【イグチベアー】割れを防ぐクリーンルーム万向球カタログ

製品カタログ イグチベアー Cleanroom Type Ball Transfer 株式会社井口機工製作所 IGUCHI KIKO CO., LTD.

Cleanroom Type Ball Transfer 「クリーンルーム向けイグチベアーとは」 クリーンルーム向けイグチベアーは、あらゆる FPD 製造装置、太陽電池製造装置に 採用が拡大し、ガラス基板の新しい位置決め方式として世界中のユーザーに採用さ れています。 LCD の後工程から始まった採用実績も、今やあらゆる処理工程で採用されるようにな りました。その中でも近年、圧倒的に採用実績が増えているのが、前工程に代表され る各処理装置のガラス位置決め部となります。 クリーンルーム向けの使用用途の基本をクリアした現在、より多くのユーザーに更な る使いやすさとコストダウンを提案すべく、従来の切削製品に加え、成型製品の展開 を開始しました。 About Cleanroom Ball Transfers Our abundant line-up of ball transfers for cleanrooms have been meticulously designed and manufactured to meet each individual needs of our customers. Cleanroom Ball Transfers (ISC Series) are used in Flat Panel Display (FPD), Photovoltaic (PV), solar, and medical equipment production lines all over the world, due to its innovative technology for alignment and positioning. ISC Ball Transfers have evolved continuously with newly added value to satisfy manufacturers to improve production. These units have a successfully proven track-record of usage in pre- processes and post-processes of LCD manufacturing. We have also developed a low-cost molded type (ISCS series) ball transfer that is suitable for use in less-aggressive environments. 何谓无尘室专用万向球 无尘室专用万向球广泛应用于 FPD 制造设备，太阳能电池制造设备中，因创新的玻璃面板定 位方式，更被全世界的使用者所喜爱。 由 LCD 后段制程的使用实绩开始，现在已广泛应用于所有的相关制程中。近年来，甚至在前 制程中的各种设备的玻璃微调作业更具有压倒性采用实绩。 纵然已达到无尘室使用的基本要求，但为了提供操作更简单，价格更实惠的产品给广大客户， 除了切削成形产品以外，也推广了一系列射出成形的产品。 ＊ イグチベアー ® は、株式会社井口機工製作所の登録商標です。 イグチベアー ® is a registered trademark of Iguchi Kiko Co Ltd. イグチベアー ® 是株式会社井口机工制作所的注册商标。 ＊ デュポン™およびベスペル® は、デュポン社の商標もしくは、登録商標です。 The DuPont™, and DuPont Vespel® are registered trademarks of E. I. du Pont de Nemours and Company or its affiliates. DuPont ™及 Vespel® 是杜邦公司的商标或是注册商标。 2 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer

クリーンルーム向けイグチベアーの特徴　 Features of Cleanroom Ball Transfers　 无尘室专用万向球的特征 1. ガラス基板にキズをつけないデュポンベスペ 1. Scratch-free DuPont Vespel and variety of other engineering 1. 为防止刮伤玻璃基板，采用 DuPont 的 Vespel ルをはじめ、PBI や PEEK に代表される、各種 plastics such as PBI and PEEK for handling glass substrates. 及 PBI，PEEK 等具有代表性的工程树脂材料。 エンジニアリングプラスティックを採用。 2. Our original and unique clean-technology enables to 2. 能够压制微粒粉尘产生，体现 ISB 独特的洁净 2. 極限までパーティクル（発塵）の発生を抑えた、 suppress particle generation to the highest cleanness. 技术。 ISB 独自のクリーン化テクノロジーを搭載。 3. We developed a new range of low-cost molded ball transfers 3. 除了切削成形的高精度 ISC 万向球以外，为了 3. 切削による高精度な ISC イグチベアーに加え、 in addition to high precision machine-cut ball transfers. 大幅度降低成本，各种射出成形的产品也陆续 大幅なコストダウンを実現した、各種成型製 4. Varity of degreasing cleaning packages are available 标准化。 品を新たにラインナップ。 upon request for specific environments and 4. 从 ISB 洗净到无尘室洗净，依照使用环境可提 4. ISB 洗浄からクリーンパックまで使用環境に合 Cleanrooms. For more details please contact us. 供多样化的脱脂洗净方法。 わせた脱脂洗浄が可能。（P6 参照） 5. A wide range of products with variety of materials 5. 可提供 200 度以上的高温，真空泵内，各种 5. 200℃以上の高温環境や真空チャンバー内、 are available for specific applications such as wet, dry 区间工程，介意光源反射的光学测定仪器，玻 各部ローダー、アンローダー、光の反射を嫌う processes, mother glass trimming, cutting, optical 璃本身的切割设备等特殊用途的产品。 光学測定機、マザーガラス切り出し部等、各種 measuring apparatus where minimum light reflection is 6. 按照客户的要求可制作特注品。 用途に応じた製品をラインナップ。 desired, vacuum chambers and high temp over 200°C, etc. 6. ユーザーの特殊用途に合わせた特型製品の製 6. C u s t o m i z e d b a l l t r a n s f e r s f o r s p e c i f i c 作が可能。 applications are also available upon request. クリーンルーム向けイグチベアーの採用メリット　 Advantages of Cleanroom Ball Transfers 　 采用无尘室专用万向球的优点 1. ガラス基板位置決め時の摩擦抵抗値が従来の 1. Friction resistance 1/10 compared to conventional 1. 玻璃基板定位时的摩擦系数仅为 Pin 支撑方式 ピン方式の約１／１０に低減。 Pin alignment. 的 1/10，所以即使是大型的玻璃也能轻松准 2. 滑り方式のピンに比べ、転がり方式のイグチ 2. Ball transfer alignment and positioning enables, 确地完成定位。 ベアーは長期的に安定した低摩擦抵抗で、ガ less friction, long life, stability, compared to Pin 2. 与滑动方式的 Pin 相比，滚动方式的万向球拥 ラス基板のアライメントが可能。 which wear soon. 有更长期稳定的低摩擦系数，能轻松完成玻璃 3. 摩擦抵抗値の低下により、ガラス基板の割れが 3. With low friction reduce lines, cracks and flaws on glass 基板的对位。 極端に減少。ローダー、アンローダー部や各 substrate; improve yields at loader/unloader and other 3. 因摩擦系数变小，玻璃基板的破片率会明显降 処理工程での歩留まり改善が可能。 applications. 低，使之提高区间工程及各种处理工程的效率。 4. 摩耗の為に日々必要となっている接触部材の交 4. Frequent replacement is not needed which 4. 因磨耗导致与玻璃基板接触部的零部件经常更 換作業が大幅に低減。 occurs from abrasion or wear. 换的作业，可以大幅度减少，促进提高整体效率。 クリーンルーム向けイグチベアーの耐荷重について About Cleanroom Ball Transfers - Load Capacity 　 关于无尘室专用万向球的荷重 クリーンルーム内で使用されるイグチベアーの荷重 Load capacity on each ball transfer used inside a 无尘室专用万向球的承载荷重是随着客户的需求而 は、ユーザーの考えによって変わります。ISB とし Cleanroom differs depending on the application 变化。有关它的承载荷重请留意以下几点，选型时 ては、クリーンルーム向けイグチベアーの耐荷重に specification. We highly recommend consulting with 与客户协商推荐所需的产品。 ついて次の点に留意し、ユーザーと打ち合わせを our sales staff in order to select the right material for 行った上で仕様を推奨しております。 your application. Also please keep in mind following 1. 设备的特性（使用环境等） points. 1. 使用環境（使用条件） 2. 相互接触面的材质 1.Device characteristics and 2. 接触する面の材質 3. 移动的距离 operating environment. 3. 移動する距離 4. 移动的速度 2.Materials in contact (ball vs. floor, wall, etc.) 4. 移動する速さ 3.Travel distance 无尘室专用万向球的承载荷重是因各种工程及处理 设备而有所不同。因此，以面板制造厂家为基准， クリーンルーム向けイグチベアーにかけられる荷重 4.Travel speed 并参照 ISB 过去实绩给予建议。 は、各工程や処理装置により、変わってきます。そ From our long experience with wide range of 初次使用无尘室专用万向球时，请以 0 ～ 1kg 荷 のため、パネルメーカーの基準に則して、ISB なり products specified in variety of applications from 载进行设计规划。另外，有的使用用途可能与以往 の実績に基づく提案をさせていただいております。 FPD to PV and other Cleanroom applications, we 的实绩并无关联，详细请与我们联系。 初めて採用をご検討いただく場合は、クリーンルー recommend when using Cleanroom ball transfers in ム向けイグチベアーに対して0 〜 1kg を目安として、 an application, consider 0-1kg on each ball transfer. 設計検討してください。また、使用用途によっては Although in some cases above information may not 実績があてはまらない場合も考えられますので、詳 be applicable. In that case please contact us for a しくは担当窓口にご相談ください。 better solution. 導電性イグチベアーについて　 Electrically Conductive ISC Series Ball Transfers 关于导电性万向球 FPD 製造ラインの考え方により、ISB 独自の導電性 customized ball transfers to meet application needs 特别是随着 LCD 制造的前段工程的采用实绩的增加，可以 ISC イグチベアーが採用されています。特に、LCD of the customer. 按照客户的使用用途选择适当的材料。 製造の前工程に採用実績が増えており、使用用途 导电性万向球的消除静电特性 に合わせて材質を選ぶことも可能です。 Anti-static Property Test of Electrically Conductive ISC Series 使 LCD 用玻璃片带有静电，并各以导电性万向球及标准万 Ball Transfers 向球接触玻璃片，利用静电测试仪器测试电压下降的情形。 The anti-static properties of the electrically conductive ISC 導電性イグチベア−の除電特性 Series ball transfers were tested by the following method. B-1: 导电性万向球（主球表面抵抗率 :104 ～ 105） LCD 用ガラス片に静電気を帯電させておき、ガラス When the surface of LCD glass substrate is charged with B-2: 绝缘性万向球（主球表面抵抗率 ：1012 以上） 片に導電性イグチベア−、または通常イグチベア−を electrostatics, we attached an ESD and a normal ball transfer 接触させた時の電圧降下状況を静電気測定器により to glass substrate and measured the static voltage reduction 静電気電圧の推移　Transition of Static Voltage level　静电气电压的变化 測定。 for both products. B-1: 導電性イグチベアー B1 ESD ball transfer : Electrically conductive ball transfer （メインボール表面抵抗率 :104 〜 105） Main ball surface electric resistance factor: 104 to 105 B-2: 絶縁性イグチベアー B2 Normal ball transfer : Non-electrically conductive ball （メインボール表面抵抗率 :1012 以上） transfer Main ball surface electric resistance factor: over 1012 ISB electrically conductive ball transfers are used or greater extensively in FPD production lines; especially in Array Process of LCD production lines. We offer 在 FPD 制造生产线上，ISB 的导电 ISC 万向球也被广泛采用。 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer 3

