卓上走査電子顕微鏡 JCM-7000

Scientific / Metrology Instruments 卓上走査電子顕微鏡 TM JCM-7000 品質管理 異物解析 元素分析 このカタログに掲載した商品は、外国為替及び外国貿易法の安全輸出管理の規制品に該当する場合がありますので、輸出するとき、または日本国外に持ち出すときは当社までお問い合わせください。 本社・昭島製作所　〒196-8558　東京都昭島市武蔵野3-1-2　TEL：042-543-1111（大代表）　FAX：042-546-3353 www.jeol.co.jp　　ISO 9001・ISO 14001 認証取得 東京事務所　〒100-0004　東京都千代田区大手町2丁目1番1号　大手町野村ビル 　　業務統括センター　TEL：03-6262-3564　FAX ：03-6262-3589 　　ブランドコミュニケーション本部　TEL：03-6262-3560　FAX ：03-6262-3577 　　SI営業本部　SI販促室　TEL : 03-6262-3567　FAX ：03-6262-3577 　　ソリューション推進室　TEL : 03-6262-3566　　産業機器営業部　TEL : 03-6262-3570 　　SE営業部　TEL : 03-6262-3569　　　　　 　　MEソリューション販促室　TEL : 03-6262-3571 東京支店　〒100-0004　東京都千代田区大手町2丁目1番1号　大手町野村ビル　TEL：03-6262-3580（代表）　FAX ：03-6262-3588 　　東京SI1グループ TEL : 03-6262-3581　　東京SI2グループ TEL : 03-6262-3582 　　東京SI3グループ TEL : 03-6262-5586　　ME営業グループ TEL : 03-6262-3583 東京第二事務所　〒190-0012　東京都立川市曙町2丁目8番3号 　　ソリューションビジネス部 TEL : 042-526-5098　FAX ：042-526-5099 横浜事務所　〒222-0033　神奈川県横浜市港北区新横浜3丁目6番4号　新横浜千歳観光ビル6階　TEL ：045-474-2181　FAX ：045-474-2180 札幌支店 〒060-0809　北海道札幌市北区北9条西3丁目19番地　ノルテプラザ5階 TEL：011-726-9680　FAX：011-717-7305 仙台支店 〒980-0021　宮城県仙台市青葉区中央2丁目2番1号　仙台三菱ビル6階 TEL：022-222-3324　FAX：022-265-0202 筑波支店 〒305-0033　茨城県つくば市東新井18番1 TEL：029-856-3220　FAX：029-856-1639 名古屋支店〒450-0001　愛知県名古屋市中村区那古野1丁目47番1号　名古屋国際センタービル14階 TEL：052-581-1406　FAX：052-581-2887 大阪支店 〒532-0011　大阪府大阪市淀川区西中島5丁目14番5号　ニッセイ新大阪南口ビル11階 TEL：06-6304-3941　FAX：06-6304-7377 西日本ソリューションセンター 〒532-0011　大阪府大阪市淀川区西中島5丁目14番5号　ニッセイ新大阪南口ビル1階 TEL：06-6305-0121　FAX：06-6305-0105 広島支店 〒730-0015　広島県広島市中区橋本町10番6号　広島NSビル5階 TEL：082-221-2500　FAX：082-221-3611 高松支店 〒760-0023　香川県高松市寿町1-1-12　パシフィックシティ高松5階 TEL：087-821-0053　FAX：087-822-0709 福岡支店 〒812-0011　福岡県福岡市博多区博多駅前2丁目1番1号　福岡朝日ビル5階 TEL：092-411-2381　FAX：092-473-1649 海外事業所・営業所　Boston, Paris, London, Amsterdam, Stockholm, Sydney, Milan, Singapore, Munich, Beijing, Moscow, Sao Paulo ほか　

