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FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野

製品カタログ

超広視野共焦点型・高分解能1μm

このカタログについて

ドキュメント名 FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.2Mb
取り扱い企業 株式会社ワイ・ドライブ (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 従来比5倍高速・高解像度 ◎ご相談ください。各種ノウハウの提供が可能で 超広視野共焦点型・高分解能1μm 従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い 微小欠陥検査レーザ走査イメージャ 領域を高解像度で観察できるが、広い 領域を簡便に観察できない レーザ走査イメージャが解決します 50×50mm範囲を3D形状計測できる 計測時間:1μm分解能⇒約35秒 5μm分解能⇒約10秒 ●計測幅:0.8μm 深さ:5nm ●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の欠陥も検出可。 超広視野レーザ走査イメージャ原理図(レーザ顕微鏡と同等 な共焦点光学系を用い、ポリゴンミラー走査と新開発 の走査レンズで高速化と超広視野を実現しています) 視野域(観察範囲)
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レーザー走査イメージャ欠陥検査装置 ウェハー欠陥検査機 光学顕微鏡 レーザー走査イメージャ
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スキャン幅と スキャン走査 バンプ高さ