半導体製造装置向けアプリケーション事例集

半導体製造装置向け、アプリケーション事例集

低発塵性・高精度などが要求される、半導体製造装置でのアプリケーション事例をご紹介、ウエハ搬送装置、天井搬送システム、AGV/AMR、設備ふた開閉、FOUP階層間、ウエハ研磨装置、検査装置、露光機/ボンダー/、マウンター、洗浄装置

ウエハ搬送ロボット、ウエハ搬送装置、採用製品、ケーブルベヤ、⇒TKP形MW仕様・TKR形・フラットベヤZP仕様、パワーロック・カップリング、⇒ステンレス仕様・無電解ニッケルメッキ仕様、タイミングベルト、⇒ウルトラPXベルト HC仕様・HY仕様、プーリ、⇒ロックプーリメッキ仕様、ロボットアームの駆動やロボットの、走行等に採用され、走行時の高い、停止位置精度、高速性、低発塵性が、求められます。、採用製品の下線部をクリックすると、詳細情報を確認できます！

クリーン搬送システム、天井搬送システム、オートランバンガードの採用により、天井空間でクリーンな搬送を実現、します。、採用製品、オートランバンガード

AMRによるFOUP搬送、AGV/AMR、AGVやAMR上の昇降機構に、ジップチェーンアクチュエータを、用いることで、低床化に貢献します。、採用製品、ジップチェーンアクチュエータ、狭いスペースでも設置OKで、

AMR昇降、AGV/AMR、AMR昇降において、他方式で生じる、課題も、高速・高頻度・高揚程な、ジップマスタで解決できます。、採用製品、ジップマスタ、ジップマスタ、で解決！

ふた開閉機構、設備ふた開閉、リフトマスタが設備のふたの昇降に、用いられます。ふたがつられた、アームを手動で旋回可能な構造も、提案可能です。、採用製品、リフトマスタ、高精度な多段位置決めができるボールネジ/台形ネジを、使った片持式リフタ、「置きポン形」設計で、生産ラインを自由にレイアウト、でき取り扱いも簡単です。電動化により作業環境も、改善され、省エネにも貢献します。、クリーン対応、各部品からの発塵を低減させる対応が可能です。

FOUP垂直循環搬送、FOUP階層間搬送装置、FOUPの階層間の搬送装置の昇降部に、ラムダチェーンが採用されています。、外部からの給油が不要なので装置の、メンテナンス工数の削減、、油の飛散を抑えた、クリーンな環境の、実現に貢献します。、採用製品、ラムダチェーン、特殊含油ブシュを採用した無給油チェーン

ウエハ研磨装置/検査装置の反転機構、ウエハ研磨装置、定盤回転駆動用に回転ムラが小さく、コンパクト性を有したトロイドライブ、の採用事例が多数あります。、さらに駆動用のベルト&プーリ、、ブラシ駆動用減速機、なども採用されています。、検査装置の反転機構、プローバの反転機構にトロイドライブが、採用されています。、さらにウエハステージ稼動部に、ケーブルベヤ、ベルト＆プーリなども、採用されています。

ウエハ研磨装置/検査装置の反転機構、ウエハ研磨装置、検査装置、「ウエハ研磨装置/検査装置の反転機構」の採用製品、トロイドライブ、小形ギヤモータ、タイミングベルト・プーリ、TERUSシリーズ

ステージの移動/ウエハカセットの移載、ステージの移動、露光機・ボンダー・マウンター等において、ステージの移動部分のケーブルの支持、案内にフラットベヤが採用されています。、ウエハカセットの移載、洗浄装置の薬液槽間の移載のケーブルの、支持案内に採用されています。、サポートメンバにより長ストローク化が、実現できます。

露光機/ボンダー/マウンター、ステージの移動/ウエハカセットの移載、洗浄装置、「ステージの移動/ウエハカセットの移載」の採用製品、ケーブルの支持案内におけるこのような課題解決できます！、摩耗粉付着による製品不良を削減したい／設置スペースを抑えたい／ケーブル・チューブの保護性を向上させたい／、ケーブル・チューブのたわみを抑えたい／跳ね上がりを抑えたい、クリーンベヤ、フラットベヤ、フラットベヤZP仕様、ケーブルベヤ プラシリーズ PVDF仕様、ケーブルベヤ TKR28H52-EX

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