TM JCM-7000 1 | JCM-7000

光学像から SEM 観察、元素分析まで 高い操作の壁を破る 卓上 SEM JCM-7000 | 2

Zeromag Live Analysis Live 3D SMILE VIEWTM Lab 3 | JCM-7000

JCM-7000 観察しながら 元素確認！ 光学像から SEM 像観察へ 元素分析 簡単ステップアップ SEM 観察 Live Analysis 光顕観察 Zeromag 従来の SEM 従来の SEM 操作にあった SEM 観察と元素分析の高い壁 元素分析 SEM 観察 光顕観察 誰でも SEM/EDS が操作できるための主な機能 Zero mag 一つの画面上で、光学像＊1 から走査電子顕微鏡（SEM）像に移行 L Ainvaelysis 観察しながら元素分析＊2 Breakthrough Auto オート機能で低倍率から高倍率まで鮮明画像 LV 導電性のない試料も前処理不要の低真空 (LV) モード JEOL 理科支援 PR キャラクター HV 詳細な形態観察ができる高真空 (HV) モード 「ろくまるくん」 Copyright ⓒ 2019 JEOL Ltd. 3D 観察しながら３D 構築 (Live ３D) SMV コピー＆ペースト不要の自動レイアウトによる結果出力（SMILE VIEWTM Lab) ＊１　Zeromag( 光学像 ) の撮影には、ステージナビゲーションシステム ( オプション ) が必要です ＊２　EDS 元素分析装置 ( オプション ) が必要です JCM-7000 | 4

Breakthrough JCM-7000を使って仕事の効率UP 光学顕微鏡で見えた異物は何？ 部品の形状に問題アリ？ そもそも原料間違ってない？？？ 光学顕微鏡だけではわからない形状＆組成（構成元素）を、迅速に確認できます。 効率　　　その１: 異物分析 組成の異なる異物を容易に発見することができ、さらに瞬時に構成する元素が分かります。 レポート作成も容易なので、現場へのフィードバックを迅速におこなえます。 【例】 食品に付着した黒色異物の分析 拡大 Zeromag（光学像）＊ 1 で異物を探し、ダブルクリックし ある程度拡大されると、 Zeromag（光学像）＊ 1 ero て異物を中央に移動します。光学像をデジタルズームして に重なって SEM 像が見えます。 Zmag 拡大していきます。 L Ainvaelysis Auto ero 効率　　　その 2: 品質管理 Z mag LV ive HV SEM では光学像で観察できない組成コントラスL Aトnalyをsis 観察できるので、同じ倍率でも異なる情報が得られます。 低真空モード標準搭載により無処理で観察、分A析uがtoできるので、製造ラインの抜き取り検査にも使用 3D できます。 SMV 【例】 顆粒（医薬品）表面に添加した滑沢剤の分布観察 LV 光学顕微鏡像 HV 反射電子組成像 3D SMV 200 µm 200 µm 光学顕微鏡では、白い顆粒（医薬品）上に添加した白い滑 顆粒と滑沢剤は組成が異なるため、SEM の反射電子組成 沢剤の付着状態を確認することが困難です。 像を使えば、滑沢剤の分布が一目で分かります。 5 | JCM-7000

反射電子組成像なら、組成 の違う粒子 ( 矢印部 ) が あることが分かるんやな 拡大 観察中に主元素が 表示されます ero Zmag L Ainvaelysis Auto Zero mag 異物の SEM 像を画面いっぱいに拡大すると、元素分析装置 (EDS) を起動しなくても、 LV L Ainvaelysis観察画面全体の主元素のスペクトルが表示されます＊ 2 。データ管理アイコンを押せば簡 単にレポートを作成できるので、すぐに現場にフィードバックできます。 Zero HV uto mag A L Ainvaelysis 3D LV 効率　　　その 3: スクリーニング分析 Auto ZerSo MV HV mag 試料を無処理で観察、分析することができる JCM-7000 は、 LV L Ainvaelysis 3D 測定後に試料を他の分析装置へ展開することができます。 HV Auto SMV 3D LV SMV HV JCM-7000 で 元素分析の結果 熱分析 観察、元素分析＊ 2 有機物だった 3D FT-IR　など SMV XRF など 試料の取り扱いも 試料は均一だった 簡単なのが嬉しいね♪ ＆ 微量元素を確認したい JSX-1000S ＊１　Zeromag( 光学像 ) の撮影には、ステージナビゲーションシステム ( オプション ) が必要です ＊２　EDS 元素分析装置 ( オプション ) が必要です JCM-7000 | 6

