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半導体装置におけるケーブルベヤの選定で見逃せない落とし穴3選

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半導体装置におけるケーブルベヤの選定で見逃せない落とし穴3選をわかりやすくご紹介

半導体装置におけるケーブルベヤの選定では3つのポイントに気を付ける必要があり、それぞれについて詳しく解説しています。
また、半導体業界におけるケーブルベヤの採用事例もご紹介しております。

このカタログについて

ドキュメント名 半導体装置におけるケーブルベヤの選定で見逃せない落とし穴3選
ドキュメント種別 ホワイトペーパー
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このカタログの内容

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半導体装置におけるケーブルベヤの選定で、見逃せない落とし穴 ３選！、ケーブルベヤ クリーンシリーズ

適切なクリーンクラスは？白いことが絶対？ 半導体装置におけるケーブルベヤの選定で 見逃せない落とし穴 ３選！ ケーブルベヤ クリーンシリーズ
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白いケーブルベヤが絶対ではない！、詳細情報はこちら、つばきクリーンシリーズ、落とし穴①：白いケーブルベヤが絶対？

落とし穴①：白いケーブルベヤが絶対？ 詳細情報はこちら つばきクリーンシリーズ 白いケーブルベヤが絶対ではない！ エンドユーザから「白い袋に入ったケーブルベヤ・ケーブル保護 システム」の指定がある、だから白いケーブルベヤを探している というご相談がある。 しかし、白いケーブルベヤが全てではなく、用途によって使い 分ける必要がある。 つばきクリーンシリーズでは特長の異なる4品種をご用意して おり、多様化する装置・用途に合わせてご提案が可能。 ⇒クリーンシリーズの用途例は次のページで詳しく解説
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ウエハ処理室内のため 最もクリーン度が要求される、つばきで最も低発塵、クリーンベヤがオススメ！ E-PTFE製ポッドでケーブルやチューブを内包して徹底的に発塵を 抑える。、装置設計の中でも、ケーブルやチューブの 設計は最後の方に決定する、柔軟にケーブル変更に対応するならフラットベヤZP仕様がオススメ！ つばき独自の開閉チューブにより、ケーブル・チューブの出し入れ が容易。さらに本体カラーは白色と黒色、発塵の可視化で歩留まり 向上に有効な2色をご用意。、量産機なので組立時に毎回ケーブルを 組み込む手間がかかる、クリーン度はそれほど要求されないが ケーブルの移動距離が長くケーブルの量も多い、クリーンシリーズの用途例

クリーンシリーズの用途例 ウエハ処理室内のため 量産機なので組立時に毎回ケーブルを 最もクリーン度が要求される 組み込む手間がかかる つばきで最も低発塵、クリーンベヤがオススメ！ 量産機ならクリーンベヤやフラットベヤがオススメ！ E-PTFE製ポッドでケーブルやチューブを内包して徹底的に発塵を ケーブル類を組み込んでお納めするので、届いたらポン付け 抑える。 するだけ、組付工数を削減。 装置設計の中でも、ケーブルやチューブの クリーン度はそれほど要求されないが 設計は最後の方に決定する ケーブルの移動距離が長くケーブルの量も多い 柔軟にケーブル変更に対応するならフラットベヤZP仕様がオススメ！ 長ストロークで大容量のケーブル保護なら、TKR形がオススメ！ つばき独自の開閉チューブにより、ケーブル・チューブの出し入れ つばき独自のたわみ屈曲により、ピンとピン穴からの発塵を が容易。さらに本体カラーは白色と黒色、発塵の可視化で歩留まり 無くす。 中でもTKR28H52-EXは、柔軟材と剛性材を一体成形 向上に有効な2色をご用意。 することで、 最大ストローク5.94m(フリースパン)を実現。
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落とし穴②：要求クリーンクラスは？ つばきクリーンシリーズは社内にある クリーンルームで実運用上のクリーン クリーンクラスだけで決めてはいけない！ クラスを測定 ご紹介したクリーンシリーズは、外部機関にてISOクリーン クラス1の認証を取得している。同業他社製品も同じくISO クリーンシリーズのクリーン度 クリーンクラス1を謡うものであふれている。 クリーンクラスだけを鵜呑みにするのではなく他の点も検討する 必要がある。 具体的には、「耐久による摩耗」「ケーブル・チューブとの摺動」 「自立できるか(撓んで擦ることで発塵しないか)」など。 クリーン度UP!! つばきクリーンシリーズは自立機能を持つため、ケーブルが撓ん で擦ることは無い。
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断線や装置破損による設備停止リスクも！、自立機能の無いフラットケーブルだと、高速稼動により屈曲部が 大きく膨らんで、装置上部に干渉してしまう。 また、装置上部とケーブルがすれることによる発塵だけでなく、 断線や装置破損による設備停止リスクも発生。、つばきクリーンシリーズなら自立機能があるので安心。、自立式フラットケーブル フラットベヤ®のご紹介動画はこちら、クリーンシリーズの自立機能、フラットケーブルと異なり全て直線部で自立機能をもつため、 ケーブルがたわんで擦ることは無い。、サポートメンバ、TKR形、フラットベヤZP仕様、両側のサポートメンバがケーブル・チューブ屈曲部のふくらみを抑え、跳ね上がりを抑制。、落とし穴③：必要空間を確保できているか？

