超広視野共焦点型・高分解能１μｍ
このカタログについて
| ドキュメント名 | FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.2Mb |
| 取り扱い企業 | 株式会社ワイ・ドライブ (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野
従来比５倍高速・高解像度
◎ご相談ください。各種ノウハウの提供が可能で
超広視野共焦点型・高分解能１μｍ 従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い
微小欠陥検査レーザ走査イメージャ 領域を高解像度で観察できるが、広い
領域を簡便に観察できない
レーザ走査イメージャが解決します
50×50ｍｍ範囲を３Ｄ形状計測できる
計測時間：１μｍ分解能⇒約３５秒
5μｍ分解能⇒約１０秒
●計測幅：0.8μｍ 深さ：５nm
●最大45度傾斜で、形状測定が可。
●キズや深い穴の欠陥も検出可。
超広視野ﾚｰｻﾞ走査ｲﾒｰｼﾞｬ原理図（レーザ顕微鏡と同等
な共焦点光学系を用い、ポリゴンミラー走査と新開発
の走査レンズで高速化と超広視野を実現しています）
視野域（観察範囲）
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レーザー走査イメージャ欠陥検査装置 ウェハー欠陥検査機
光学顕微鏡
レーザー走査イメージャ
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スキャン幅と
スキャン走査
バンプ高さ