Breakthrough JCM-7000による簡単操作 全ての人に SEM を便利に使って欲しい。だからこそ簡単操作にこだわりました。 左側のボタンで Zeromag* で試料ステージ稼動 大きな操作の流れが、 範囲全体 (32 mm∅）の光学像が 上のボタンで今おこなっている 観えます 操作の流れが分かるんだね 無断転記不可 Zero mag L Ainvaelysis 電源 ON 試料交換を押して 試料挿入と同時に光学像 * を自動取り込み Auto 試料を簡単に SET ！ LV HV 3D SMV 試料挿入と同時に 自動で光学像が 撮影されるのよ！ 7 | JCM-7000

Zeromag Live Analysis Live 3D SMILE VIEWTM Lab Zero mag L Ainvaelysis Auto LV Zero mag HV L Ainvaelysis 3D 光学像 * で視野探し Zero mag 目的を選んでオートボタンを押せば Auto ワンボタンで SMV L SEM 像撮影 データ管理 A i n v a e lysis LV Auto HV ダLブVルクリック！ 3D HV SMV 3D モーター駆動ステSーMジVが 標準装備だから 視野移動も簡単ね ＊ Zeromag( 光学像 ) の撮影には、ステージナビゲーションシステム ( オプション ) が必要です JCM-7000 | 8

Breakthrough SEM観察の高い操作の壁を破れ！ Zeromag* & 低真空モード Zeromag* Zeromag SEM の操作画面に最L 低 Ainv倍aelysi率s で表示される画像は、試料挿入時に自動で撮影された光学像です。 光学像で視野探しをおこない、観察視野を拡大していくと、自動で SEM 像に切り替わります。 観察位置への移動をスAムuーtoズにおこなえるため、最小限のボタン操作で SEM 像が撮影できます。 LV HV光学像を拡大していくと、 3D自動で SEM 像に切り替わるんだよ！ SMV Zero mag L Ainvaelysis Auto 低真空モード LV 表面形態を鮮明に SEHMV観察するための高真空モードのほかに、帯電しやすい試料を前処理無しで観察できる 2 段階の低真空モード3がD装備され、試料準備も容易になりました。 SMV 帯電しやすい試料かて 前処理無しで 観察しやすくなったんやで！ 9 | JCM-7000

試料：顆粒 100 µm 10 µm 試料：ひいらぎの葉 100 µm 10 µm 試料：岩塩 Zero mag L Ainvaelysis Auto 500 µm 10 µm LV +α 二次元の画像で満足しない LiveH 3VD 【例】コイン表面の模様 3D 試料：コイン 新開発の高感度 4 分割反射電子検 出器により SEM 像と３D 画像を SMV Live で二画面表示することができ ます。凹凸の分かりにくい試料の 形状判断が瞬時にできるだけでな く、深さの情報も得られます。 SMILE VIEWTM Map（オプション ソフトウェア　P14）と組み合わ せると面粗さ計測等の詳細な３D 解析ができます。　 4 分割反射電子検出器画像 Live ３D 像 ＊ Zeromag( 光学像 ) の撮影には、ステージナビゲーションシステム ( オプション ) が必要です JCM-7000 | 10