落とし穴③：必要空間を確保できているか？ クリーンシリーズの自立機能 断線や装置破損による設備停止リスクも！ フラットケーブルと異なり全て直線部で自立機能をもつため、 自立機能の無いフラットケーブルだと、高速稼動により屈曲部が ケーブルがたわんで擦ることは無い。 サポートメンバ 大きく膨らんで、装置上部に干渉してしまう。 また、装置上部とケーブルがすれることによる発塵だけでなく、 断線や装置破損による設備停止リスクも発生。 TKR形 クリーンベヤ フラットベヤ フラットベヤZP仕様 両側のサポートメンバがケーブル・チューブ屈曲部のふくらみ つばきクリーンシリーズなら自立機能があるので安心。 を抑え、跳ね上がりを抑制。 自立式フラットケーブル フラットベヤ®のご紹介動画はこちら フラットベヤ(つばき製) フラットケーブル(他社製)
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ケーブルベヤやケーブル・チューブのどこから発塵する？、様々なケースがあるが、主な発塵源は3つ、汎用的なケーブルベヤであればピンとピン穴の摺動部、ケーブルベヤ内周と ケーブル・チューブの摺動部、ケーブルベヤと 接地面の摺動部

ケーブルベヤやケーブル・チューブのどこから発塵する？ 様々なケースがあるが、主な発塵源は3つ 汎用的なケーブルベヤであれば ケーブルベヤ内周と ケーブルベヤと ピンとピン穴の摺動部 ケーブル・チューブの摺動部 接地面の摺動部 屈曲部をたわみ構造としたTKR形や、 TKR形は汎用的なケーブルベヤと比較 ケーブルベヤ下面と接地面が触れるため 屈曲部をチューブ内に格納したクリーン し、形状や材質を工夫することで発塵 発塵する。 ベヤ,フラットベヤ,フラットベヤZP仕様 を抑制している。さらに低発塵を狙う クリーンベヤであれば超高分子量 であれば、摺動による発塵は発生しない ならば、ケーブルやチューブをポッド ポリエチレンシートを同封、 ため、クリーンルームには最適。 に収納したクリーンベヤ、開閉チュー フラットベヤやフラットベヤZP仕様用の ブに収納したフラットベヤZP仕様、そ 低発塵シートも試売中。 もそもケーブルやチューブ同士を溶着 ※下面受けなしフラットベヤも開発中 して摺動の無いフラットベヤが最適。
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フラットベヤZP仕様、クリーン性能・柔軟性・安全性を兼ね備えたケーブルシステムを実現し、 装置の信頼性と保守効率の向上に貢献、導入効果、課題、■歩留まりの向上、■安全性の確保、■エンドユーザー信頼性の向上、ご提案、事例の詳細はこちら、採用事例①チップ移載装置