ISC イグチベアーの基本性能　 Cleanroom Ball Transfers - Basic Performance ISC 万向球的基本性能 クリーンルーム内で使用されるイグチベアーはユー Using Cleanroom ball transfers in an application depends on 在无尘室的环境下使用的万向球，随着客户的使用 ザーの考え方やご使用方法で、材料や使用荷重が異 application specifications, article, load, class of Cleanroom as 方法，从材质的选择或使用荷重上都有所不同，光 なるため、従来のイグチベアーの概念だけでは使用 well as environment. Choosing a combination of materials 靠以往对万向球的概念已无法满足新的需求。 不可となります。半導体や FPD 製造装置で、イグチ is a critical key when selecting a ball transfer for a specific 为了让半导体、FPD 制造设备厂家能充分地活用万 ベアーの利点を活用していただくための目安として、 application. Since the design and concept of conventional 向球的优点，针对玻璃基板的微调作业，公司内部 ガラス基盤のアライメントを想定し、社内試験を行い ball transfers are no longer applicable, we tested the new ball transfers in our in-house test room to obtain preliminary 进行了一连串的试验。 ました。 approximate data, assuming that application is limited to glass ※ 实际使用时有一定的限制，详细请咨询。 ※実際に使用する場合には、一定の制限があります substrate alignment in semiconductor/FPD production lines. ので、詳しくは担当窓口にご相談ください。 Note: Use utmost care when evaluating the data below, they were obtained under limited conditions. For more information and details, contact our sales department. ■ イグチベア−と PEEK ピンとの発塵性比較　 ■ イグチベアーと PEEK ピンの摩擦抵抗比較　 Dust generation comparison test between Ball transfer and PEEK Pin Friction Comparison Test of Ball Transfer vs. PEEK Pin　 万向球与 PEEK 材质 Pin 的产尘性比较 万向球与 PEEK 材质 Pin 的摩擦系数比较 クリーンブース内において、FPD 用ガラス片をイグチベア−、または PEEK ピン 一般環境において FPD 用ガラスを数個のイグチベアー、または PEEK ピンで支え、 で支え、それぞれの想定荷重をかけて、前後に数ミリ移動させた時の発塵性を液 ガラス基盤の端面を、一定の力で押した時の水平方向荷重をロードセルにより測 中パーティクルカウンターを用いて測定。 定。 How we conduct the test: In Cleanroom booth, FPD glass substrate supported by ISC Test conditions: In general environment, glass substrate supported by six ISC ball transfers and Ball Transfer PEEK pins, moved few times with a fixed force to horizontal direction then measured by a load- Transfers or PEEK Pins, then moved glass substrate few millimeters while an estimated weight is cell device. given. Generated particles are collected in water and counted by a particle counter. Note: The number of particle accuracy is not guaranteed 在一般环境中，用万向球或用 PEEK 材质 Pin 来支撑 FPD 玻璃基板，并在玻璃 基板的端面用一定的力量推动时，测定水平方向的推力变化。 在无尘室环境中，用万向球或用 PEEK 材质 Pin 来支撑 FPD 玻璃基板，并各自 イ赋グ予チ相ベ同アー的と假P设EE重K ピ量ン，と经の発过塵几性次　前后数毫米的移动后在液体中测定其产尘量。 イグチベアーと PEEK ピンの摩擦抵抗比較 Dust generation comparison test Between Ball Transfer unit and PEEK Pin　万向球与 PEEKPin 的产尘性 Comparison Test of Friction Resistance between Ball Transfer and PEEK Pin　万向球与 PEEKPin 的摩擦抵抗力比较 イグチベアー すり減ったピンの条件 イグチベアー ・試験用ガラス基盤の重さ：300g（6 点の 支点） ・総走行距離約 12m で、4000 回アライメ ントした後のピンを想定（ 1回のアライメン トが 3mm とした場合） Conditions of worn PEEK Pins * Weight of glass substrate: 300 g (supported at 6 points) * Total travel distance: Approx. 12 meter (obtained by 4000 times alignments /3 mm) Pin 磨耗的条件 ∙ 试验用玻璃基板的重量 ：300g（6 点的支 撑点） ∙ 假设 Pin 的总行走距离为 12m，即 4000 次微调作业（一次的微调距离设定为 3mm） テスト対象は、下記の通り The following parts were tested. 测试对象如下 600 1.PEEK ピン 1.PEEK pins 1.PEEKPin 2.ISC イグチベアー：ISC-10JS-J 2.ISC Ball Transfer, ISC-10JS-J 2.ISC 万向球 ：ISC-10JS-J 3.ISC イグチベアー：ISC-10V1S-J 3.ISC Ball Transfer, ISC-101S-J 3.ISC 万向球 ：ISC-10V1S-J 4.ISC イグチベアー：ISC-16V1V1-V1 4.ISC Ball Transfer, ISC-16V1V1-V1 4.ISC 万向球 ：ISC-16V1V1-V1 ■ イグチベアーの摩擦係数測定　Measurement of ball transfer friction coefficient 　万向球的摩擦系数测量 調査目的 : ISCS-10P1S-J 型の摩擦係数測定を行う。 摩擦試験機概要　Discription of friction measuring device　摩擦系数测试机的简介 調査内容 : 摩擦係数測定器にて検体イグチベアー 1 個当たり100gf 時、500gf 時、1000gf 時 ロードセル Load-cell の荷重条件下で摩擦係数を測定 荷重变换器 移動速度 : 約 5mm/min Research objective : to measure friction coefficient of ISCS-10P1S-J ワーク Survey content : measured each ball transfer friction load ワーク下側検体イグチベアー x3 承 载 物 coefficient under 100gf, 500gf, 1000gf. Number of ball transfers under the load ×3 承载重量的万向球 x3 Traveling speed: about 5mm/min 调查目的 ： 测量 ISCS-10P1S-J 型的摩擦系数。 调查内容 ： 用摩擦系数测定仪分别测量万向球一个 耐 荷 重 100gf、500gf、1000gf 时 的 摩擦系数。 移动速度 ：约 5mm/min ISCS-10P1S-J イグチベアー材質内容　Materials of Ball Transfer　万向球的材质内容 メインボール： PEEK Main ball : PEEK 主 球 ： PEEK サブボール： ステンレス Small Balls : Stainless 小 球 ： 不锈钢 イグチベアー本体： POM Body : POM 本 体 ： POM キャップ： POM Cap : POM 封 盖 ： POM 4 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer

