プローブとアクセサリ

プローブとアクセサリ ローデ・シュワルツのオシロスコープ用 Product Brochure Version 17.00

概要 オシロスコープによるテストアプリケーションには、複雑な電子回路のデバッグや、高速バスの シグナルインテグリティーの測定、危険な高電圧レベルのパワーエレクトロニクスの特性評価 などがあります。測定確度とオペレーターの安全性は、使用するプローブとアクセサリに依存し ます。 ローデ・シュワルツのパッシブプローブは、低周波信号を扱う一 パワーエレクトロニクスの測定の際には、オペレーターの安全 般的な測定アプリケーションに最適なアクセサリです。スプリン が最優先事項です。ローデ・シュワルツでは、CAT IIIまでの測定 グ内蔵の極細チップにより、信号線との精密で信頼性の高いコ に対応した高電圧プローブと電流プローブを提供しています。 ンタクトが可能です。 EMC近磁界プローブは、オシロスコープの新しい用途を開拓し アクティブ広帯域プローブは、DUTに対する負荷が小さいこと ます。R&S®RTO オシロスコープと近傍界プローブを組み合わ が重要な場合や、測定信号に高周波信号成分が含まれる場合 せると、高い感度と強力なスペクトラム解析機能により、EMC に最適です。ローデ・シュワルツの広帯域プローブは、きわめて の問題を解析するための強力なツールとなります。 小さい負荷と広いダイナミックレンジを備えています。内蔵され た高精度DC電圧計により、オシロスコープの設定とは無関係 に、信号線のDC電圧レベル（差動とシングルエンド）を簡単に 測定できます。設定可能な内蔵マイクロボタンにより、複数のプ ローブを使用した測定の際に、オシロスコープを容易に操作で きます。さまざまな種類のプローブアクセサリが用意されてい るので、最適なコンタクトを実現できます。 主な特長 ► あらゆるアプリケーションに対応するプローブ：差動／シングルエンド電圧測定、電流 測定、EMC近傍界測定 ► 最大1 MΩ || 0.3 pFの高い入力インピーダンスによるきわめて小さい負荷と、 ±8 Vの広いダイナミックレンジを備えたアクティブプローブ ► 容量性負荷が小さく、柔軟で設定可能な接続に対応したモジュラー広帯域プローブ ► R&S®ProbeMeter：精密DC測定用の内蔵電圧計（測定の不確かさは0.1 %） ► 設定可能なマイクロボタンによるシンプルな操作 ► 柔軟なコンタクトを実現する、さまざまなアクセサリ ► パッシブプローブは、ローデ・シュワルツのすべてのオシロスコープに付属 2

モデル パッシブプローブ パッシブ広帯域プローブ アクティブ広帯域プローブ ► ページ 8 ► ページ 10 ► ページ 12 モジュラー広帯域プローブ パワーレール・プローブ マルチチャネル・パワープローブ ► ページ 18 ► ページ 20 ► ページ 22 高電圧プローブ 電流プローブ ► ページ 26 ► ページ 30 EMC近磁界プローブ ► ページ 32 Rohde & Schwarz プローブとアクセサリ  3

適切なプローブの選択 適切なプローブの選択の最初のステップは、測定作業の分析です。必要なのはシングルエンド 測定と差動測定のどちらですか？伝送する必要がある最大周波数成分は？発生する可能性が ある最大入力電圧は？ 差動測定とシングルエンド測定 作動プローブを使用すると、2つのテストポイントのどちらもがグランドに接続されていない測定が可能です。例としては、グランド に接続されていないコンポーネントの電圧測定があります。これは、スイッチング電源の特性評価の際に必要になります。また、差 動プローブは、差動信号の低雑音測定のためにも必要です。 差動プローブは、シングルエンド測定にも使用できます。シングルエンドプローブの一般的な利点としては、高い入力インピーダン ス、小さい入力容量、広いダイナミックレンジがあります。 帯域幅と立ち上がり時間 帯域幅は、プローブを選択する際の最も重要なパラメータの1つです。これは、信号が実際よりも3 dB（約30 %）以上小さく表示さ れるカットオフ周波数を定義します。信号を正確に表現するには、測定システム（オシロスコープとプローブ）のカットオフ周波数 が、表示する最大周波数成分よりも高いことが必要です。デジタル信号測定の測定帯域幅は、クロックレートの3～5倍にする必要 があります（デジタルデザインのデバッグの場合には、3倍の帯域幅があれば十分です。デジタルインタフェースのコンフォーマンス テストを行うには、クロックレートの5倍の帯域幅が必要です）。 スイッチング電源の特性評価など、高速なスロープの測定を行う場合は、測定システム（オシロスコープとプローブ）の立ち上が り時間が重要なパラメータです。精密な測定を行うには、測定システムの立ち上がり時間が、測定するパルスの立ち上がり時間の 1/3～1/5であることが必要です。 ダイナミックレンジ プローブのダイナミックレンジは、測定可能な最大入力電圧で定義されます。仕様はDC電圧に対するものであり、通常は周波数 が上がると減少します。差動プローブの場合、コモンモードと差動モードのダイナミックレンジは区別されます。コモンモードのダ イナミックレンジは、グランドを基準として測定された、1つの差動入力の有効入力電圧範囲を決定します。差動モードのダイナミ ックレンジは、測定可能な最大入力差動電圧を定義します。 大振幅の急峻なスロープを正確に測定するには、高周波で十分に広いダイナミックレンジが得られることが必要です。DCスイッチ ング電源の残留リップルを測定する場合は、大きいDC成分を持つきわめて小さい信号を測定する必要があります。A/Dコンバー ターの分解能をフルに利用するために、最近のプローブにはDCオフセットを供給するオプションが用意されています。A/Dコンバ ーターの分解能をフルに利用するために、最近のプローブにはDCオフセットを供給するオプションが用意されています。 高電圧プローブの場合は、オペレーターの安全性が重要な考慮事項となります。このために、高電圧プローブには、特殊な絶縁 や、意図しないコンタクトに対する保護といった保護機構が組み込まれています。このようなプローブの仕様には、グランドに対す る最大電圧と、測定カテゴリが記載されています。測定カテゴリは、オペレーターが保護される測定環境を定義します。プローブ は、必ず定義された測定カテゴリで使用する必要があります。 4