Breakthrough EDS分析*の高い操作の壁を破れ！ Live Analysis ＆ Live Map Live Analysis は、SEM 観察と EDS 分析を分けて考える必要がなくなる機能です。 観察している領域の X 線スペクトル表示と、自動定性された主成分の元素表示を、常に観察画面上でおこないます。 Live Map を選択すると観察視野の元素分布をリアルタイムで確認することができます。 予期しない元素や注目元素を「見つける」「気付ける」確率の向上が期待できます。 ero mag Live Analysis で Z 観察中に主元素が ive 観察中にスクリーニング分析 L Analysis 表示されているんだ A 試料：合金uto LV HV 3D 無断転記不可 SMV 分析画面で詳細分析　　　　　　　　　　　 定性分析・定量分析 “目的 1”ボタンで元素分析または元素マップ分析を選択すると、 取得したスペクトルは自動で定性・定量分析されます。 観察視野を詳細に分析できます。 観察画面上で分析位置を指定し、スペクトルや元素マップを取得 します。 11 | JCM-7000

Zero 検出器の感度が高いから、 mag Live Map で MAP も LIVE で表示できる ive 主元素の分布も即座に確認 L Analysis んですって！ Auto LV HV 3D SMV ＊ EDS 元素分析装置 ( オプション ) が必要です 元素マップ 充実の分析機能 観察エリアの元素分布を表示することができます。 反射電子組成像 AI-K ビジュアルピーク ID (VID)： 定性分析結果をスペクトルにして元素の選択ミスがないか 確認します プローブトラッキング： 長時間分析時の視野ズレを防止します ポップアップスペクトル： 　マッピング結果からスペクトルを抽出します 10 µm 10 µm リアルタイムフィルター： Si-K Fe-K 収集中の元素マップを見やすくします 分析視野の再現： 収集済みの視野に戻ります 粒子解析 ( オプション )： 粒子を抽出し、クラス分けや元素分析、粒子の分類を おこないます 10 µm 10 µm JCM-7000 | 12

Breakthrough Zero mag ive レポート作成もデータL 管 Analysis A 理も簡単に uto SMILE VIEWTM Lab LV SMILE VIEWTM Lab は、ステージ位置に連動した光学像 *1、SEM 像、EDS 分析結果 *2 等のデータを一元管 理し、短時間でレポートを作成できる“ データ解析ソHフVトウェア” です。 3D SMILE VIEWTM Lab データ管理画面 SMV 【SMILE VIEWTM Lab の特長】 ・ Zeromag（光学像）*1 /SEM 像 /EDS 分析結果 *2 SMILE VIEWTM Lab データ管理画面では、全てのデータを一元管 を一元管理 理することができます。ホルダーグラフィックや Zeromag（光学 ・ 各視野毎のデータが一目で把握可能 像）*1 による低倍率画像と、観察位置、観察および分析結果 *2 が関 ・ 様々なデータ検索機能 連付けられた形式でデータが保存されます。過去に取得したデータ の見直しや再解析、レポートへの展開も簡単におこなうことができ ・ 関連データの自動配置が可能 ます。 ・ レイアウト変更が容易 各視野の名称が表示されます。 試料の名前、作成日時、デー タ種別等からデータを検索す ることができます。 ホルダーグラフィックまたは Zeromag*1 上に、 各視野の位置が表示されます。 選択した視野の元素マップ、 スペクトル等のデータや定量 分析結果が一覧表示されます。 ＊１ Zeromag( 光学像 ) の撮影には、ステージナビゲーション システム ( オプション ) が必要です ＊２ EDS 元素分析装置 ( オプション ) が必要です ＊３ Microsoft Office がインストールされたコンピューターが 必要です レポート一括作成 データ管理画面で、データの見直しや再解析および SEM 像 から分析まで全データのレポート一括作成がおこなえます。 データ管理アイコンや測定済データ一覧からデータ管理画 面が起動し、データ選択後は、ワンクリックでレポートに まとめることができます。レポートは、Microsoft Word、 PowerPoint® にエクスポートすることができます。*3 レポート例 13 | JCM-7000

