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高精度測定を実現!非接触溝厚さ測定機 THG

製品カタログ

従来の1/2以下の価格で提供

◆接触子やレーザーなどでは正確に届かない狭い溝底やパターンなどの高さ位置をターゲットマークが的確にとらえ高精度測定を実現します。
◆メカニカルステージを採用し、厚み(Z軸)測定に特化することで、軽量・コンパクトを実現し、従来の1/2以下の価格で提供します。
◆小型化した新ターゲットマークと適正カメラの採用により、溝幅の微細化が進む中でも溝の底面に、より正確なフォーカス合わせを可能にしました。

◆詳細はカタログをダウンロードしご覧ください。

このカタログについて

ドキュメント名 高精度測定を実現!非接触溝厚さ測定機 THG
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 487Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 ユニオン光学株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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