被測定デバイスへの負荷 信号の劣化を防ぎ、DUTの機能が阻害されないようにするために、測定システムは被測定回路に過大な負荷を与えないことが必 要です。そのためには、入力インピーダンスが高く、入力容量が小さいプローブを使用することが鍵となります。入力インピーダン スは周波数に大きく依存し、通常はプローブのカットオフ周波数で500 Ω未満です。 パッシブプローブの入力インピーダンスは一般的に10 MΩで、入力容量は10 pFを超えます。一般的に、アクティブプローブの入力 容量は1 pF未満（入力インピーダンスが1 MΩの場合）で、100 MHzを超える高速信号回路の測定に特に適しています。測定の際 には、DUTとのコンタクトに適したプローブアクセサリを選択することが重要です。ピンやリードが長いと、キャパシタンスとインダ クタンスが増加し、最大測定帯域幅が小さくなり、パルススロープに過剰なオーバーシュートやリンギングといった現象が発生しま す。 拡張機能とプローブアクセサリ 性能パラメータに加えて、日常の作業を簡単にしてくれる補助機能も考慮する必要があります。例としては、内蔵デジタル電圧計 やマイクロボタンがあります。マイクロボタンは、オシロスコープをプローブから直接制御するためのもので、ボタンの機能は設定 可能です。 さまざまなアクセサリを使用することにより、テストポイントへのコンタクトを柔軟に実現し、オペレーターの日々の作業を容易に し、測定誤差を防ぐことができます。使用可能なアクセサリには、リジッド／スプリング内蔵チップ、ブラウザー、アダプター、延長リ ードなどがあります。ローデ・シュワルツでは、あらゆるプローブ向けに各種アクセサリを用意しています。 Rohde & Schwarz プローブとアクセサリ  5

プローブ オシロスコープファミリー（R&S®） インタフェース RTH1000 RTC1000/RTB2000 RTM3000/RTA4000 RTE RTO RTP パッシブプローブ ► ページ 8 R&S®RT-ZP1X BNC 2) R&S®RT-ZI10/10C/11 BNC R&S®RT-ZP03S/5S BNC R&S®RTM-ZP10 BNC R&S®RT-ZP10 BNC 2) パッシブ広帯域プローブ ► ページ 10 R&S®RT-ZZ80 SMA/BNC アクティブ広帯域プローブ ► ページ 12 R&S®RT-ZS10L 1) BNC R&S®RT-ZS10E/10/20/30/60 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース R&S®RT-ZD10/20/30/40 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース モジュラー広帯域プローブ ► ページ 18 R&S®RT-ZM15/30/60/90/130/160 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース パワーレール・プローブ ► ページ 20 R&S®RT-ZPR20/40 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース マルチチャネル・パワープローブ ► ページ 22 R&S®RT-ZVC02/04 R&S®RTE/R&S®RTO MSOインタフェース 高電圧プローブ ► ページ 26 R&S®RT-ZH03/10/11 BNC 2) R&S®RT-ZD01 R&S®RT-ZHD07/15/16/60 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース 2) 電流プローブ ► ページ 30 R&S®RT-ZC02/03 BNC 2) R&S®RT-ZC10/20/30/31 BNC 2) R&S®RT-ZC05B/10B/15B/20B ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース 2) EMC近磁界プローブ ► ページ 32 R&S®HZ-15/17 BNC 1) プローブには50 Ωの入力カップリングが必要。1 MΩ入力のオシロスコープには、BNCフィードスルー終端アダプターが必要。 2) R&S®RT-Z1M 1 MΩアダプターが必要。 推奨 使用可能 6