採用事例①チップ移載装置 フラットベヤZP仕様 クリーン性能・柔軟性・安全性を兼ね備えたケーブルシステムを実現し、 装置の信頼性と保守効率の向上に貢献 課題 導入効果 従来設備では汎用的なケーブルベヤが使用されており、ケーブルや ケーブルベヤからの発塵がエンドユーザより指摘を受けていた。 ■歩留まりの向上 従来ケーブルベヤに比べて発塵が抑えられ、クリーンルーム内 での使用要件をクリア ご提案 ■安全性の確保 初期検討では、摺動部のない構造により発塵を大幅に低減でき、かつ 柔軟なPVCチューブにより、協働ロボット稼働中でも作業者の ケーブル・チューブの再配線にも対応可能な高クリーン性能のTKR形を 指挟みリスクを低減 ご提案。 一方、協働ロボットが稼働し作業者が近接する環境であったため、 ■エンドユーザー信頼性の向上 より柔軟なPVC製フラットベヤZP仕様も併せてご提案。 指定要件に適合したクリーン仕様で、半導体メーカーからの フラットベヤZP仕様は軽量・高柔軟でありながら、ケーブル保護性と 高評価を獲得 クリーン性を両立し、エンドユーザ指定要件にも適合することから 採用に至った。 事例の詳細はこちら
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TKR-EX、「クリーン性」「静音性」「耐久性」を高次元で両立し、次世代ウエハ 搬送装置の高クリーンクラス対応に貢献、導入効果、課題、■クリーンクラスの向上、■静粛・低振動化、■長寿命・高信頼性、ご提案、事例の詳細はこちら、採用事例②ウエハ搬送ロボット横行

採用事例②ウエハ搬送ロボット横行 TKR-EX 「クリーン性」「静音性」「耐久性」を高次元で両立し、次世代ウエハ 搬送装置の高クリーンクラス対応に貢献 課題 導入効果 従来設備は汎用性と扱いやすさからTKP形ケーブルベヤを採用していた が、低発塵・低振動のさらなる向上が求められ、さらにPLP(Panel Level Packaging)対応により装置内の搬送距離も長尺化した。 ■クリーンクラスの向上 発塵を抑制し、会社指示をクリア ご提案 ■静粛・低振動化 TKR形はピンとピン穴の摺動が無い構造で、たわみ屈曲により発塵 動作時の振動・騒音を抑制し、歩留まり向上に貢献 を抑制。 さらにTKR28H52-EXは、屈曲部の構造設計と材料を最適化し、たわみの ■長寿命・高信頼性 柔軟性を維持しながら剛性を両立し、5mを超えるような長ストローク 新たな構造設計と材料採用により、長ストロークでも長期安定 を実現。 稼働を実現 低振動・静粛性・耐久性を一段と向上し、ロングストローク用途でも スムーズな動作を維持しながら、高クリーンクラス対応と安定稼働を 実現できる点をご説明し、ご採用に至った。 事例の詳細はこちら
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フラットベヤ、クリーン性と量産効率を高次元で両立し、半導体製造装置における 信頼性向上と生産性向上に大きく貢献、導入効果、課題、■さらなる発塵抑制、■組立工数の削減、■設置効率の向上、■品質の安定化、従来はTKR形を採用していたが、ウエハ上部でケーブルが稼働する構造のため、さらなる発塵抑制が求められていた。また量産機であることから、ケーブル挿入作業や2本並列設置に伴い工数が増大。、ご提案、フラットベヤZP仕様と同様に、自立構造をチューブ内に収めて発塵抑制しながらも、お客様ご指定のケーブル・チューブを溶着してお届けして装置にポン付けできるフラットベヤをご提案。 さらに今までは2本のケーブルベヤに同じケーブルを通していたものに対して、1本のフラットベヤとして簡素化、ご採用に至った。、事例の詳細はこちら、採用事例③半導体製造装置