Breakthrough SEMがより便利になるOptions 立体的な形態を観る 傾斜回転モーター駆動ホルダー（オプション） 傾斜回転モーター駆動ホルダーを使用することで様々な角度から試料を観察 できます。試料を傾斜して観察することで試料の立体的な情報が得られます。 XY2 軸モーター駆動ステージに装着することで、4 軸モーター駆動ステー ジとして使用することが可能です。 傾斜 0 度 傾斜 45 度 Zero mag L iveZ eAronalysis mag L Ainvaelysis 100 µm A utouto 100 µm 試料：ドリル LV の刃　 加速電圧：1L5 kVV　二次電子像HV H3DSMV V 3D で表面解析 SMILE VIEWTM Map（オプション） 3D SMV ステレオペア 3D 構築だけでなく、4 画像から 3D 構築、着色、画像編集等がおこなえる多機能ソフトウェアです。 一度設定したレイアウト、ワークフロー（操作工程）が保存でき、データの入力のみで同じ動作をおこなえるため、作業効率は非常に 高いです。 さらに、ISO25178 など表面解析における各種規格に対応しています。 試料：シンチレーター ISO 25178 高さパラメーター Sq 0.00354 mm Ssk 0.313 Sku 2.52 Sp 0.0111 mm Sv 0.00953 mm Sz 0,0206 mm Sa 0.00288 mm SMILE VIEWTM Map ISO25178 ( ステレオペア 3D 構築 ) 表面性状（面粗さ測定） JCM-7000 | 14

Breakthrough JCM-7000を使うと見つかるNew World Zeromag 金属試料Liv　e 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Analysis 導電性のある金属試料は無処理で二次電子像による詳細な表面観察が可能です。 破面の形状A観u察toや起点に存在する物質の元素分析 *、金属中の介在物の確認等をおこなうことができます。 LV 【例】 金属破面の形状観察 HV 試料：SUS304 二次電子像 3D ストライエーション SMV 拡大 5 µm ディンプル 拡大 100 µm SUS304 破面の観察例です ストライエーションやディンプルを観察することで、破壊原因の特定につながります 10 µm ガラス破面e　ro 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 mag 透明なガラ Z スやプラスチックの破面は、光学顕微鏡で最表面の状態を確認することが困難です。 SEM で観察L Aすinvaelるysisことにより、破面の起点探しや詳細形状観察が容易におこなえます。 Auto 【例】 ガラス破面の形状観察 LV 試料：ビー玉 光学顕微鏡像 HV 反射電子立体像 反射電子立体像 3D 拡大 SMV 200 µm 10 µm 透明な試料の破面は光学顕微鏡で観察 同じ倍率の SEM 像を観察すると、 拡大して詳細な観察ができます しても、最表面の把握が困難です 最表面の全体像が鮮明に分かります 15 | JCM-7000

Zero mag L Ainvaelysis プリント基板　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ero uto 複合材料であるプリント基板は Z、m低ag真空Aモードによる観察、分析 * が有効な試料の一つです。 無処理で SEM 観察しながら、L 凹 Ain凸vaelys情is 報をL傾V斜することなく Live で確認することもできます。 Auto HV 【例】 プリント基板パッド表面の凹みの３D 観察 LV 3D 試料：プリント基板 反射電子立体像 反H射V電子立S体M像V Live 3D 画像 拡大 3D SMV 500 µm 50 µm 繊 維　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 入り組んだ構造をしている繊維は、導電処理のためのコーティングが奥まで届きにくく、観察が困難です。 低真空モードをZ使用ero maすg ることにより、形態観察はもちろん、繊維に入り込んだ異物の分析 * も容易に おこなえます。 L Ainvaelysis Auto O Si 異 物 【例】 絨毯中の異物の観察と分析 LV 試料：絨毯 反射電子立体像 HV AI絨 毯 3D SMV C Ca Fe Na Ca K 異 物 Fe K Ca Fe Fe C 絨 毯 500 µm ＊ EDS 元素分析装置 ( オプション ) が必要です O JCM-7000 | 16