プローブ オシロスコープファミリー（R&S®） インタフェース RTH1000 RTC1000/RTB2000 RTM3000/RTA4000 RTE RTO RTP パッシブプローブ ► ページ 8 R&S®RT-ZP1X BNC 2) R&S®RT-ZI10/10C/11 BNC R&S®RT-ZP03S/5S BNC R&S®RTM-ZP10 BNC R&S®RT-ZP10 BNC 2) パッシブ広帯域プローブ ► ページ 10 R&S®RT-ZZ80 SMA/BNC アクティブ広帯域プローブ ► ページ 12 R&S®RT-ZS10L 1) BNC R&S®RT-ZS10E/10/20/30/60 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース R&S®RT-ZD10/20/30/40 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース モジュラー広帯域プローブ ► ページ 18 R&S®RT-ZM15/30/60/90/130/160 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース パワーレール・プローブ ► ページ 20 R&S®RT-ZPR20/40 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース マルチチャネル・パワープローブ ► ページ 22 R&S®RT-ZVC02/04 R&S®RTE/R&S®RTO MSOインタフェース 高電圧プローブ ► ページ 26 R&S®RT-ZH03/10/11 BNC 2) R&S®RT-ZD01 R&S®RT-ZHD07/15/16/60 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース 2) 電流プローブ ► ページ 30 R&S®RT-ZC02/03 BNC 2) R&S®RT-ZC10/20/30/31 BNC 2) R&S®RT-ZC05B/10B/15B/20B ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース 2) EMC近磁界プローブ ► ページ 32 R&S®HZ-15/17 BNC 1) プローブには50 Ωの入力カップリングが必要。1 MΩ入力のオシロスコープには、BNCフィードスルー終端アダプターが必要。 2) R&S®RT-Z1M 1 MΩアダプターが必要。 推奨 使用可能 Rohde & Schwarz プローブとアクセサリ  7

パッシブプローブ パッシブプローブは、ローデ・シュワルツのオシロスコープに標準で付属するアクセサリです。さ まざまなアプリケーションに対応する低コストの汎用プロービングソリューションです。 ユニバーサルアプリケーション ローデ・シュワルツのパッシブプローブは、きわめて汎用的なプローブです。さまざまなアプリケーションに対応する低コストの汎 用プロービングソリューションです。BNCコネクタを備えているので、ほぼすべてのオシロスコープで使用できます。リードアウトピ ンを備えたプローブをローデ・シュワルツのオシロスコープに接続すると、減衰比が自動的に検出されます。スプリング内蔵のチッ プにより、DUTとの信頼性の高いコンタクトが可能です。 パッシブプローブ：あらゆるオシロスコープに対応する汎用プローブ 複数のプローブを使用する際に信頼性の高いコンタクトを実現する R&S®RT-ZA4 ミニクリップとR&S®RT-ZA5 マイクロクリップ 最適なコンタクトのためのR&S®RT-ZA1 アクセサリセット 8

個別調整による精密測定 豊富なアクセサリ 最適な測定確度を実現するために、プローブ帯域幅が350 MHz ローデ・シュワルツでは、最適なコンタクトのために、R&S®RT-ZA1 より大きいパッシブプローブには、オシロスコープの入力インピ パッシブプローブ用アクセサリセットを提供しています。キットの内 ーダンスに合わせた調整が必要です。ローデ・シュワルツから提 容は、予備のスプリング内蔵チップ、リジッドチップ、グランド接点 供されているR&S®RTM-ZP10およびR&S®RT-ZP10 500 MHz スプリング、グランドリード、カラーコードリングです。 パッシブプローブは、それぞれR&S®RTMおよびR&S®RTP/RTO/ RTE/RTA オシロスコープ用にあらかじめ調整されています。 モデル 帯域幅 減衰比 入力インピー ダンス ダイナミックレンジ コメント オーダー 番号 プローブ R&S®RT-ZP1X 38 MHz 1:1 1 MΩ || 2.5 mmプローブチップ、スプリング 39 pF 55 V (RMS) CAT II 内蔵 1333.1370.02 : Ω || 高信頼性5 mmプローブチップ、リード R&S®RT-ZP03S 300 MHz 10 1 10 M 12 pF 400 V (RMS)/55 V (RMS) アウトなし 1803.1001.02 R&S®RT-ZP05S 500 MHz 10:1 10 MΩ || 10 pF 300 V (RMS) 5 mmプローブチップ、スプリング内蔵 1333.2401.02 R&S®RTM-ZP10 500 MHz 10:1 10 MΩ || 400 V (RMS)、 2.5 mmプローブチップ、スプリング内 9.5 pF 1409.7708.02 300 V (RMS) CAT II 蔵、R&S®RTM用に調整済み : Ω || 400 V (RMS)、 2.5 mmプローブチップ、スプリング内 R&S®RT-ZP10 500 MHz 10 1 10 M 9.5 pF 蔵、 用に調整済み 1409.7550.00 300 V (RMS) CAT II R&S®RTO/RTE/RTA R&S®RT-ZI10 500 MHz 10: 600 V (RMS) CAT IV、 1 10 MΩ || 12 pF R&S®Scope Rider RTH用 1326.1761.02 1000 V (RMS) CAT III コンパクトなラボ用プローブ、 R&S®RT-ZI10C 500 MHz 10:1 10 MΩ || 11 pF 300 V (RMS) CAT III 1326.3106.02 R&S®Scope Rider RTH用 R&S®RT-ZI10C-2 500 MHz 10:1 10 MΩ || 11 pF 300 V (RMS) CAT III R&S®RT-ZI10Cの2個パック 1333.1811.02 R&S®RT-ZI10C-4 500 MHz 10:1 10 MΩ || 11 pF 300 V (RMS) CAT III R&S®RT-ZI10Cの4個パック 1333.1328.02 アクセサリ R&S®RTM-ZP10/RT-ZP10/RT-ZP1X用 R&S®RT-ZA1 アクセサリセット 1409.7566.02 R&S®RT-ZA4 ミニクリップ 1416.0428.02 R&S®RT-ZA5 マイクロクリップ 1416.0434.02 R&S®RT-ZA6 リードセット 1416.0440.02 R&S®RT-ZI10/RT-ZI11用 R&S®RT-ZA21 拡張セット 1326.1984.02 R &S®RT-ZP03S/-ZP05S/-ZH03用プロ ーブ・チップ・アクセサリ・セット、付属 R&S®RT-ZA40 品：リジッドおよびフレキシブル・プロ 1338.0742.02 ーブ・チップ Rohde & Schwarz プローブとアクセサリ  9

