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半導体製造装置向け アプリケーション事例集
半導体製造装置向け
アプリケーション事例集
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低発塵性・高精度などが要求される 半導体製造装置でのアプリケーション事例をご紹介、AGV/AMR、FOUP階層間 搬送装置
低発塵性・高精度などが要求される
半導体製造装置でのアプリケーション事例をご紹介
ウエハ搬送装置 天井搬送システム AGV/AMR 設備ふた開閉
FOUP階層間 露光機/ボンダー/
ウエハ研磨装置 検査装置 洗浄装置
搬送装置 マウンター
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ウエハ搬送ロボット、ウエハ搬送装置、採用製品、ケーブルベヤ ⇒TKP形MW仕様・TKR形・フラットベヤZP仕様、パワーロック・カップリング ⇒ステンレス仕様・無電解ニッケルメッキ仕様、タイミングベルト ⇒ウルトラPXベルト HC仕様・HY仕様、プーリ ⇒ロックプーリメッキ仕様、ロボットアームの駆動やロボットの 走行等に採用され、走行時の高い 停止位置精度、高速性、低発塵性が 求められます。、採用製品の下線部をクリックすると 詳細情報を確認できます！
ウエハ搬送ロボット ウエハ搬送装置
採用製品
ロボットアームの駆動やロボットの
走行等に採用され、走行時の高い ケーブルベヤ
⇒TKP形MW仕様・TKR形・フラットベヤZP仕様
停止位置精度、高速性、低発塵性が
使用環境に応じた低発塵商品をラインアップ
求められます。
パワーロック・カップリング
⇒ステンレス仕様・無電解ニッケルメッキ仕様
豊富なラインアップと確かな品質で、耐環境のニーズにマッチ
タイミングベルト
⇒ウルトラPXベルト
HC仕様・HY仕様
高精度・高強度を追求した伝動ベルトで、装置のコンパクト化に貢献
プーリ
⇒ロックプーリメッキ仕様
各部品の表面処理により耐食性向上と潤滑油不要のドライ締結を実現
採用製品の下線部をクリックすると
詳細情報を確認できます！
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クリーン搬送システム、天井搬送システム、オートランバンガードの採用により、天井空間でクリーンな搬送を実現 します。、採用製品、オートランバンガード
クリーン搬送システム 天井搬送システム
採用製品
オートランバンガードの採用により、
天井空間でクリーンな搬送を実現
オートランバンガード
します。
重量物搬送（max.200kg）、集電部からの発塵がゼロ
（非接触給電）、製造装置へのダイレクト搬送。
クリーンユニット搭載によりワークに対し高い
クリーン度を実現
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AMRによるFOUP搬送、AGV/AMR、AGVやAMR上の昇降機構に ジップチェーンアクチュエータを 用いることで、低床化に貢献します。、採用製品、ジップチェーンアクチュエータ、狭いスペースでも設置OKで、 多彩に使える直動機器です。
AMRによるFOUP搬送 AGV/AMR
AGVやAMR上の昇降機構に 採用製品
ジップチェーンアクチュエータを
ジップチェーンアクチュエータ
用いることで、低床化に貢献します。
狭いスペースでも設置OKで、
多彩に使える直動機器です。
省スペースで、高速・高頻度運転に対応し、
油・空圧シリンダと比べて使用電力量も
大幅に削減可能です。高精度な多点停止が
可能で、取付方向も自由です。
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AMR昇降、AGV/AMR、AMR昇降において、他方式で生じる 課題も、高速・高頻度・高揚程な ジップマスタで解決できます。、採用製品、ジップマスタ、ジップマスタ で解決！
AMR昇降 AGV/AMR
採用製品
AMR昇降において、他方式で生じる
課題も、高速・高頻度・高揚程な
ジップマスタ
ジップマスタで解決できます。
ジップチェーンを用いた置きポンで高速昇降可能な
片持式リフタです。
置くだけで使える「置きポン形」設計で、高速・高頻度・
高揚程だから様々な用途に使えます。
他方式での課題
油圧リフタ、ワイヤ方式
停止精度が低くリフタと ジップマスタ
床面の間に段差が生じる… で解決！
ボールネジ式
長ストローク化が困難…
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ふた開閉機構、設備ふた開閉、リフトマスタが設備のふたの昇降に 用いられます。ふたがつられた アームを手動で旋回可能な構造も 提案可能です。、採用製品、リフトマスタ、高精度な多段位置決めができるボールネジ/台形ネジを 使った片持式リフタ、「置きポン形」設計で、生産ラインを自由にレイアウト でき取り扱いも簡単です。電動化により作業環境も 改善され、省エネにも貢献します。、クリーン対応、各部品からの発塵を低減させる対応が可能です。
ふた開閉機構 設備ふた開閉
採用製品
リフトマスタが設備のふたの昇降に
用いられます。ふたがつられた
リフトマスタ
アームを手動で旋回可能な構造も
高精度な多段位置決めができるボールネジ/台形ネジを
提案可能です。 使った片持式リフタ
「置きポン形」設計で、生産ラインを自由にレイアウト
でき取り扱いも簡単です。電動化により作業環境も
改善され、省エネにも貢献します。
クリーン対応
各部品からの発塵を低減させる対応が可能です。
・特殊表面処理（ボールネジ・ガイド）