クリーンルームとは　　　　　　　　　　　 About Cleanroom　　　　　　　　　　　　 何为无尘室 空気中における浮遊微小粒子、浮遊微生物が限定 A cleanroom is a controlled environment that 无尘室亦称为清净室。它是污染控制的基础。控制空 された清浄度レベル以下に管理され、その空間に is designed to maintain extremely low levels of 气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。 供給される材料 ､ 薬品、水やその他についても不 particulates, such as dust, airborne organisms, or 无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有 純物、ゴミを取り除いてゴミを持ち込まないように vaporized particles. 害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁 し、必要に応じて温度・湿度等を一定の基準に制御す 净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及 る空間。 照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设 计之房间。 洗浄度クラスとは　 About Cleanliness levels 　 何为洁净度 クリーンルームの清浄度は「一定の体積中にある T h e c l e a n l i n e s s l e v e l o f a c l e a n r o o m i s 洁净度系指空气环境中空气所含尘埃量多少的程度。 粒子の数」で示されます。一般的に最も使われて quantified by the number of particles per cubic 在一般的情况下，是指单位体积的空气中所含大于等 いるものは 209 Ｄで 1ft³( 立方フィート≒ 28.3リッ foot at a predetermined molecule measure. 于某一粒径粒子的数量。普遍还是用美国联邦标准 トル）中の微粒子数で表します。 The commonly used standard is U.S. Federal 209D 为多，其规定粒径为 0.5μm， 1ft³ 中 0.5μm 以 クラス 100 とは１立方フィート中に 0.5 ミクロン以 Standard 209D which c lass i f ies c leanl iness 上的尘粒数在 100 个以下为 100 级。1000 个以下为 上の微粒子が 100 個以下であることです。1,000 個 l e v e l s o f c l e a n r o o m s b y t h e n u m b e r o f 1000 级。10000 个以下为 10000 级。含尘量高则洁净 以下であればクラス 1,000。同じように 10,000 個 0.5micron sized particles found per cubic foot. 度低，含尘量低则洁净度高。 以下であればクラス10,000となります。つまりクリー Accordingly Class 100 refers to a cleanroom with ンルームの清浄度は空気中のゴミの数であり、数 less that 100 0.5micron sized particles in an area of 字が小さいほどクリーンな環境になります。 1 cubic foot. Moreover, Class 1000 refers to less that 1000 0.5miron particles and Class 10,000 refers to less that 10,000 0.5micron sized particles in an area of 1 cubic foot. Fed.Std.209D 0.1μｍ 0.2μｍ 0.3μｍ 0.5μｍ 5μｍ クラス 1 35 8 3 1 ー クラス 10 350 75 30 10 ー クラス 100 3,500 750 300 100 ー クラス 1,000 35,000 7.500 3,000 1,000 7 クラス 10,000 ー ー ー 10,000 70 クラス 100,000 ー ー ー 100,000 700 ■ クリーンパックフローチャート　Clean Pack Flow Chart 　无尘室洗净流程图 イグチベアー各パーツ受入 Receive ball Transfer parts 外観の変形・ 万向球各部件 收货 キズ等の目視チェック Visual check, scratch, deformation 目视确认外观是否有变形或破损 洗浄ロット構成 Compose cleaning lot 做洗净准备 Class1000 のクリーンゾーン Cleanroom class 1000 予備洗浄 Pre-wash 预备洗净 アルコールにて脱脂 无尘等级 1000 级 Degreasing by alcohol 用酒精脱脂 初期洗浄 Pre-cleaning 初期洗净 専用洗剤及び純水等を使用し、 本洗浄 Main cleaning 正式洗净 リンシング実施 Rinsing by pure water/special detergent 使用专用洗涤剂及纯水等进行清洗 後洗浄 Post wash 后期洗净 Class10 のクリーンゾーン Cleanroom class 10 无尘等级 10 级 オーブンで乾燥 Oven dry 用烤炉烘干 クリーンブース内でイグチベアー組立実施後、 所定の包材でパックする。 Assemble before clean packaging inside clean booth 在无尘室内组装后，用指定的包装材料进行包装。 梱包・出荷 Packaging and delivery 包装 ∙发货 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer 5

ISC 型型式見方　ISC Type Quick Reference Chart　ISC 型型号说明 1. メインボールサイズ（直径 mm 表示） 1. Main ball size (Diameter in mm) 1. 主球大小（直径 mm 表示） ISC- 1 2 3 - 4 5 2. メインボール材質 2. Main ball material 2. 主球材质 3. サブボール材質 3. Small Balls material 3. 小球材质 4. ボディ材質 4. Body material 4. 本体材质 5. キャップ材質（ボディと同材 5. Cap material (No referance if 5. 封盖材质（与本体同材质时省略） 質の場合はなし） material is same as body) ISCS 型型式見方　ISCS Type Quick Reference Chart 　ISCS 型型号说明 ISCS- 1 2 3 - 4 1. メインボールサイズ（直径 mm 表示） 1. Main Ball size (Diameter in mm) 2. メインボール材質 1. 2. Main Ball material 主球大小（直径 mm 表示） 3. サブボール材質 2. 3. Small balls material 主球材质 4. ボディ材質 3. 4. Body material 小球材质 4. 本体材质 IP 型型式見方　IP Type Reference Chart　IP 型型号说明 1. メインボールサイズ（直径 mm 表示） 1. Main ball size (diameter in mm) 1. 主球大小（直径 mm 表示） IP- 1 2 W / NW / B / NB 2. メインボール材質 2. Main Ball material 2. 主球材质 W/NW/B/NB について What is W/NW/B/NB ? 关于 W/NW/B/NB W： POM（白色）フランジタイプ W : POM (White) Flange W: POM（白色）凸缘型 NW： POM（白色）ボルトタイプ NW : POM (White) Bolt type NW: POM（白色）螺栓型 B： POM（黒色）フランジタイプ B : POM (Black) Flange B: POM（黒色）凸缘型 NB： POM（黒色）ボルトタイプ NB : POM (Black) Bolt type NB: POM（黒色）螺栓型 材質記号表　Material　材质记号表 V1 ：ベスペル®SP Vespel® SP Vespel® SP U1 ：UHMWPE UHMWPE UHMWPE J ：POM POM POM V2 ：導電ベスペル®SP ESD Vespel® SP 导电 Vespel® SP U2 ：導電 UHMWPE ESD UHMWPE 导电 UHMWPE S ：SUS304 SUS304 SUS304 P1 ：PEEK PEEK PEEK F ：3F 3F 3F C ：セラミック Ceramic 陶瓷 P2 ：導電 PEEK ESD PEEK 导电 PEEK 脱脂洗浄方法　　　　　 Degreasing Cleaning Process 　 脱脂洗净方法 ISB 洗浄 ISB Cleaning is a process of degreasing by Ultrasonic ISB 洗净 パーツ別真空超音波洗浄 ( 炭化水素溶剤使用 ) Vaccum Washing using hydrocarbon solvent. After 各部件真空超音波洗净（使用烃类溶剂） 洗浄、乾燥確認後、油分が付かないよう手袋着用 the washing and drying process all parts are handled 洗净烘干后，佩戴手套组装，实施塑料个别包装。 にて組立。 using gloves to prevent any type of impurity caused ビニール個別溶着梱包実施。 by direct contact, and finally individually packaged. 梱包の種類　 Type of Packing 　 包装的种类 標準梱包 Standard Packaging 标准包装 ・主にクリーンルーム内に持ち込む前に開封し、 For uses when opened outside a cleanroom ・拿到无尘室之前已开封，并用手触摸。 人の手で触る場合。 environment and taken into the cleanroon without using gloves. 真空包装 真空梱包 ・长期保管或是出口于海外。 ・長期保管や海外に輸出する場合。 Vacuum Packaging For long term storage or shipping abroad 洁净包装 クリーンパック梱包 ・在无尘室内进行组装并包装。 ・部品で支給し、クリーンルーム内で作業をする場 Cleanpack Packaging 合。 All parts with be degreased, and packed within a cleanroom environment. 標準梱包 標準梱包 真空梱包 ｸﾘｰﾝﾊﾟｯｸ梱包 Standard Packaging Standard Packaging Vacuum Packaging Cleanpack Packaging 标准包装 标准包装 真空包装 洁净包装 6 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer

Cleanroom Type Ball Transfer ・ISC 型の標準洗浄仕様は、クリーンパックとなっておりますが、その他の洗浄も可能となります。 ・使用荷重については、御使用環境上、様々なケースがございますので、表記しておりません。ご不明な点等弊社営業部までお問 ISC-10 い合わせください。 ・搬送用途での使用を御検討の場合は、弊社営業部までお問い合わせください。 • Besides ISC standard clean pack, other cleaning packages are also available upon request for specific applications. • Load capacity depends on the application and environment, for more information please contact our sales. • For conveyor applications please contact our sales. ・ISC 的标准洗净方法是无尘室洗净，也可选择其他洗净方法。 ・ 因使用环境各有不同，所以使用荷重没有标明，如有不明之处，请咨询本公司业务。 ・ 用于搬送时，请咨询本公司业务。 ✜ ISC-10V1C-V1 ✜ ISC-10V1S-V1 ✜ ISC-10JS-J メインボール：ベスペル ®SP メインボール：ベスペル ®SP メインボール：POM サブボール： セラミック サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： ベスペル ®SP 本　体： ベスペル ®SP 本　体： POM キャップ： ベスペル ®SP キャップ： ベスペル ®SP キャップ： POM Main Ball : Vespel® SP Main Ball : Vespel® SP Main Ball : POM Small Balls : Ceramic Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : Vespel® SP Body : Vespel® SP Body : POM Cap : Vespel® SP Cap : Vespel® SP Cap : POM 主球 : Vespel®SP 主球 : Vespel®SP 主球 : POM 小球 : 陶瓷 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : Vespel® SP 本体 : Vespel®SP 本体 : POM 封盖 : Vespel®SP 封盖 : Vespel®SP 封盖 : POM ✜ ISC-10U1S-J ✜ ISC-10FS-J ✜ ISC-10P1S-J メインボール：UHMWPE メインボール：3F メインボール：PEEK サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： POM 本　体： POM 本　体： POM キャップ： POM キャップ： POM キャップ： POM Main Ball : UHMWPE Main Ball : 3F Main Ball : PEEK Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : POM Body : POM Body : POM Cap : POM Cap : POM Cap : POM 主球 : UHMWPE 主球 : 3F 主球 : PEEK 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : POM 本体 : POM 本体 : POM 封盖 : POM 封盖 : POM 封盖 : POM ✜ ISC-10V1S-J ✜ ISC-10U1S-U1 ✜ ISC-10FS-U1 メインボール：ベスペル ®SP メインボール：UHMWPE メインボール：3F サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： POM 本　体： UHMWPE 本　体： UHMWPE キャップ： POM キャップ： UHMWPE キャップ： UHMWPE Main Ball : Vespel® SP Main Ball : UHMWPE Main Ball : 3F Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : POM Body : UHMWPE Body : UHMWPE Cap : POM Cap : UHMWPE Cap : UHMWPE 主球 : Vespel® SP 主球 : UHMWPE 主球 : 3F 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : POM 本体 : UHMWPE 本体 : UHMWPE 封盖 : POM 封盖 : UHMWPE 封盖 : UHMWPE ✜ ISC-10P1S-U1 ✜ ISC-10V1S-U1 ✜ ISC-10FS-F メインボール：PEEK メインボール：ベスペル ®SP メインボール：3F サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： UHMWPE 本　体： UHMWPE 本　体： 3F キャップ： UHMWPE キャップ： UHMWPE キャップ： 3F Main Ball : PEEK Main Ball : Vespel® SP Main Ball : 3F Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : UHMWPE Body : UHMWPE Body : 3F Cap : UHMWPE Cap : UHMWPE Cap : 3F 主球 : PEEK 主球 : Vespel®SP 主球 : 3F 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : UHMWPE 本体 : UHMWPE 本体 : 3F 封盖 : UHMWPE 封盖 : UHMWPE 封盖 : 3F ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer 7

✜ ISC-10P1S-F ✜ ISC-10V1S-F ✜ ISC-10P1S-P1 メインボール：PEEK メインボール：ベスペル ®SP メインボール：PEEK サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： 3F 本　体： 3F 本　体： PEEK キャップ： 3F キャップ： 3F キャップ： PEEK Main Ball : PEEK Main Ball : Vespel® SP Main Ball : PEEK Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : 3F Body : 3F Body : PEEK Cap : 3F Cap : 3F Cap : PEEK 主球 : PEEK 主球 : Vespel® SP 主球 : PEEK 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : 3F 本体 : 3F 本体 : PEEK 封盖 : 3F 封盖 : 3F 封盖 : PEEK ✜ ISC-10V1S-P1 メインボール：ベスペル ®SP サブボール： ステンレス 本　体： PEEK キャップ： PEEK Main Ball : Vespel® SP Small Balls : Stainless Body : PEEK Cap : PEEK 主球 : Vespel® SP 小球 : 不锈钢 本体 : PEEK 封盖 : PEEK Cleanroom Type Ball Transfer ✜ ISC-10JS-SJ ✜ ISC-10U1S-SU1 ISC-10 メインボール：POM メインボール：UHMWPE サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス ステンレス本体 本　体： ステンレス 本　体： ステンレス キャップ： POM キャップ： UHMWPE Stainless Body Main Ball : POM Main Ball : UHMWPE 不锈钢本体 Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : Stainless Body : Stainless Cap : POM Cap : UHMWPE 主球 : POM 主球 : UHMWPE 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 封盖 : POM 封盖 : UHMWPE ✜ ISC-10P1S-SP1 ✜ ISC-10P2S-SP1 ✜ ISC-10V1S-SV1 メインボール：PEEK メインボール：導電 PEEK メインボール：ベスペル ®SP サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： ステンレス 本　体： ステンレス 本　体： ステンレス キャップ： PEEK キャップ： PEEK キャップ： ベスペル ®SP Main Ball : PEEK Main Ball : ESD PEEK Main Ball : Vespel® SP Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : Stainless Body : Stainless Body : Stainless Cap : PEEK Cap : PEEK Cap : VESPEL®SP 主球 : PEEK 主球 : 导电 PEEK 主球 : Vespel® SP 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 封盖 : PEEK 封盖 : PEEK 封盖 : Vespel® SP ✜ ISC-10V2S-SV1 メインボール：導電ベスペル ®SP サブボール： ステンレス 本　体： ステンレス キャップ： ベスペル ®SP Main Ball : ESD Vespel® SP Small Balls : Stainless Body : Stainless Cap : Vespel® SP 主球 : 导电 Vespel® SP 小球 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 封盖 : Vespel® SP 8 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer

Cleanroom Type Ball Transfer ✜ ISC-16JS-J ✜ ISC-16U1S-J ISC-16 メインボール：POM メインボール：UHMWPE サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： POM 本　体： POM キャップ： POM キャップ： POM Main Ball : POM Main Ball : UHMWPE Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : POM Body : POM Cap : POM Cap : POM 主球 : POM 主球 : UHMWPE 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : POM 本体 : POM 封盖 : POM 封盖 : POM ✜ ISC-16FS-J ✜ ISC-16P1S-J ✜ ISC-16V1S-J メインボール：3F メインボール：PEEK メインボール：ベスペル ®SP サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： POM 本　体： POM 本　体： POM キャップ： POM キャップ： POM キャップ： POM Main Ball : 3F Main Ball : PEEK Main Ball : Vespel® SP Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : POM Body : POM Body : POM Cap : POM Cap : POM Cap : POM 主球 : 3F 主球 : PEEK 主球 : Vespel® SP 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : POM 本体 : POM 本体 : POM 封盖 : POM 封盖 : POM 封盖 : POM Cleanroom Type Ball Transfer ✜ ISC-16JS-SJ ✜ ISC-16U1S-SJ ISC-16 メインボール：POM メインボール：UHMWPE サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス ステンレス本体 本　体： ステンレス 本　体： ステンレス キャップ： POM キャップ： POM Stainless Body Main Ball : POM Main Ball : UHMWPE 不锈钢本体 Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : Stainless Body : Stainless Cap : POM Cap : POM 主球 : POM 主球 : UHMWPE 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 封盖 : POM 封盖 : POM ✜ ISC-16FS-SJ ✜ ISC-16P1S-SJ ✜ ISC-16V1S-SJ メインボール：3F メインボール：PEEK メインボール：ベスペル ®SP サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： ステンレス 本　体： ステンレス 本　体： ステンレス キャップ： POM キャップ： POM キャップ： POM Main Ball : 3F Main Ball : PEEK Main Ball : Vespel® SP Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : Stainless Body : Stainless Body : Stainless Cap : POM Cap : POM Cap : POM 主球 : 3F 主球 : PEEK 主球 : Vespel® SP 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 封盖 : POM 封盖 : POM 封盖 : POM ✜ ISC-16U2S-SJ ✜ ISC-16P2S-SJ メインボール：導電 UHMWPE メインボール：導電 PEEK サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： ステンレス 本　体： ステンレス キャップ： POM キャップ： POM Main Ball : ESD UHMWPE Main Ball : ESD PEEK Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : Stainless Body : Stainless Cap : POM Cap : POM 主球 : 导电 UHMWPE 主球 : 导电 PEEK 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 本体 : 不锈钢 封盖 : POM 封盖 : POM ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer 9