パッシブ広帯域プローブ 低雑音で、高いリニアリティを実現した広帯域パッシブプローブは、制御インピーダンスライン 測定のための低コストなソリューションです。コンパクトなデザインにより、実装密度の高いプリ ント基板上の測定も容易です。 制御インピーダンスライン測定のための低コストな代替 R&S®RT-ZZ80 8 GHzプローブは、減衰比が10:1で、入力インピ 手段 ーダンスは500 Ω || 0.3 pFです。付属のSMA-BNCアダプター パッシブ広帯域プローブは、低インピーダンスライン上の高速 経由で、プローブのSMAプラグをオシロスコープに接続します。 信号を測定する際に、アクティブプローブの代わりに低コスト このプローブは、R&S®RTO オシロスコープのメニューから、定 で強力な測定手段として使用できます。入力インピーダンスは 義済みのプローブとして容易に選択できます。このように単純 アクティブプローブに比べて低くなりますが、周波数レンジ全体 な手順で、測定器の設定を行うことができます。 でほぼ一定です。入力容量はきわめて小さく低雑音です。さら にリニアリティが高いので、スペクトラム解析アプリケーション に最適です。 パッシブ広帯域プローブ：制御インピーダンスライント測定のための強力な代替手段 10

カスタマイズされたアクセサリによる最大帯域幅 プローブの最大帯域幅は、使用するアクセサリによって決まりま す。ローデ・シュワルツでは、プローブとアプリケーションに合わ せたアクセサリを提供していて、さまざまなコンタクト手法によ り最大の帯域幅を利用できます。R&S®RT-ZZ80の標準アクセサ リとしては、はんだ付けピン、リジッドチップ、はんだ付けグラン ドピン、スプリング内蔵グランドチップ、ピンコネクタ用アダプタ ーなどが用意されています。プローブチップはすべて同じデザイ ンなので、R&S®RT-ZZ80のアクセサリは、シングルエンドと差動 の両方のアクティブプローブ（R&S®RT-ZS60とR&S®RT-ZD40） で使用できます。 入力インピーダンス対周波数 1 MΩ R&S®RT-ZS30 R&S®RT-ZS60 R&S®RT-ZZ80 100 kΩ 10 kΩ 1 kΩ 100 Ω 10 Ω 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 10 MHz 100 MHz 1 GHz 10 GHz 周波数 R&S®RTOのSMAまたはBNCコネクタによる定義済みプローブの選択 モデル 帯域幅 減衰比 入力インピー ダイナミック ダンス レンジ コメント オーダー番号 プローブ 20 V (RMS) R&S®RT-ZZ80 8 GHz 10:1 500 Ω || 0.3 pF 最大入力電圧 SMA-BNCアダプター付属 1409.7608.02 Rohde & Schwarz プローブとアクセサリ  11 |入力インピーダンス|

アクティブ広帯域プローブ ローデ・シュワルツでは、さまざまな種類のアクティブ広帯域プローブを提供しています。これら は、1 MΩという高い入力インピーダンス、1 pF未満の小さい入力容量、広いダイナミックレンジ を備えています。プローブ内でのオフセット補正、内蔵の高精度電圧計、オシロスコープの便利 な制御が可能なマイクロボタンなどの便利な補助機能も、これらのプローブの特長です。 広帯域デザイン 測定信号への影響の最小化 広帯域プローブを実現するには、ASICの使用が必須です。ロー 最近のエレクトロニクスデザインに使用される高速信号を測 デ・シュワルツのASICは、高い性能を実現するために、注意深 定する場合は、プローブによる負荷を小さく抑えることが必要 く設計されています。これにより、高いDC確度と、温度と時間に です。ローデ・シュワルツのアクティブプローブは、1 MΩの入力 よるドリフトの最小化が実現されています。製造過程で個々の インピーダンスと1 pF未満の入力容量により、この要件を満た プローブにレーザートリミングを施すことにより、高い確度と、 します。これにより、測定中にプローブが回路に及ぼす影響を きわめてフラットな周波数応答を実現しています。コンタクトア 最小化できます。プローブチップとアクセサリの最適化された クセサリも、手動コンタクト、はんだ付け、プラグイン接続など、 デザインにより、正確な立ち上がり時間が得られ、オーバーシュ さまざまなコンタクト方法で広い測定帯域幅を実現するように ートとリンギングを最小化できます。 設計されています。コンパクトなプローブヘッドにより、実装密 度の高いプリント基板上の測定にも対応し、軽量なのでコンタ クトポイントへの負荷も小さくなります。 R&S®RT-ZS10/20/30 R&S®RT-ZS60 R&S®RT-ZD10/20/30 R&S®RT-ZD40 ローデ・シュワルツのアクティブ広帯域プローブは、アプリケーションに応じてさまざまなヘッドが使用可能（例、R&S®RT-ZS60/-ZD40：入力容量を特別に小さ くした特殊なヘッドデザイン） 12