・ステンレス製カバー
・クリーングリス塗布（ボールネジ・ガイド）
・焼付塗装
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FOUP垂直循環搬送、FOUP階層間搬送装置、FOUPの階層間の搬送装置の昇降部に ラムダチェーンが採用されています。 外部からの給油が不要なので装置の メンテナンス工数の削減、 油の飛散を抑えた クリーンな環境の 実現に貢献します。、採用製品、ラムダチェーン、特殊含油ブシュを採用した無給油チェーン
FOUP垂直循環搬送 FOUP階層間搬送装置
採用製品
FOUPの階層間の搬送装置の昇降部に
ラムダチェーンが採用されています。
ラムダチェーン
外部からの給油が不要なので装置の
特殊含油ブシュを採用した無給油チェーン
メンテナンス工数の削減、
自己潤滑機能を備えた特殊含油ブシュを採用しており、
油の飛散を抑えた 無給油・長寿命のご使用が可能です。
クリーンな環境の
実現に貢献します。
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ウエハ研磨装置/検査装置の反転機構、ウエハ研磨装置、定盤回転駆動用に回転ムラが小さく コンパクト性を有したトロイドライブ の採用事例が多数あります。 さらに駆動用のベルト&プーリ、 ブラシ駆動用減速機 なども採用されています。、検査装置の反転機構、プローバの反転機構にトロイドライブが 採用されています。 さらにウエハステージ稼動部に ケーブルベヤ、ベルト＆プーリなども 採用されています。
ウエハ研磨装置
ウエハ研磨装置/検査装置の反転機構
検査装置
採用製品の詳細は次のページでご紹介
ウエハ研磨装置 検査装置の反転機構
定盤回転駆動用に回転ムラが小さく プローバの反転機構にトロイドライブが
コンパクト性を有したトロイドライブ 採用されています。
の採用事例が多数あります。 さらにウエハステージ稼動部に
さらに駆動用のベルト&プーリ、 ケーブルベヤ、ベルト＆プーリなども
ブラシ駆動用減速機 採用されています。
なども採用されています。
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ウエハ研磨装置/検査装置の反転機構、ウエハ研磨装置、検査装置、「ウエハ研磨装置/検査装置の反転機構」の採用製品、トロイドライブ、小形ギヤモータ、タイミングベルト・プーリ、TERUSシリーズ
ウエハ研磨装置
ウエハ研磨装置/検査装置の反転機構
検査装置
「ウエハ研磨装置/検査装置の反転機構」の採用製品
トロイドライブ
振動・騒音が少なく高伝動・高効率なハイパフォーマンスウォーム減速機。
小形ギヤモータ
コンパクトで使いやすく、高効率な減速機。用途に応じたモータ軸配置、出力軸形状が提案可能。
タイミングベルト・プーリ
正確な位置決めや高い同期性が要求される用途に最適。
TERUSシリーズ
ウォームギヤの特長である高強度、ギヤモータの特長である高効率を併せ持つ高機能ギヤモータ。
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ステージの移動/ウエハカセットの移載、ステージの移動、露光機・ボンダー・マウンター等において ステージの移動部分のケーブルの支持 案内にフラットベヤが採用されています。、ウエハカセットの移載、洗浄装置の薬液槽間の移載のケーブルの 支持案内に採用されています。 サポートメンバにより長ストローク化が 実現できます。
露光機/ボンダー/マウンター
ステージの移動/ウエハカセットの移載
洗浄装置
採用製品の詳細は次のページでご紹介
ステージの移動 ウエハカセットの移載
露光機・ボンダー・マウンター等において 洗浄装置の薬液槽間の移載のケーブルの
ステージの移動部分のケーブルの支持 支持案内に採用されています。
案内にフラットベヤが採用されています。 サポートメンバにより長ストローク化が
実現できます。
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露光機/ボンダー/マウンター、ステージの移動/ウエハカセットの移載、洗浄装置、「ステージの移動/ウエハカセットの移載」の採用製品、ケーブルの支持案内におけるこのような課題解決できます！、摩耗粉付着による製品不良を削減したい／設置スペースを抑えたい／ケーブル・チューブの保護性を向上させたい／ ケーブル・チューブのたわみを抑えたい／跳ね上がりを抑えたい、クリーンベヤ、フラットベヤ、フラットベヤZP仕様、ケーブルベヤ プラシリーズ PVDF仕様、ケーブルベヤ TKR28H52-EX
露光機/ボンダー/マウンター
ステージの移動/ウエハカセットの移載
洗浄装置
「ステージの移動/ウエハカセットの移載」の採用製品
ケーブルの支持案内におけるこのような課題解決できます！
摩耗粉付着による製品不良を削減したい／設置スペースを抑えたい／ケーブル・チューブの保護性を向上させたい／
ケーブル・チューブのたわみを抑えたい／跳ね上がりを抑えたい
クリーンベヤ
つばきケーブル・ホース支持案内装置の中で最も低発塵
フラットベヤ
独自のサポートメンバを内蔵しており、長ストロークでの使用が可能な自立式フラットケーブルシステム
フラットベヤZP仕様
ケーブル・チューブの出し入れが容易で、部分交換が可能。
ケーブルベヤ
プラシリーズ
PVDF仕様
特殊フッ素樹脂を使用しており、真空雰囲気環境下のアウトガス対策に有効。また優れた耐薬品性も。
ケーブルベヤ
TKR28H52-EX
クリーン環境での長ストローク搬送に最適で、最大5.94mで使用可能。
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