Cleanroom Type Ball Transfer ・ISCS 型の標準洗浄仕様は、ISB 洗浄となっておりますが、その他の洗浄も可能となります。 ・使用荷重については、御使用環境上、様々なケースがございますので、表記しておりません。ご不明な点等弊社営業部までお問い合わせください。 ISCS-10 ・搬送用途での使用を御検討の場合は、弊社営業部までお問い合わせください。 ・本体及びキャップにつきましては、POM（黒色）に変更が可能です。 ・本体及びキャップにつきましては、成型品となります。 • Besides ISCS ISB Cleaning other cleaning and packaging options are also available upon request. • Load capacity depends on the application and environment, for more information please contact our sales. • For conveyor applications please contact our sales. • Cap and Body can be changed to POM (Black) upon request. • Body and cap are low-cost molded type. ・ISCS 的标准洗净方法是 ISB 洗净，也可选择其他洗净方法。 ・ 因使用环境各有不同，所以使用荷重没有标明，如有不明之处，请咨询本公司业务。 ・ 用于搬送时，请咨询本公司业务。 ・ 本体及封盖的材质可变更为黑色的 POM。 ・ 本体及封盖是射出成形产品。 ✜ ISCS-10JS-J ✜ ISCS-10U1S-J ✜ ISCS-10FS-J メインボール：POM メインボール：UHMWPE メインボール：3F サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： POM 本　体： POM 本　体： POM キャップ： POM キャップ： POM キャップ： POM Main Ball : POM Main Ball : UHMWPE Main Ball : 3F Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : POM Body : POM Body : POM Cap : POM Cap : POM Cap : POM 主球 : POM 主球 : UHMWPE 主球 : 3F 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : POM 本体 : POM 本体 : POM 封盖 : POM 封盖 : POM 封盖 : POM ✜ ISCS-10P1S-J ✜ ISCS-10V1S-J メインボール：PEEK メインボール：ベスペル ®SP サブボール： ステンレス サブボール： ステンレス 本　体： POM 本　体： POM キャップ： POM キャップ： POM Main Ball : PEEK Main Ball : Vespel® SP Small Balls : Stainless Small Balls : Stainless Body : POM Body : POM Cap : POM Cap : POM 主球 : PEEK 主球 : Vespel® SP 小球 : 不锈钢 小球 : 不锈钢 本体 : POM 本体 : POM 封盖 : POM 封盖 : POM Cleanroom Type Ball Transfer ・IP 型の標準洗浄仕様は、ISB 洗浄となっておりますが、その他の洗浄も可能となります。 ・使用荷重については、御使用環境上、様々なケースがございますので、表記しておりません。ご不明な点等弊社営業部までお問い合わせください。 ・搬送用途での使用を御検討の場合は、弊社営業部までお問い合わせください。 IP-16 ・サブボールにつきましては、材質変更が可能となります。 ・ボルトタイプの推奨締め付けトルクは 0.8N・m 以下となります。 ・本体及びキャップにつきましては、成型品となります。 • Besides IP ISB Cleaning other cleaning and packaging options are also available upon request. • Load capacity depends on the application and environment, for more information please contact our sales. • For conveyor applications please contact our sales. • Materiel of Small balls can be changed upon request. • Recommended tightening torque is less than 0.8N∙m. • Body and cap are low-cost molded type. ・IP 的标准洗净方法是 ISB 洗净，也可选择其他洗净方法。 ・ 因使用环境各有不同，所以使用荷重没有标明，如有不明之处，请咨询本公司业务。 ・ 用于搬送时，请咨询本公司业务。 ・ 小球可变更材质。 ・ 螺丝的拧紧扭力推荐值为 0.8Nm 以下。 ・ 本体及封盖是射出成形产品。 ▲ フランジタイプ ▲ ボルトタイプ 　Flange Type 凸缘型 　Bolt Type 螺栓型 ✜ IP-16JW ✜ IP-16U1W ✜ IP-16P1W メインボール：POM メインボール：UHMWPE メインボール：PEEK 本体・キャップ・サブボール：POM 本体・キャップ・サブボール：POM 本体・キャップ・サブボール：POM Main Ball : POM Main Ball : UHMWPE Main Ball : PEEK Body / Cap / Small Balls : POM Body / Cap / Small Balls : POM Body / Cap / Small Balls : POM 主球 : POM 主球 : UHMWPE 主球 : PEEK 本体、封盖、小球 : POM 本体、封盖、小球 : POM 本体、封盖、小球 : POM 10 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer

✜ IP-16V1W ✜ IP-16U2B ✜ IP-16JNW メインボール：ベスペル ®SP メインボール：導電 UHMWPE メインボール：POM 本体・キャップ・サブボール：POM 本体・キャップ・サブボール：POM 本体・キャップ・サブボール：POM Main Ball : Vespel® SP Main Ball : ESD UHMWPE Main Ball : POM Body / Cap / Small Balls : POM Body / Cap / Small Balls : POM Body / Cap / Small Balls : POM 主球 : Vespel® SP 主球 : 导电 UHMWPE 主球 : POM 本体、封盖、小球 : POM 本体、封盖、小球 : POM 本体、封盖、小球 : POM ✜ IP-16U1NW ✜ IP-16P1NW ✜ IP-16V1NW メインボール：UHMWPE メインボール：PEEK メインボール：ベスペル ®SP 本体・キャップ・サブボール：POM 本体・キャップ・サブボール：POM 本体・キャップ・サブボール：POM Main Ball : UHMWPE Main Ball : PEEK Main Ball : Vespel® SP Body / Cap / Small Balls : POM Body / Cap / Small Balls : POM Body / Cap / Small Balls : POM 主球 : UHMWPE 主球 : PEEK 主球 : Vespel®SP 本体、封盖、小球 : POM 本体、封盖、小球 : POM 本体、封盖、小球 : POM ✜ IP-16U2NB メインボール：導電 UHMWPE 本体・キャップ・サブボール：POM Main Ball : ESD UHMWPE Body / Cap / Small Balls : POM 主球 : 导电 UHMWPE 本体、封盖、小球 : POM Cleanroom Type Ball Transfer ✜ IP-25JW ✜ IP-25U1W IP-25 メインボール：POM メインボール：UHMWPE 本体・キャップ・サブボール：POM 本体・キャップ・サブボール：POM Main Ball : POM Main Ball : UHMWPE Body / Cap / Small Balls : POM Body / Cap / Small Balls : POM ▲ フランジタイプ 主球 : POM 主球 : UHMWPE 　Flange Type 凸缘型 本体、封盖、小球 : POM 本体、封盖、小球 : POM ✜ IP-25P1W ✜ IP-25U2B メインボール：PEEK メインボール：導電 UHMWPE 本体・キャップ・サブボール：POM 本体・キャップ・サブボール：POM Main Ball : PEEK Main Ball : ESD UHMWPE Body / Cap / Small Balls : POM Body / Cap / Small Balls : POM 主球 : PEEK 主球 : 导电 UHMWPE 本体、封盖、小球 : POM 本体、封盖、小球 : POM 1IS1B Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer 11

Cleanroom Type Ball Transfer ・IPK 型の標準洗浄仕様は、ISB 洗浄となっておりますが、その他の洗浄も可能となります。 ・搬送用途での使用を御検討の場合は、弊社営業部までお問い合わせください。 IPK-22 • Besides IPK ISB Cleaning other cleaning and packaging options are also available upon request. • For conveyor applications please contact our sales. ・IPK 的标准洗净方法是 ISB 洗净，也可选择其他洗净方法。 ・ 用于搬送时，请咨询本公司业务。 ✜ IPK-22 使用荷重 : 7 kgf (68.6 N) Load Capacity : 15.4 lbf 使用荷重 : 7 kgf (68.6 N) 自重 : 0.05kg Product Weight : 1.0 lbs 自重 : 0.05kg 本体 : POM Body : POM 本体 : POM メインボール : POM Main Ball : POM 主球 : POM サブボール : POM Small Balls : POM 小球 : POM キャップ : POM Cap : POM 封盖 : POM ボール受け : POM Support Cup : POM 受皿 : POM インナーカバー : POM Internal Cap : POM 内部小球覆盖物 : POM シール : PBT Seal : PBT 防粉尘圈 : PBT IPKの特長　The features of IPK 　IPK 的特点 用途　Application 　用途 オール樹脂製でコストパフォーマンスに優れる下向き専用イグチベアーとなります。 医療業界、食品業界等、金属を使用できない環境にて下向きで（キャスターとして） Caster type Ball Transfer with a good cost performance. 使用。 全树脂，低价格，向下专用万向球 Medical, Food plants, Cleanrooms and places where steel can't be used. 用于医疗，食品行业等不能使用金属的环境之向下使用的小脚轮。 Cleanroom Type Ball Transfer リクエストに対して、 わたしたちができること Engineering innovation and custom solutions a specialty of our company 您的需求，我们来满足 FPD 製造において、ガラス基板の位置決め部に新 We also are enthusiastic about developing custom- ISC 万向球提供了 FPD 制程中玻璃基板崭新的定位 しい方式を提供した ISC イグチベアー。ISBとしては、 made products to meet our customer’s specific 方式。但 ISB 不因此而满足，为了能提供更多样化 現在の実績に満足することなく更なる可能性を求め demands for new applications. Our next challenge 的产品而不断地进行开发。 日々開発を進めています。 is to develop products for extreme environments, 例如开发出能对应 1000 度以上超高温环境或特殊 1000℃以上の超高温雰囲気で使用可能な ISC イグ such as temperature higher than 1000°C, and unique 真空环境的产品，甚至开发出能活跃于次世代处理 チベアーや特殊な真空環境に対応したモデル、ま special model for vacuum environments with new 设备或半导体产业的 ISC 万向球，提供客户崭新的 た、次世代処理装置や半導体業界等で活躍できる construction and movement so they can be specified 产品。 ISB オリジナルの ISC イグチベアーを開発し、今ま in the next generation processing systems and でに無い動きや機構をお客様へご提供してまいりま semiconductor industries. 产品外径为φ 6 以上便可加工，不断努力致力于不 す。 锈钢及特殊树脂的精密加工。 We have enhanced our facilities with specialized 自社工場にてφ 6 以上の製品から加工も可能な為、 equipment such as CNC Machines for products as 今まで以上に様々なステンレスや特殊樹脂の精密 small as φ 6mm, and CNC machines with the ability 加工に取り組んでおります。 of precision machining of plastic and stainless steel products. 12 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer

Cleanroom Type Ball Transfer ILS フリータイプ ILS ストッパータイプ ILS lock free series ILS 不带锁定功能 ILS lock series ILS 带锁定功能 位置決めステージ ILS シリーズ〈特許取得済み〉〈Patented〉 各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。 G7、G8 級に対応した大型タイプや、従来規模の製造ライン改善用に対応した小型タイプなど、世界的な採用が拡大しています。滑るように全方向に移動できる ILS ステージユニットは、 イグチベアーを採用した従来機に比べ、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできます。位置決め完了後、AGV によりカセッ ト受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し、次のカセットを待ちます。また、可動部をホールドさせることができる S タイプもご用意しております。 ILS Series Positioning Stages (Patented) ILS Series positioning stages have been developed as buffers at each stage of glass substrate processing for simply positioning glass substrates buffer cassettes. Since we have developed ILS stage units, there has been worldwide market demand for positioning cassettes especially the large types G7 and G8 mother glasses in FPD industries processing systems as well as the small types for updating existing processing systems. The ILS Series positioning stages upper plate rolls smoothly in any 360 degree direction. Despite their compactness, they also can carry heavy loads than conventional type and set the substrate cassette at a desired position. The cassettes are then unloaded by AGV to let the ILS upper plate return to its original position to load the next cassette. Instead of returning the upper plate of ILS stage unit to its original position, an S type is also available to hold the stage at an unloading position. 位置决定器 ILS 系列〈专利产品〉 各制程储藏玻璃的片夹盒，使之轻松完成定位作业的位 置决定器。 适用于 7 代、8 代的大尺寸规格，或为了改善以往小型 生产线的小尺寸规格，ILS 的采用实绩日益增多。与万 向球支撑的旧机型相比，ILS 位置决定器不仅体积简洁， 承载荷重大，能全方向移动顺利地完成片夹盒的定位作 业。当释放荷载后，ILS 的可动部可迅速恢复至原点等 待下一个片夹盒的装载作业。另外，也可提供可动部利 用气压锁定功能的 S 型定位台。 フリータイプ ILS lock free series　ILS 不带锁定功能 ✜ ILS-150 ✜ ILS-350-H10 4-Φ11.5 Φ138 Φ130 4 M6 4-∅10 -C3 下降時エア供給口 When down Supply Port ∅138 下降时供给口 推奨使用エアー圧 / リフト能力 ∅60 Recommended Air Pressure/ Lifting Capability M6 推荐使用气压 / 升降能力 上昇時エア供給口 0.4MPa = 314kg When up Supply Port 0.5MPa = 392kg 上升时供给口 0.6MPa = 417kg P.C.D.144 Φ164 自　重 Product Weight 自　重 ： 1.5kg / 3.3lbs 自　重 Product Weight 自　重 ： 4.1kg / 9.03lbs 可動距離 Moving Distance 可动距离 ： ± 15mm / ± 0.590" 水平ストローク Horizontal Stroke 水平移动距离 ： ± 20mm / ± 0.787" 使用荷重 Load Capacity 使用荷重 ： 150kgf/ 1470 N/ 331lbf 昇降ストローク Vertical Stroke 升降距离 ： 10mm / ± 0.394 ケース Case 外壳 ： Aluminum+Alumite 使用荷重 Load Capacity 使用荷重 ： 350kgf/ 3432N/ 771lbf 取付フランジ Fixing flange 安装板 ： Aluminum+Alumite ケース Case 外壳 ： Aluminum+Alumite 可動ステージ　 Moving stage 可动部 ： SUS304 取付フランジ Fixing flange 安装板 ： Aluminum+Alumite 可動ステージ　 Moving stage 可动部 ： SUS304+ESD UHMWPE ストッパータイプ　ILS lock series　ILS 带锁定功能 ✜ ILS-30S-40 ✜ ILS-30S-60 P.C.D .52 P.C.D.72 2-∅4.5貫通 2-∅4.5 Φ7.5ｻﾞｸﾞﾘ深15 Drilled through hole depth of counter bore 钻孔贯通 沉头深 Φ40 Φ60 Φ83 Ｍ6(エア供給口) Φ63 Ｍ6(エア供給口) Air Supply Port Air Supply Port 空气供给口 空气供给口 自　重 Product Weight 自　重 ：0.4kg / 0.88lbs 自　重 Product Weight 自　重 ：0.6kg / 1.32lbs 可動距離 Moving Distance 可动距离 ：± 5mm/ ± 0.197" 可動距離 Moving Distance 可动距离 ：± 5mm/ ± 0.197" 使用荷重 Load Capacity 使用荷重 ：30kgf/ 294N/ 66lbf 使用荷重 Load Capacity 使用荷重 ：30kgf/ 294N/ 66lbf 推奨使用エアー圧 Recommended Air Pressure 推荐使用气压 ：0.4MPa~0.6MPa 推奨使用エアー圧 Recommended Air Pressure 推荐使用气压 ：0.4MPa~0.6MPa ケース Case 外壳 ：Aluminum+Alumite ケース Case 外壳 ：Aluminum+Alumite 取付フランジ Fixing flange 安装板 ：Aluminum+Alumite 取付フランジ Fixing flange 安装板 ：Aluminum+Alumite 可動ステージ　 Moving stage 可动部 ：UHMWPE 可動ステージ　 Moving stage 可动部 ：UHMWPE 1IS3B Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer 13 42.5±0.3 60 34.5 □140 52±0.3 (47) 6 □120 38 13 65 54±0.3 20 15 125120±0.3 13 32 6