広いダイナミックレンジと高いリニアリティ: スペクトラム R&S®ProbeMeter：内蔵の高精度電圧計 解析に最適 内蔵電圧計は、ローデ・シュワルツのアクティブプローブの特長 ローデ・シュワルツのすべてのアクティブ広帯域プローブは、高 です。これはオシロスコープとは独立に動作し、信号のDC成分 い周波数で使用する場合を含めて、広いダイナミックレンジを を0.1 %の確度で測定できます。R&S®ProbeMeterでは、オシロ 備えています。これにより、非常に高速な信号や、急峻な大振幅 スコープの設定と無関係に、常にフル・ダイナミック・レンジが パルススロープも測定できます。リニアリティ要件が特に厳し 利用できます。これにより、供給電圧や動作点の精密な測定を い測定（R&S®RTO オシロスコープを使用したFFT解析など）に 簡単に実行し、DC成分をボタン1つで自動的に補正して、AC測 は、リニアリティが特別に高いR&S®RT-ZS60 シングルエンドプ 定を最適なダイナミックレンジで実行できます。差動プローブ ローブが最適です（16 V（ピークツーピーク）、1 GHzでのTHD の場合は、入力信号の差動成分とコモンモード成分の両方の が－70 dB）。オプションのR&S®RT-ZA9 N（オス）アダプターを DC成分を同時に測定できます。 使用すると、ローデ・シュワルツの広帯域プローブを、スペクト ラム／シグナル・アナライザで使用できます。 内蔵メモリと将来に対応したプローブインタフェース ローデ・シュワルツのアクティブ広帯域プローブにはデータメ 内蔵されたマイクロボタンによる便利な測定器制御 モリが内蔵され、プローブ固有の校正データが記憶されていま 複数のプローブを使用する測定では、オシロスコープを操作す す。これにより、最大の確度が得られ、プローブを自動的に検出 るのに手が3本必要になることがよくあります。プローブチップ できます。アクティブプローブのプローブインタフェースは、最大 に内蔵されたマイクロボタンを使えば、この問題は解決します。 18 GHzの信号を伝送できる精密BNC互換コネクタを備えてい このボタンは、ローデ・シュワルツのオシロスコープ上の設定に ます。これらのプローブは、ローデ・シュワルツの将来の広帯域 より、実行／停止、自動設定、波形の保存など、さまざまな機能 オシロスコープでも使用できます。 を実行できます。 オシロスコープ上でのマイクロボタンの柔軟な設定 R&S®ProbeMeter：高いDC測定確度、測定器設定と独立に測定チャネルと並 行して使用可能 Rohde & Schwarz プローブとアクセサリ  13

シングルエンド広帯域プローブ きわめて広いダイナミックレンジ、非常に小さいオフセット／利得誤差、適切なアクセサリを備 えたこれらのプローブは、ローデ・シュワルツのオシロスコープに最適なアクセサリです。 アクティブプローブの高い信号再現性 追加のオフセット補正による広いダイナミックレンジ グランド基準信号の正確な測定には、シングルエンド・アクティ ローデ・シュワルツのシングルエンド・アクティブプローブは、広 ブプローブが使用されます。高速信号と低周波信号の両方を いダイナミックレンジに加えて、オフセット補正機能を備えてい 精密に測定でき、プローブインピーダンスによるテストポイント ます。これにより、測定信号のDC成分を補正して、必要な信号 への負荷を最小にすることが重要な場合に適しています。ロー 成分をオシロスコープ上に最大の分解能で表示できます。30 V デ・シュワルツでは、最大帯域幅6 GHzのさまざまなモデルを の最大入力電圧により、プローブが過負荷によって損傷される 提供しています。ローデ・シュワルツのシングルエンド・アクティ のを防ぐことができます。 ブプローブは、1 MΩという高い入力インピーダンス、0.3 pFと いう小さい入力容量、入力基準で最小2 mV（RMS）のノイズと 低電圧シングルエンドプローブは、一般的に、グランドを基準と いった特長を備えています。 する12 Vまでの高速信号の測定に用いられます。 きわめて小さいオフセット／利得誤差、最小の温度ドリ フト ローデ・シュワルツのシングルエンド・アクティブプローブは、き わめて小さいオフセット／利得誤差が特長です。最小の利得ド リフトとオフセット補正の組み合わせにより、測定が長時間に わたる場合や、温度が変化する場合でも、精密な測定が可能で す。測定中に頻繁に補正を実行する必要がなくなるので、日常 の測定作業がシンプルになります。 広いダイナミックレンジ：±8 V、±12 V（R&S®RT-ZS60では ±10 V）の追加のオフセット補正により拡張可能 +30 V +20 V オーバーロード オフセット＋10 V +10 V +8 V ダイナミックレンジ オフセット範囲 0 V ±8 V ±10 V –8 V オフセット－10 V –10 V –20 V –30 V 最大±30 Vの非破壊入力電圧 実用的なデザイン：マイクロボタンによる便利な測定器制御 さまざまな種類のプローブチップとグランドケーブルが標準で付属。 14

