半導体アプリケーション向け Sievers TOC計

原水 / RO水 / UPW / 回収水 半導体アプリケーション向け Sievers TOC計 一次純水設備 排水 M500e M9e 1～2ppm 500ppb 原水 前処理 RO膜装置 一次タンク UV殺菌装置 脱気装置 回収水 数ppm イオン交換装置 回収水タンク UV殺菌装置 イオン交換装置 排水 0.5ppb M9ターボ サブシステム ppb～ppm ユースポイント 300ppt UF膜装置 / EDI イオン交換装置 UV殺菌装置 サブタンク Sievers TOC計のラインアップ アプリケーション モデル 測定範囲 測定時間 ユース 原水 RO水 回収水 診断 ポイント ガス透過膜式導電率測定方式 M9e 0.03 ppb～50 ppm 2分 ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ M9e ターボ 0.20 ppb～10 ppm 4秒 ✓ ✓ ✓ ✓ M500e 0.03 ppb～2.5 ppm 3分 ✓ ✓ 直接導電率測定方式 CheckPoint e 0.05 ppb～1 ppm 15秒 ✓

低濃度監視のための測定技術 UPW / サブシステム 低濃度のTOCを監視する測定技術として、 Sievers M500eは、低濃度域（0.03 ppb～ ガス透過膜式導電率測定方式（MC）と直接導 2.5 ppm）を対象とした、無試薬型のUPW用オ 電率測定方式（DC）があります。 ンラインTOC計です。 TOC計 Sievers M9e / M500e（MC技術） Sievers M500e の特長： • UPWシステムに存在する有機ハロゲン化合 • 水質に重大なリスクをもたらす有機酸や有機 物やアミンによる誤検知や検知漏れを防止 窒素化合物などをMC技術で検出 TOC計 Sievers CheckPoint e（DC技術） • 低DO水や水素水も測定可能 • 10インチタッチスクリーンによる直感的操作 • 一般的な監視ポイント向け • イソプロパノール 100ppb 検証プロトコル • 迅速な診断 / トラブルシューティング • 水質変動に応じて自動でゼロ調整を行う、ア ダプティブオートゼロ機能 半導体向けアプリケーション 原水 / RO水 / 回収水 Sievers M9e オンライン型 / ポータブル型 は、独自のMC技術と幅広い測定範囲（0.03 ppb～50 ppm）により、さまざまなアプリ ケーションに対応できます。オプションの ターボモード（分析時間4秒）は回収水監視に 役立ちます。 Sievers M9e の特長： Sievers M500e • 機差のマッチング • 超低濃度域の安定性 診断 / トラブルシューティング • 自動操作（校正 / 検証 / データ分析など） Sievers CheckPoint eは、UPWシステムの診 12か月の校正安定性 断 / トラブルシューティングツールに役立つDC • 技術のTOCセンサーです。 Sievers CheckPoint e の特長： • 軽量（3.6 kg）で持ち運びが簡単 • 加圧 / 非加圧サンプルの両方に対応可能 Sievers M9e（ポータブル型 / オンライン型） Sievers CheckPoint e 問い合わせ先 〒112-0001 東京都文京区白山5-1-3 東京富山会館ビル セントラル科学株式会社 TOCチーム 宛 電話：03-3812-9186 FAX：03-3814-7538 E-mail:toc@aqua-ckc.co.jp