このカタログについて
| ドキュメント名 | CMP Polisher & Post CMP cleaning machine |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.2Mb |
| 取り扱い企業 | ケメット・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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CMP Polisher & Post CMP cleaning machine
～6”CMP 卓上型～6”CMP ～8”CMP
BC-15CN
ARW-461M ARW-681MSⅡ
～12”CMP ～8”Post CMP ～12” Post CMP
ARW-8C1M ZAB-8S1M ZAB-8C5A
ＣＭＰ機種 特徴 対応Wfサイズ プラテンサイズ プラテン/ヘッド フットプリント(mm)
卓上型でコンパクトな設計。 チップサイズ～
BC-15CN φ380mm 1個/1個 W850xD600xH800
マニュアルローディング 150mm
マニュアルローディング。
MAT-ARW-461MSⅡ φ3″～150mm φ610mm 1個/1個 W1375xD855xH2200
クラス最小のフットプリント。
マニュアルローディング。
MAT-ARW-681MSⅡ φ3″～200mm φ610mm 1個/1個 W1375xD855xH2200
クラス最小のフットプリント。
マニュアルローディング。
MAT-ARW-8C1MS φ3″～300mm φ810mm 1個/1個 W1800xD1100xH2250
クラス最小のフットプリント。
洗浄機 特徴 対応Wfサイズ チャンバー数 チャンバー機能 フットプリント(mm)
片面ブラシスクラブ・
ZAB-8S1M 薬液ライン酸性・アルカリ性の薬液に対応。 φ3″～200mm 1個 W1100xD700xH1450
スピン乾燥
薬液ライン酸性・アルカリ性の薬液に対応。 両面ブラシスクラブ・
ZAB-8C5A 200,300mm 3個 W4500xD2000xH2200
自動ローディング。 スピン乾燥
お問合せ先
ケメット・ジャパン株式会社 東京青梅工場 MAT事業部
〒198-0171東京都青梅市二俣尾3丁目841番地１
TEL:0428-78-8402 FAX: 0428-78-9773
info@kemet.jp
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CMP Consulting
ケメットジャパン MAT事業部の技術紹介
CMP受託加工サービス事例
他にもこんな特徴があります!
お客様のご要望に合わせた装置カスタマイズ
東京青梅工場ラボでの見学・デモテストが可能
装置販売だけでなく、研磨・洗浄に関する技術コンサルティング
ＣＭＰの他に、ＢＧ（裏面研削＆ポリッシュ）、ダイシングの受託加工サービスもございます