高い信号忠実度を実現するアクセサリ ローデ・シュワルツ・プローブインターフェース拡張セット ローデ・シュワルツのすべてのシングルエンド・アクティブプロ R&S®RT-ZA50およびR&S®RT-ZA51アダプタを組み合わせて使 ーブには、高品質のアクセサリが付属しています。例えば、 用することで、ローデ・シュワルツ・プローブインターフェースの R&S®RT-ZS60には、信号とグランド用のはんだ付けピンとプロ 拡張セットとして機能します。これにより、ローデ・シュワルツ・ ーブチップが付属しています。このプローブは、テストポイントと プローブは、製造テストおよびATEシステム用にオシロスコー のコンタクト時の入力容量が特に小さくなるように設計されて プから離れた場所で動作します。 います。 R&S®RT-ZS60 シングルエンドプローブ用の豊富な標準アクセサリのセット シグナル／スペクトラム・アナライ ザとの接続に使用するR&S®RT-ZA9 アクティブ広帯域プローブ用N（オ ス）アダプター モデル 帯域幅 減衰比 入力インピ ダイナミック ーダンス レンジ コメント オーダー 番号 プローブ R&S®RT-ZS10L 1 GHz 10:1 1 MΩ || 0.9 pF ±8 V BNCインタフェース、50 Ω出力1) 1333.0815.02 R&S®RT-ZS10E 1.0 GHz 10:1 1 MΩ || 0.8 pF ±8 V ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース 1418.7007.02 R&S®RT-ZS10 1.0 GHz 10:1 1 MΩ || 0.8 pF ±8 V 1410.4080.02 R&S®RT-ZS20 1.5 GHz 10:1 1 MΩ || 0.8 pF （±12 Vのオフ 1410.3502.02 R&S®RT-ZS30 3.0 GHz 10:1 1 MΩ || 0.8 pF セット補正） R&S®ProbeMeter、測定器制御用のマイクロボ 1410.4309.02 ±8 V タン、ローデ・シュワルツ・プローブインタフェース R&S®RT-ZS60 6.0 GHz 10:1 1 MΩ || 0.3 pF （±10 Vのオフ 1418.7307.02 セット補正） アクセサリ R&S®RT-ZA2 R&S®RT-ZS10/20E/20/30用アクセサリセット 1416.0405.02 R&S®RT-ZA3 R&S®RT-ZS10/10E/20/30用ピンセット 1416.0411.02 R&S®RT-ZA4 ミニクリップ 1416.0428.02 オフセット－10 V R&S®RT-ZA5 マイクロクリップ 1416.0434.02 R&S®RT-ZA6 リードセット 1416.0440.02 R&S®RT-Zxx オシロスコーププローブ用N（オ R&S®RT-ZA9 ス）アダプター 1417.0909.02 ローデ・シュワルツ・プローブインタフェースから R&S®RT-ZA50 1803.5265.02 2.92 mm/3.5 mm/SMAへの変換アダプター 2.92 mm/3.5 mm/SMAからローデ・シュワル R&S®RT-ZA51 ツ・プローブインタフェースへの変換アダプター 1803.5365.02 1) 1 MΩ入力のオシロスコープでは、5:1の減衰比設定が必要。 Rohde & Schwarz プローブとアクセサリ  15

差動広帯域プローブ フラットな周波数応答と、高い入力インピーダンスと小さい入力容量の組み合わせにより、DUT への負荷を小さく抑えながら、差動信号の精密な測定を実行できます。プローブ帯域幅全体で の高いコモンモード・ノイズ除去比により、干渉に対して高い耐性を示します。特殊なブラウザ ーアダプターにより、高い信号再現性を維持しながらも、柔軟なコンタクトを実現できます。 LVDSレシーバーの代表的なDC等価回路 高いコモンモード・ノイズ除去比 動作点を高インピーダンスに設定してLVDS信号線を測定する場合、DC負荷 差動信号は、特に高いクロックレートで用いられ、コモンモード の小ささが鍵となります。 干渉を除去して広帯域信号をエラーなく、効率的に伝送できま す。差動信号を正確に測定するには、差動プローブが必要です。 プローブ コモンモード・ノイズ除去比は、重要な性能パラメータです。ロ ーデ・シュワルツの差動プローブは、プローブ帯域幅全体でコ 500 kΩ モンモード干渉を抑制します。 Ω DCおよび高周波での低負荷 500 k DC電圧の場合、差動信号とコモンモード信号の入力インピー ダンスを区別する必要があります。これは特に、低電圧差動信号 + LVDSドライバー LVDSレシーバー （LVDS）ラインなどの場合に重要です。LVDSレシーバーの差 入力+ 動入力インピーダンスは一般的に100 Ωですが、動作点は通常 – もっと高いインピーダンスに設定されます。信号線への負荷が 100 Ω 入力－ 過大だと、動作点がレシーバーの入力電圧範囲外に移動して、 回路の機能が阻害されます。ロ ーデ・シュワルツの差動プロー 60 kΩ 60 kΩ ブのほとんどは、入力インピーダンスが1 MΩと非常に高く、コ モン・モード・インピーダンスが250 kΩなので、負荷が小さくな ります。 +1.2 V コンパクトなR&S®RT-ZD40 アクティブ広帯域プローブ 16