✜ ILS-150S ✜ ILS-150S-S20 4-C 4-∅10 3 M6 4 Ｍ５ Φ4-10 Φ115 -C3 (エア供給口) ∅132 (エア供給口) Φ80 ストッパー解除時真空引き Air Supply Port Air Supply Port 空气供给口 ∅60 空气供给口 Vacuuming is needed to release lock 正压锁定，负压解锁 自　重 Product Weight 自　重 ：1.8kg / 3.96lbs 自　重 Product Weight 自　重 ：2.2kg / 4.85lbs 可動距離 Moving Distance 可动距离 ：± 15mm/ ± 0.590" 可動距離 Moving Distance 可动距离 ：± 20mm/ ± 0.787" 使用荷重 Load Capacity 使用荷重 ：150kgf/ 1470 N/ 331lbf 使用荷重 Load Capacity 使用荷重 ：150kgf/ 1470 N/ 331lbf 推奨使用エアー圧 Recommended Air Pressure 推荐使用气压 ：0.4MPa~0.6MPa 推奨使用エアー圧 Recommended Air Pressure 推荐使用气压 ：0.4MPa~0.6MPa ケース Case 外壳 ：Aluminum+Alumite ケース Case 外壳 ：Aluminum+Alumite 取付フランジ Fixing flange 安装板 ：Aluminum+Alumite 取付フランジ Fixing flange 安装板 ：Aluminum+Alumite 可動ステージ　 Moving stage 可动部 ：SUS304 可動ステージ　 Moving stage 可动部 ：SUS304+ESD UHMWPE ✜ ILS-350S-H10 ✜ ILS-350S-S25 4-Φ11.5 Ｍ6 Φ138 (ストッパーエア供給口) Φ130 Air Supply Port 空气供给口 Φ158 4-M6 M6 Φ110 推奨使用エアー圧 / リフト能力 下降時エア供給口 P.C.D.88 Recommended Air Pressure/ When down Supply Port Lifting Capability 下降时供给口 推荐使用气压 / 升降能力 M6 Ｍ5(エア供給口) 0.4MPa = 314kg 上昇時エア供給口 Air Supply Port 4-M6 深 9 以下 0.5MPa = 392kg When up Supply Port 空气供给口 0.6MPa = 417kg 上升时供给口 P.C.D144 Φ164 P.C.D.88 自　重 Product Weight 自　重 ：4.2kg / 9.25lbs 自　重 Product Weight 自　重 ：2.8kg / 6.17lbs 水平ストローク Vertical Stroke 水平移动距离 ：± 20mm/ ± 0.787" 可動距離 Moving Distance 可动距离 ：± 25mm/ ± 0.984" 昇降ストローク Vertical Stroke 升降距离 ：10mm / ± 0.394 使用荷重 Load Capacity 使用荷重 ：350kgf/ 3432N/ 771lbf 使用荷重 Load Capacity 使用荷重 ：350kgf/ 3432N/ 771lbf 推奨使用エアー圧 Recommended Air Pressure 推荐使用气压 ：0.4MPa~0.6MPa ケース Case 外壳 ：Aluminum+Alumite ケース Case 外壳 ：Aluminum+Alumite 取付フランジ Fixing flange 安装板 ：Aluminum+Alumite 取付フランジ Fixing flange 安装板 ：Aluminum+Alumite 可動ステージ　 Moving stage 可动部 ：SUS304+ESD UHMWPE 可動ステージ　 Moving stage 可动部 ：SUS304 ✜ ILS-500S ✜ ILS-800S 4-Φ10 Φ178 4-M10×P1.25 4-Φ14 　M6(エア供給口) Φ142 ( 細目 ) Φ248 Air Supply Port Φ80 Fine Thread Φ148 细目 空气供给口 P.C.D120 　Rc1/８” (エア供給口) Air Supply Port 空气供给口 自　重 Product Weight 自　重 ：3.9kg / 8.59lbs 自　重 Product Weight 自　重 ：12.3kg / 27.1lbs 可動距離 Moving Distance 可动距离 ：± 30mm/ ± 1.181" 可動距離 Moving Distance 可动距离 ：± 50mm/ ± 1.969" 使用荷重 Load Capacity 使用荷重 ：500kgf/ 4903N/ 1102lbf 使用荷重 Load Capacity 使用荷重 ：800kgf/ 7845N/ 1763lbf 推奨使用エアー圧 Recommended Air Pressure 推荐使用气压 ：0.4MPa~0.6MPa 推奨使用エアー圧 Recommended Air Pressure 推荐使用气压 ：0.4MPa~0.6MPa ケース Case 外壳 ：Aluminum+Alumite ケース Case 外壳 ：Aluminum+Alumite 取付フランジ Fixing flange 安装板 ：Aluminum+Alumite 取付フランジ Fixing flange 安装板 ：Aluminum+Alumite 可動ステージ　 Moving stage 可动部 ：SUS304+ESD UHMWPE 可動ステージ　 Moving stage 可动部 ：SUS304 14 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer 52.5±0.3 44.5 40.5 □140 74±0.3 □170 34.5 □120 59.5 □150 125 6 6 120±0.3 96.5 13 32 8 6 55.5±0.3 47.5 8 43.5 60.5±0.3 93±0.5 □250 37.5 45 □140 75 □210 9 6 □120 10 (8) 10 ︵ ︶

Cleanroom Type Ball Transfer ISR-C38 エアボールリフターー ISR-C シリーズ〈特許取得済み〉 ISR-C38 TYPE 〈Patented〉 従来のエアボールリフターーを基にクリーン化を推進。各種半導体、FPD 製造装置内部での位置決めや汎用治具、及びクリーンルーム内における 各種重量ユニットの搬送・位置決めシステムの幅広いニーズに対応でき るユニットです。 ISR-C Series Air Ball Lifters (Patented ) ISR-C Series air ball lifters are designed based on conventional air ball lifters to improve the cleanliness grade for Cleanroom applications. Proven technology in wide range of applications such as Semiconductor/FPD production lines, positioning and alignment of glass substrates, universal jigs and transferring heavy tools inside Cleanrooms. Customized models are also available for specific applications upon request. Please contact us. 气压式万向球提升器 ISR-C 系列〈专利产品〉 在以往的气压式万向球提升器的基础上增加了无尘化的因素。适用于各种半导体、 FPD 制造设备内部的定位及通用夹具、无尘室内的各种重量组件的搬运，定位等各 种需求。 为了满足广大客户的要求也制作特殊规格的产品。 ●取付用ボルトは、本体に付属しています。 Accessory mounting bolts. 固定用螺栓附属在本体上。 ボールリフターー全 ボールリフターー 1 本あたりのリフト能力 長 Overrall length of Ball ボール個数 Load capacity on each unit 提升器单组的升降能力 型式 Lifter No. of balls 自重 供給エア圧力 MPa(kgf/cm2) Model 球的个数 提升器全长 Product Weight Supplied air pressure 供给空气压力 型号 Ｌ n 0.4MPa (4.08kgf/cm2) 0.5MPa (5.10kgf/cm2) 0.6MPa (6.12kgf/cm2) (mm) (inch) (kg) (lbs) (kgf ) (kN) (lbf ) (kgf ) (kN) (lbf ) (kgf ) (kN) (lbf ) ISR-C38-100-A 100 3.94 1 0.6 1.3 33 0.32 73 42 0.41 93 52 0.51 115 ISR-C38-150-A 150 5.91 2 0.9 2 66 0.65 146 84 0.82 185 104 1.02 229 ISR-C38-200-A 200 7.87 3 1.2 2.6 99 0.97 218 126 1.23 278 156 1.53 344 ISR-C38-250-A 250 9.84 4 1.5 3.3 132 1.29 291 168 1.65 370 208 2.04 459 ISR-C38-300-A 300 11.81 5 1.8 4 165 1.62 364 210 2.06 463 260 2.55 573 ISR-C38-350-A 350 13.78 6 2.1 4.6 198 1.94 437 252 2.47 556 312 3.06 688 ISR-C38-400-A 400 15.75 7 2.4 5.3 231 2.26 509 294 2.88 648 364 3.57 803 ISR-C38-450-A 450 17.72 8 2.7 6 264 2.59 582 336 3.29 741 416 4.08 917 ISR-C38-500-A 500 19.69 9 3 6.6 297 2.91 655 378 3.70 833 468 4.59 1032 ISR-C38-550-A 550 21.65 10 3.3 7.3 330 3.23 728 420 4.12 926 520 5.10 1146 ISR-C38-600-A 600 23.62 11 3.6 7.9 363 3.56 800 462 4.53 1019 572 5.61 1261 ISR-C38-650-A 650 25.59 12 3.9 8.6 393 3.88 866 504 4.94 1111 624 6.12 1376 ISR-C38-700-A 700 27.56 13 4.2 9.3 429 4.20 946 546 5.35 1204 676 6.62 1490 ISR-C38-750-A 750 29.53 14 4.5 9.9 462 4.53 1019 588 5.76 1296 728 7.13 1605 ISR-C38-800-A 800 31.5 15 4.8 10.6 495 4.85 1091 630 6.17 1389 780 7.64 1720 ISR-C38-850-A 850 33.46 16 5.1 11.2 528 5.17 1164 672 6.59 1482 832 8.15 1834 ISR-C38-900-A 900 35.43 17 5.4 11.9 561 5.50 1237 714 7.00 1574 884 8.66 1949 ISR-C38-950-A 950 37.4 18 5.7 12.6 594 5.82 1310 756 7.41 1667 936 9.17 2064 ISR-C38-1000-A 1000 39.37 19 6 13.2 627 6.14 1382 798 7.82 1759 988 9.68 2178 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer 15