Breakthrough 食 品　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　 ero 水分や油分が多く含ま Zれmるa食g 品も低真空モードにより観察、分析 * が可能です。 特に熱の影響を受けやL すAinvaeいlysis試料は、LV 冷却ホルダー（オプション）を使用することで試料の形態を保った まま観察、分析することができます。 Auto 【例】 プロセスチーズ中ミネラルの分布 LV 試料：プロセスチーズ 反射電子組成像 HV C-K O-K 3D SMV 50 µm 50 µm P-K Ca-K 50 µm C O 50 µm 50 µm 定性分析によりチーズに含まれるミネラルが、元素マップにより各元素の 分布が分かります N Na P CI CI Ca Ca アスベスト　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 SEM/EDS により建材中に混在するアスベストの有無を、形態と組成（元素分析結果）から判断することが できます。 Live Analysis 機能により、EDS 元素分析装置を立ち上げなくても SEM 観察中にスペクトルを確認できる ので、繊維の発Z 見後eroma、g アスベストであるかの判断を確実に効率よくおこなえます * 。 【例】 建材中クリソタイルの同定 L Ainvaelysis 試料：建材 形態と組成のダブルチェックで 反射電子組成像 Auto アスベストを見落とす可能性が O Mg LV 減少します Si HV 3D SMV C Fe Ca Fe Ca Fe Fe Ca 10 µm 17 | JCM-7000

粉 体　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　 ero 部品等に付着した粉体は、色だけ Zでma種g類を特定することが困難です。 SEM では粉体の形態や粒径、付L 着Ainvae状lysis態の詳細確認ができるとともに、元素の特定 * が可能です。 Zero mag Auto 【例】 カーボン上酸化物粉体の観察と分析 L Ainvaelysis LV 試料：カーボン上の酸化物粉体 反射電子組成像 Auto HV 粉体 ① LV 3D Ti HV SMV Si O 3D 拡大 SMV TiC AI 50 µm 粉体 ② 粉体 ① Nb 粉体 ②Zero mag O L Ainvaelysis C Nb Auto 反射電子組成像を拡大すると、2 種類の粉体が それぞれの粉体を拡大すれば、それぞれの粉体の元素が あることが分かります LV 分かります 【例】 酸化物粉体の高倍率観察 HV 3D 表面に金属コーティングを施すことにより、二次電子像 導電性のない酸化物でも高真空モードで高倍 SMV 率の画像を取得することができます。 試料：酸化ニオブ　Pt コーティング 加速電圧：15 kV　 撮影倍率：×30,000 500 nm ＊ EDS 元素分析装置 ( オプション ) が必要です JCM-7000 | 18

Breakthrough Easy メンテナンス フィラメント フィラメント交換は簡単です。JCM-7000 の電子銃は、フィラメントが一体となっ たカートリッジ方式なので、カートリッジの交換のみでクリーニングやフィラメン トの中心合せは必要ありません。短時間で簡単確実におこなうことができます。 フィラメントのみを交換することもできます。 Zero mag L Ainvaelysis フィラメント・ウェーネルト オートガンアライメント Auto 一体型グリッド LV フィラメントを交換した時は、アライメント調整が必要です。 アライメント調整がおこなわれていないとH、鮮V明な画像を得ることが困難です。 JCM-7000 では、このアライメント調整もオートでおこなわれます。 3D SMV 特別なユーティリティーは不要 JCM-7000 は、100 V コンセントが一個あれば稼働します。SEM 用の冷却水や EDS 用の液体窒素も不要です。 特別な設置環境を作らなくても装置を使用することができます。 Zero mag L Ainvaelysis 周辺機器 Auto LV コーティング装置 HV 3D コーティング装置 絶縁物でも金属等を試料表面にコーティングすることにより高真空モードでの二次電子像が観察 SMV DII-29010SCTR 可能になります。 反射電子像を用いた低真空モードと比較して赤矢印部のような微細な表面構造が観察できます。 試料：強化プラスチック 低真空モード　反射電子立体像 高真空モード　二次電子像 Au コーティング 10 µm 10 µm 19 | JCM-7000