超越した耐プラズマエッチング特性と耐熱＆電気特性を持つコーティング
『ELIPcoat』は、JCCのPVD技術で開発したコーティングです。
酸化物や炭化物セラミックス被膜を緻密な結晶構造で成膜。
生成された被膜には電気的特性や耐熱特性等の化学的・物理的特性を付与します。
結晶粒の大きさの違いが明確なので、パーティクルサイズに影響。
また、被処理材に合わせた温度調整も可能です。
ELIPコートの特長
■低温処理が可能（350℃以下）
■絶縁物・樹脂への処理も可能
■酸化物・炭化物セラミックス被膜
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ホームページ：https://www.jcc-coating.co.jp/
お問い合わせ：https://www.jcc-coating.co.jp/contact_pro/
このカタログについて
| ドキュメント名 | 350℃以下の低温処理が可能 半導体製造向けコーティング：ELIP coat |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 552.6Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 日本コーティングセンター株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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