カタログの表紙
カタログの表紙

このカタログをダウンロードして
すべてを見る

ダウンロード(1.6Mb)

非接触溝厚さ測定機 THG

製品カタログ

軽量・コンパクトを実現し、従来の1/2 以下の価格で提供

【特徴】
●接触子やレーザーなどでは正確に届かない狭い溝底やパターンなどの
 高さ位置をターゲットマークが的確にとらえ高精度測定を実現します。
●メカニカルステージを採用し、厚み (Z 軸)測定に特化することで
 軽量・コンパクトを実現し、従来の1/2以下の価格で提供します。
●小型化した新ターゲットマークと適正 カメラの採用により
 溝幅の微細化が進む中でも溝の底面により正確なフォーカス合わせを可能にしました。

このカタログについて

ドキュメント名 非接触溝厚さ測定機 THG
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.6Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 ユニオン光学株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

この企業の関連カタログ