Cleanroom Type Ball Transfer ISR-C50S 型（シングルピストンタイプ） ISR-C50S SINGLE PISTON TYPE 单活塞型 ●取付用ボルトは、本体に付属しています。 Accessory mounting bolts. 固定用螺栓附属在本体上。 ボールリフター全長 ボールリフター 1 本あたりのリフト能力 Overrall length of Ball ボール個数 Load capacity on each unit 提升器单组的升降能力 型式 Lifter No. of balls 自重 供給エア圧力 MPa(kgf/cm2) Model 球的个数 提升器全长 Product Weight Supplied air pressure 供给空气压力 型号 Ｌ n 0.4MPa (4.08kgf/cm2) 0.5MPa (5.10kgf/cm2) 0.6MPa (6.12kgf/cm2) (mm) (inch) (kg) (lbs) (kgf ) (kN) (lbf ) (kgf ) (kN) (lbf ) (kgf ) (kN) (lbf ) ISR-C50S-100-A 100 3.94 1 0.9 2 47 0.46 104 61 0.60 135 75 0.73 165 ISR-C50S-150-A 150 5.91 2 1.4 3 94 0.92 207 122 1.20 269 150 1.47 331 ISR-C50S-200-A 200 7.87 3 1.8 4 141 1.38 311 183 1.79 403 225 2.20 496 ISR-C50S-250-A 250 9.84 4 2.3 5 188 1.84 415 244 2.39 538 300 2.94 661 ISR-C50S-300-A 300 11.81 5 2.7 6 235 2.30 518 305 2.99 672 375 3.68 827 ISR-C50S-350-A 350 13.78 6 3.2 6.9 282 2.76 622 366 3.59 807 450 4.41 992 ISR-C50S-400-A 400 15.75 7 3.6 7.9 329 3.22 725 427 4.19 941 525 5.15 1157 ISR-C50S-450-A 450 17.72 8 4.1 8.9 376 3.69 829 488 4.78 1076 600 5.88 1323 ISR-C50S-500-A 500 19.69 9 4.5 9.9 423 4.15 933 549 5.38 1210 675 6.62 1488 ISR-C50S-550-A 550 21.65 10 5 10.9 470 4.61 1036 610 5.98 1345 750 7.35 1653 ISR-C50S-600-A 600 23.62 11 5.4 11.9 517 5.07 1140 671 6.58 1479 825 8.09 1819 ISR-C50S-650-A 650 25.59 12 5.9 12.9 564 5.53 1243 732 7.18 1614 900 8.82 1984 ISR-C50S-700-A 700 27.56 13 6.3 13.9 611 5.99 1347 793 7.77 1748 975 9.56 2150 ISR-C50S-750-A 750 29.53 14 6.8 14.9 658 6.45 1451 854 8.37 1883 1050 10.30 2315 ISR-C50S-800-A 800 31.5 15 7.2 15.9 705 6.91 1554 915 8.97 2017 1125 11.00 2480 ISR-C50S-850-A 850 33.46 16 7.7 16.9 752 7.37 1658 976 9.57 2152 1200 11.80 2646 ISR-C50S-900-A 900 35.43 17 8.1 17.9 799 7.83 1761 1037 10.20 2286 1275 12.50 2811 ISR-C50S-950-A 950 37.4 18 8.6 18.8 846 8.29 1865 1098 10.80 2421 1350 13.20 2976 ISR-C50S-1000-A 1000 39.37 19 9 19.8 893 8.75 1969 1159 11.40 2555 1425 14.00 3142 16 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer

Cleanroom Type Ball Transfer ISR-C50D 型（ダブルピストンタイプ） ISR-C50D DOUBLE PISTON TYPE 双活塞型 ●取付用ボルトは、本体に付属しています。 Accessory mounting bolts. 固定用螺栓附属在本体上。 ボールリフター全長 ボールリフター 1 本あたりのリフト能力 Overrall length of Ball ボール個数 Load capacity on each unit 提升器单组的升降能力 型式 Lifter No. of balls 自重 供給エア圧力 MPa(kgf/cm2) Model 球的个数 提升器全长 Product Weight Supplied air pressure 供给空气压力 型号 Ｌ n 0.4MPa (4.08kgf/cm2) 0.5MPa (5.10kgf/cm2) 0.6MPa (6.12kgf/cm2) (mm) (inch) (kg) (lbs) (kgf ) (kN) (lbf ) (kgf ) (kN) (lbf ) (kgf ) (kN) (lbf ) ISR-C50D-100-A 100 3.94 1 0.9 1.9 100 0.98 221 127 1.24 280 154 1.51 340 ISR-C50D-150-A 150 5.91 2 1.3 2.8 200 1.96 441 254 2.49 560 308 3.02 679 ISR-C50D-200-A 200 7.87 3 1.7 3.8 300 2.94 661 381 3.73 840 462 4.53 1019 ISR-C50D-250-A 250 9.84 4 2.2 4.7 400 3.92 882 508 4.98 1120 616 6.04 1358 ISR-C50D-300-A 300 11.81 5 2.6 5.7 500 4.90 1102 635 6.22 1400 770 7.55 1698 ISR-C50D-350-A 350 13.78 6 3 6.6 600 5.88 1323 762 7.47 1680 924 9.06 2037 ISR-C50D-400-A 400 15.75 7 3.4 7.6 700 6.86 1543 889 8.71 1960 1078 10.60 2377 ISR-C50D-450-A 450 17.72 8 3.9 8.5 800 7.84 1764 1016 9.96 2240 1232 12.10 2716 ISR-C50D-500-A 500 19.69 9 4.3 9.5 900 8.82 1984 1143 11.20 2520 1386 13.60 3056 ISR-C50D-550-A 550 21.65 10 4.7 10.4 1000 9.80 2205 1270 12.40 2800 1540 15.10 3395 ISR-C50D-600-A 600 23.62 11 5.2 11.4 1100 10.80 2425 1397 13.70 3080 1694 16.60 3735 ISR-C50D-650-A 650 25.59 12 5.6 12.3 1200 11.80 2646 1524 14.90 3360 1848 18.10 4074 ISR-C50D-700-A 700 27.56 13 6 13.3 1300 12.70 2866 1651 16.20 3640 2002 19.60 4414 ISR-C50D-750-A 750 29.53 14 6.5 14.2 1400 13.70 3086 1778 17.40 3920 2156 21.10 4753 ISR-C50D-800-A 800 31.5 15 6.9 15.2 1500 14.70 3307 1905 18.70 4200 2310 22.60 5093 ISR-C50D-850-A 850 33.46 16 7.3 16.1 1600 15.70 3527 2032 19.90 4480 2464 24.10 5432 ISR-C50D-900-A 900 35.43 17 7.7 17.1 1700 16.70 3748 2159 21.20 4760 2618 25.70 5772 ISR-C50D-950-A 950 37.4 18 8.2 18 1800 17.60 3968 2286 22.40 5040 2772 27.20 6111 ISR-C50D-1000-A 1000 39.37 19 8.6 19 1900 18.60 4189 2413 23.60 5320 2926 28.70 6451 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer 17

クリーンルーム向け ISB 製品の使用例　Usage example 　无尘室专用 ISB 产品使用例 18 ISB Products Overview Smooth Cleanroom Type Ball Transfer

INDEX クリーンルーム向けイグチベアーとは …………………… ２ About Cleanroom Ball Transfers 何谓无尘室专用万向球 ISC イグチベアーの基本性能 …………………………… ４ Cleanroom Ball Transfers basic performance　 ISC 万向球的基本性能 クリーンルームとは ……………………………………… ５ About Cleanroom　 何为无尘室 型式見方 /洗浄方法……………………………………… ６ Quick Reference Chart / Cleaning Process 　　 型号说明 / 洗净方法 ISC-10……………………………………………………… ７ ISC-16……………………………………………………… ９ ISCS-10/IP-16 ……………………………………………1 ０ IP-25 ………………………………………………………１１ IPK-22 ………………………………………………………１２ 特殊加工品に関して ………………………………………１２ For information regarding custom CNC machined products 有关特殊加工品 ILS …………………………………………………………１３ ISR-C38 ……………………………………………………１５ ISR-C50S …………………………………………………１６ ISR-C50D …………………………………………………１７ 使用例写真…………………………………………………１８ Usage example 　 产品使用例 ※デザイン、仕様は改良のため予告なく変更することがありますので予めご了承ください。 * Part numbers, models, descriptions and technical characteristics may be modified by IGUCHI KIKO.,CO.LTD without prior notification. ※ 为了改良，外观及使用条件可能会有变化，请谅解。 ※本カタログに記載の内容は、すべて無断の複製を固くお断りします。 * This brochure is the copyright of IGUCHI KIKO CO.,LTD. and fully protected. Nothing may be reprinted or reproduced without the written consent of IGUCHI KIKO CO.,LTD. ※ 禁止无端使用本样品书内所记载的内容。

本　　　社 〒178-0064 東京都練馬区南大泉 1-20-7 TEL.03-3923-1211　FAX.03-3923-8100 大阪支店 〒564-0063 大阪府吹田市江坂町 2-14-20 TEL.06-6192-7785 FAX.06-6192-7786 名古屋支店 〒453-0017 愛知県名古屋市中村区則武本通 1-34-601 TEL.052-486-7557　FAX.052-486-7565 www.isb-iguchi.com 福岡ｵﾌｨｽ 〒806-0063 福岡県北九州市八幡西区市瀬 1-8-37 TEL.06-6192-7785 FAX.06-6192-7786 練馬工場 〒178-0064 東京都練馬区南大泉 1-22-9 TEL.03-3923-1211　FAX.03-3923-8100 府中工場 〒183-0035 東京都府中市四谷 5-40 TEL.042-361-8783　FAX.042-360-7899 茨城工場 〒315-0125 茨城県石岡市山崎 962-157 TEL.0299-46-5811 FAX.0299-46-5817 ISB KOREA (Head Office, Factory) IGUCHI Thailand (Head Office, Factory) America Office(San Diego) TAIWAN Office 19.10