採用事例③半導体製造装置 フラットベヤ クリーン性と量産効率を高次元で両立し、半導体製造装置における 信頼性向上と生産性向上に大きく貢献 課題 導入効果 従来はTKR形を採用していたが、ウエハ上部でケーブルが稼働する構造 のため、さらなる発塵抑制が求められていた。また量産機であること ■さらなる発塵抑制 から、ケーブル挿入作業や2本並列設置に伴い工数が増大。 ウエハ上部での動作にも発塵を抑制して歩留まり向上に貢献 ご提案 ■組立工数の削減 お客様でのケーブル挿入・組立作業を無くし、量産機の組立工数 フラットベヤZP仕様と同様に、自立構造をチューブ内に収めて発塵抑制 を削減 しながらも、お客様ご指定のケーブル・チューブを溶着してお届けして装 置にポン付けできるフラットベヤをご提案。 ■設置効率の向上 さらに今までは2本のケーブルベヤに同じケーブルを通していたものに対 2本設置時の位置合わせや固定作業を容易に して、1本のフラットベヤとして簡素化、ご採用に至った。 ■品質の安定化 標準機として複数台製作する際の施工品質を均一化 事例の詳細はこちら
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クリーンベヤ、長ストローク環境でも高クリーン性と安定稼働を両立し、半導体製造装置の性能向上と信頼性確保に貢献、課題、導入効果、従来はフラットケーブルを使用していたが、装置の長ストローク化・高速化により走行中のバタつきが発生し、ワーク上部設置のため発塵や断線のリスクが課題となっていた。、ご提案、クリーンベヤはe-PTFE製のポッドに、ケーブルや自立機構である サポートメンバを内包することで、ケーブルやベヤからの発塵を最小限に抑制。 さらに、サポートメンバが走行時のケーブル挙動を安定化するガイド 機能を持ち、1.5mを超えるような長ストロークでもスムーズで 静粛な動作を実現。 ワーク上部での設置でも、発塵の外部拡散を防ぎながら安全かつ高信頼な搬送を可能に。、■ケーブル挙動の安定化、■発塵リスクの低減、■静音・低振動化、■信頼性向上、事例の詳細はこちら、採用事例④半導体製造装置(処理室内)

採用事例④半導体製造装置(処理室内) クリーンベヤ 長ストローク環境でも高クリーン性と安定稼働を両立し、半導体製造装置の 性能向上と信頼性確保に貢献 課題 導入効果 従来はフラットケーブルを使用していたが、装置の長ストローク化・高 速化により走行中のバタつきが発生し、ワーク上部設置のため発塵や ■ケーブル挙動の安定化 断線のリスクが課題となっていた。 長ストロークでもケーブルのバタつきを防止 ご提案 ■発塵リスクの低減 クリーンベヤはe-PTFE製のポッドに、ケーブルや自立機構である e-PTFE製ポッドとケーブルの自立により、処理室内の清浄度を維持 サポートメンバを内包することで、ケーブルやベヤからの発塵を最小限 ■静音・低振動化 に抑制。 処理室内に適した静粛な動作を実現 さらに、サポートメンバが走行時のケーブル挙動を安定化するガイド 機能を持ち、1.5mを超えるような長ストロークでもスムーズで ■信頼性向上 静粛な動作を実現。 ワーク上部設置でもクリーン性と耐久性を確保 ワーク上部での設置でも、発塵の外部拡散を防ぎながら安全かつ高信頼 な搬送を可能に。 事例の詳細はこちら
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ケーブルベヤの選定作業を楽にしませんか？、自動選定の手軽さで 選定工数を大幅削減します！、選定ツールはこちら、素早い選定、正確な選定結果、いつでも選定可能、ケーブルベヤ®自動選定ツール

ケーブルベヤ®自動選定ツール ケーブルベヤの選定作業を楽にしませんか？ 自動選定の手軽さで 選定ツールはこちら 選定工数を大幅削減します！ 素早い選定 正確な選定結果 いつでも選定可能 カタログをパラパラめくって、決めて 合っているか不安だったケーブルベヤ 販売店やつばき窓口の問い合わせをせ いたリンク数計算や配線のレイアウト のリンク数や配線レイアウトなどの ずともいつでも選定作業が可能！ 作業がパソコン1台で素早く完了！ 正確な選定結果が得られる！
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ケーブルベヤに関するご質問やご相談等ございましたら お気軽にご連絡ください。、0120-251-664、(インサイドセールス担当宛)、https://tt-net.tsubakimoto.co.jp/tecs/sprt/sprt_inquiry.asp?code=30_10、tc-pt-is@gr.tsubakimoto.co.jp、お問い合わせ先

お問い合わせ先 ケーブルベヤに関するご質問やご相談等ございましたら お気軽にご連絡ください。 お問い合わせ (電話) 0120-251-664 (インサイドセールス担当宛) オンライン技術相談 https://tt-net.tsubakimoto.co.jp/tecs/sprt/sprt_inquiry.asp?code=30_10 (Teams) 技術問い合わせ tc-pt-is@gr.tsubakimoto.co.jp (メール)