートのみに刻印で「IN」とあります。これに対応する裏面ポートがOUTポートとなりますので、ご注意ください。2.パネルマウントをする場合は、パネル取付穴径をφ24.5としてください。レギュレータの取付リングを締め付ける時は下記の最大締付トルクを守って取り付けてください。その以上の力で締め付けると破損する可能性があります。 3.リリーフ式の場合、リリーフするエア（ガス）は樹脂ボンネット部より外部に排出されます。また、そのエア（ガス）の回収はできません。4.圧力計を取り付ける際は、圧力計の配管接続口の四角部をスパナ掛けに使用してください。一般注意事項1.一次側にバルブを設置し、一次側圧力を繰り返し切り換えるような使い方は避けてください。2.ステンレスレギュレータに配管する前に、必ず配管内のフラッシングを十分に行なってください。3.使用流体は空気 ,N2 ,O2 ,CO2 ,He ,Ar を使用し、それ以外の流体は使用しないでください。またリリーフ仕様に使用できる流体は空気 ,N2 ,CO2 ,He ,Arのみです。それ以外の流体は使用しないでください。4.流体および雰囲気中に下記のような物質が含まれているときは使用できません。 有機溶剤、酸類、塩素等。5.周囲温度が使用温度範囲を超える場所での使用は避けてください。6.最高使用圧力を超える使用は避けてください。7.この製品は、産業用です。人命に関する装置には使用しないでください。8.製品には、外部より無理な力がかからない様にしてください。9.分解、改造はしないでください。10.製品は、紫外線及び風雨にさらさないでください。11.製品を廃棄する場合は、産業廃棄物として廃棄してください。形式 最大締付トルクRSI1□□ 4N・m 1.レギュレータは、使用条件等によりウナリ（振動）音が発生する事があります。対策につきましては最寄りの弊社営業所へご相談ください。 2.設定は、１次側圧力および２次側の圧力計の表示を確認しながら行なってください。必要以上にハンドルを回し過ぎますと、内部部品の破損の原因になります。回し過ぎにご注意ください。14672014_10