プローブ帯域幅全体で高いコモンモード・ノイズ除去比 広いダイナミックレンジによるアプリケーション範囲の拡大 （図はR&S®RT-ZD40） R&S®RT-ZD10/20/30/40差動広帯域プローブは、±5 Vという広 60 いダイナミックレンジと、±5 V（差動モード）および±22 V（コモ ンモード）の追加オフセット補正により、汎用的な測定ツールと 50 して使用できます。1)DDRストレージポートの高速シングルエン 40 ド信号も、対称フィードRF信号／電圧も、スイッチング電源のグ ランドを基準とせずに容易に測定できます。 30 20 R&S®RT-ZD10 アクティブ差動プローブと、付属のR&S®RT-ZA15 外部アッテネータを組み合わせることで、最大±60 V DC/ 10 ±42.4 V AC（ピーク）の電圧を、1 GHzの帯域幅で測定できます。 0 100 kHz 1 MHz 10 MHz 100 MHz 1 GHz 10 GHz 使いやすさを重視 周波数 プローブアクセサリのデザインの際に、ローデ・シュワルツは特 に使いやすさに注意を払っています。特長としては、正と負の入 力の容易な識別、豊富な種類のプローブチップ、簡単に精密に 調整できるピンオフセット、ブラウザーアダプター用のスプリン グ内蔵チップなどがあります。 1) このオプションは、R&S®RT-ZD20/30/40のシリアル番号200,000以上で使用できま す。 R&S®RT-ZD40：ピンオフセットを容易に変更できるブラウザーアダプター R&S®RT-ZA15 外部アッテネータ（R&S®RT-ZD20/30用） モデル 帯域幅 減衰比 入力インピー ダンス ダイナミックレンジ コメント オーダー番 号 プローブ 10:1/ 1 MΩ || 0.6 pF/ ±5 V、 R&S®RT-ZD10 1 GHz 100:1 1) 1 MΩ || 1410.4715.02 1.3 pF 1) R&S®RT-ZA15の場合： R&S®ProbeMeterと測定器制御用のマイ R&S®RT-ZD20 1.5 GHz 10:1 1 MΩ || 0.6 pF ±60 V DC クロボタン。 1410.4409.02 ±42.4 V AC（ピーク） R&S®RT-ZD10にはR&S®RT-ZA15が付 オフセット補正：±5 V（差 属。 R&S®RT-ZD30 3.0 GHz 10:1 1 MΩ || 0.6 pF 動モード）、±22 V 1（）コモ ローデ・シュワルツ・プローブインタフェ 1410.4609.02 ンモード） ース78 R&S®RT-ZD40 4.5 GHz 1 MΩ || 0.4 pF ±5 V 1410.5205.02 アクセサリ R&S®RT-ZA4 ミニクリップ 1416.0428.02 R&S®RT-ZA5 マイクロクリップ 1416.0434.02 R&S®RT-ZA6 リードセット 1416.0440.02 R&S®RT-ZA7 R&S®RT-ZD10/20/30用ピンセット 1417.0609.02 R&S®RT-ZA8 R&S®RT-ZD40用ピンセット 1417.0867.02 : Ω || ±60 V DC/ R&S®RT-ZD20/30用外部アッテネータ、 R&S®RT-ZA15 2 GHz 10 1 1 M 1.3 pF ±42.4 V AC (ピーク に付属 1410.4744.02 ) R&S®RT-ZD10 1) R&S®RT-ZA15使用時。 Rohde & Schwarz プローブとアクセサリ  17 コモン・モード・ノイズ除去比（dB）

モジュラー広帯域プローブ 高速プロービングの課題への対処 R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール このR&S®RT-ZM モジュラープローブ・システムは、今日のプロ R&S®RT-ZM モジュラープローブ・システムでは、帯域幅 ービング要件に応えるための、高度な技術と取り扱いの容易さ 1.5 GHz～16 GHzのアンプモジュールが使用できます。これら を兼ね備えたソリューションです。プロービングソリューション のモジュールはローデ・シュワルツ・プローブ・インタフェースを にはさまざまな種類があり、広いプロービング帯域幅およびダ 備えており、ローデ・シュワルツのオシロスコープでプローブの イナミックレンジと、小さい容量性負荷が必要な用途に適して 自動検出と設定が可能です。アンプには小型化された高品質 います。例としては、物理的に小さいプロービング領域用の半 の高周波同軸ダブルソケットSMPコネクタを備えていて、さま 永久的はんだ付けプローブチップや、温度－55 ℃～＋125 ℃ ざまなプローブチップモジュールを柔軟に接続して使用できま の気候室内での環境試験用ソリューションなどがあります。 す（次ページの図を参照）。 R&S®RT-ZM モジュラープローブ・システムは、高い性能と、 アンプのSMPコネクタは、DC～26.5 GHzの帯域幅を実現する 柔軟で設定可能な接続の両方を実現します。システムには、 ように特別に設計されています。このコネクタはリターンロス さまざまな測定作業や条件に対応するプローブチップ・モ がきわめて小さく、接続と取り外しを繰り返しても高い再現性 ジュールが付属しています。これらのモジュールは、帯域幅 を示します。ダブルソケットSMPコネクタにはコネクタアライメ 1.5 GHz～16 GHzのアンプモジュールに接続できます。モ ントが内蔵され、プローブアンプ・モジュールとプローブチップ・ ジュラープローブ・システムにはマルチモード機能もあり、 モジュールの間の接続を保護して、再現性の高い信号伝送条 さまざまな測定モードを切り替えて使用できます。内蔵の 件を実現します。 R&S®ProbeMeter機能により、高精度のDC電圧測定を同時に 実行できます。 R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール（ローデ・シュワルツ・プローブ・インタフ ェース装備）。このアンプは、ダブルソケットSMPコネクタを備えています。 交換可能なR&S®RT-ZM プローブチップ・モジュールを使用するR&S®RT-ZM モジュラー・プローブ・システム （­高性能のダブルソケットSMPスナップオンインタフェースを通じて、ローデ・シュワルツ・プローブインタフェースを備えたR&S®RT-ZM プローブアンプ・モジ ュールに接続） R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュール R&S®RT-ZM 増幅器（ASIC） ±4 V 終端 マイクロ マルチモード P P P – + 電圧 ボタン R&S®RT-ZM DCオ フセット ローデ・シュワルツの プローブチップ・ インタフェース モジュール SMP 補正 プローブインタフェース スナップオン N N コネクタ N – – R&S®ProbeMeter A/Dコンバーター 18

R&S®RT-ZM用プローブチップ・モジュール ► 詳細については、R&S®RT-ZM カタログ（PD 3607.5690.36）を参照してください。 R&S®RT-ZM R&S®RT-ZMA50 1) R&S®RT-ZMA11 2) R&S®RT-ZMA10 R&S®RT-ZMA12 R&S®RT-ZMA15 R&S®RT-ZMA30 R&S®RT-ZMA14 3) 1） 1 mの整合ケーブルペアとR&S®RT-ZMA11 はんだ付けプローブチップ・モジュールが付属しています。 R&S®RT-ZMA40 2） R&S®RT-ZMA50 用。 3） 10個のはんだ付けフレックスチップが付属しています。 モデル システム帯 立ち上がり時間 1) 域幅 （10 %～90 %） マルチモード コメント オーダー番号 プローブアンプ・モジュール R&S®RT-ZM15 ＞1.5 GHz ＜230 ps 1800.4700.02 R&S®RT-ZM30 ＞3 GHz ＜100 ps 1419.3005.02 R&S®RT-ZM60 ＞6 GHz ＜75 ps 1419.3105.02 R&S®RT-ZM90 ＞9 GHz ＜50 ps 1419.3205.02 R&S®RT-ZM130 ＞13 GHz ＜35 ps 1800.4500.02 R&S®RT-ZM160 16 GHz ＜28 ps 1800.4600.02 プローブチップ・モジュール R&S®RT-ZMA10 16 GH（z 実測値） 28 ps P/N/DM/CM 長さ：15 cm（5.9インチ）、R&S®RT-ZMA50に適合 1419.4301.02 6個のR&S®RT-ZMA10 はんだ付けプローブチップ・モジュ R&S®RT-ZMA10-6 ールのセット 1801.4349.02 R&S®RT-ZMA11 16 GH（z 実測値） 28 ps P/N/DM/CM 長さ：15 cm（5.9インチ） 1419.4318.02 R&S®RT-ZMA12 6 GH（z 実測値） 75 ps P/N/DM/CM 長さ：15 cm（5.9インチ） 1419.4324.02 （実測値） 長さ：15 cm（5.9インチ）、付属品：10個のはんだ付けフレ R&S®RT-ZMA14 16 GHz 28 ps P/N/DM/CM ックスチップ 1338.1010.02 R&S®RT-ZMA15 12 GH（z 実測値） 37 ps P/N/DM/CM 長さ：15 cm（5.9インチ） 1419.4224.02 R&S®RT-ZMA30 16 GH（z 実測値） 28 ps DM 1419.4353.02 50 Ω/100 Ω、SMA、3.5 mmおよび2.92 mmシステムに適 R&S®RT-ZMA40 16 GH（z 実測値） 28 ps P/N/DM/CM 合、終端電圧±4 V、R&S®RT-ZM プローブアンプ・モジュー 1419.4201.02 ルより供給 R&S®RT-ZMA50 12 GH（z 実測値） ケーブル長：1 m（39.37インチ）、R&S®RT‑ZMA11と1対の 37 ps P/N/DM/CM 整合延長ケーブルから構成、温度範囲：－ ℃～＋ ℃ 1419.4218.02 55 125 アクセサリ 最大6個のR&S®RT-ZMAxx プローブチップ・モジュールに R&S®RT-ZMA1 対応 1419.3928.02 R&S®RT-ZAP 3Dプローブポジショナー 1326.3641.02 R&S®RT-ZF30 R&S®RTP-B7によるプローブ特性評価用テストフィクスチャ 1333.2099.02 1) マルチモード： DM：差動測定、CM：コモンモード測定、P：正ピンでのシングルエンド測定、N：負ピンでのシングルエンド測定。 Rohde & Schwarz プローブとアクセサリ  19

パワーレール・プローブ 広い帯域幅、高い感度、きわめて小さいノイズ、非常に大きいオフセット補正により、R&S®RT-ZPR パワーレール・プローブは、パワーレールの特性評価に最適です。内蔵の高確度DC電圧計によ り、DC電圧を即座に測定できます。 最大4.0 GHzの帯域幅、きわめて小さい付加ノイズ 最大4.0 GHzの帯域幅、1:1の減衰比による優れた感度、小さ パワーレールのテストが難しい理由は、低い電圧と厳しい許容 いノイズにより、R&S®RT-ZPR パワーレール・プローブは、精 値にあります。最近のパワーレールでは、より精密な低電圧測 密なリップル測定に適しています。さらに、R&S®RTOおよび 定が必要なだけでなく、高速クロックやRF信号源からの結合 R&S®RTE オシロスコープの業界最高のスペクトラム解析機能 がレールに生じる可能性があります。 と組み合わせることにより、周期／ランダム擾乱（PARD）を分 離することができます。 20